-
公开(公告)号：CN110654115B
公开(公告)日：2021-07-20
申请号：CN201910561561.1
申请日：2019-06-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种液体喷射头、液体喷射装置及其制造方法，其能够抑制或避免随着配线基板向流道形成基板的安装而引起的流道形状的变形。安装有具有多个喷嘴的喷嘴板的流道形成基板具有：被共用于向喷嘴的液体供给的共用供给通道、从共用供给通道分支而到达每个喷嘴的压力室的独立供给通道、包括对喷嘴与压力室进行连通的每个喷嘴的连通流道的独立回收通道、多个独立回收通道合流而被共用于从喷嘴的液体回收的共用回收通道。在从喷嘴板与流道形成基板的层压方向进行俯视观察时，经由引线电极而与使压力室的压力发生变化的压力产生部电连接的通电部处于，与独立供给通道或独立回收通道的至少一方的独立流道的流道区域重叠的位置。
-
公开(公告)号：CN110654117B
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN201910562578.9
申请日：2019-06-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及一种液体喷射头及液体喷射装置，其能够减少回收侧的共有流道的液体的即将喷射完成的液体喷射压对于新被喷射的液体造成的影响。安装有具有多个喷嘴的喷嘴板的流道形成基板通过向多个喷嘴的液体供给所共用的共有供给通道、和从该共有供给通道分支而到达压力室的每个喷嘴的独立供给通道而形成供给流道，并通过与每个喷嘴的连通通道连通的每个喷嘴的独立回收通道和该独立回收通道汇合且被共用于来自多个喷嘴的液体回收的共有回收通道而形成回收流道，其中，所述每个喷嘴的连通通道对喷嘴与压力室进行连通。而且，共有供给通道跨及流道区域而被具有挠性的供给侧可挠板液密性地封闭，共有回收通道被具有挠性的回收侧可挠板液密性地封闭。
-
公开(公告)号：CN112993145A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202011338648.1
申请日：2020-11-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/22 , H01L41/29 , H01L41/314
Abstract: 本发明提供一种金属氧化物层难以剥离的压电致动器的制造方法。该压电致动器的制造方法包括形成振动板的工序、在所述振动板上形成第一电极的工序、在所述第一电极上形成压电体层的工序、在所述压电体层上形成第二电极的工序，形成所述振动板的工序具有单一层形成工序，该单一层形成工序包括利用气相法来形成包含锆的金属层的工序和烧成所述金属层而形成金属氧化物层的工序，重复所述单一层形成工序，来形成层压所述金属氧化物层而成的所述振动板，所述金属氧化物层的厚度小于200nm。
-
公开(公告)号：CN110114221B
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN201780078445.3
申请日：2017-12-05
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够提高可靠性的MEMS装置、液体喷射头、液体喷射装置、MEMS装置的制造方法、液体喷射头的制造方法以及液体喷射装置的制造方法。该MEMS装置(记录头3)的特征在于，具备：第一基板(压力室形成基板29)，其上层叠有能够进行可挠变形的薄膜部件(振动板31)；第二基板(密封板33)，其以相对于第一基板(压力室形成基板29)而隔开间隔的方式被配置；粘合层(43)，其将第一基板(压力室形成基板29)和第二基板(密封板33)粘合在一起，在第一基板(压力室形成基板29)的面内方向上，薄膜部件(振动板31)的端缘被延伸设置至与第一基板(压力室形成基板29)的端缘相比靠外侧处。
-
公开(公告)号：CN108656748B
公开(公告)日：2020-03-17
申请号：CN201810159607.2
申请日：2018-02-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14 , H01L41/047
Abstract: 本发明提供一种在抑制大型化的同时抑制了对置的配线间的短路的压电器件、MEMS器件、液体喷射头以及液体喷出装置。压电器件(致动器单元14)具有：第一基板(压力室形成基板29、振动板31)，其具备压电体层(38)以及至少一部分层压在压电体层(38)上的第一配线(上电极层39)；以及第二基板(密封板33)，其具备被施加与第一配线(上电极层39)不同的电信号的第二配线(下表面侧配线47)，第一配线(上电极层39)与第二配线(下表面侧配线47)以隔开间隔的方式对置，所述压电器件(致动器单元14)的特征在于，第一配线(上电极层39)和第二配线(下表面侧配线47)中的至少一方的配线中的至少一部分被具有绝缘性的保护层(55)覆盖。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110654115A
公开(公告)日：2020-01-07
申请号：CN201910561561.1
申请日：2019-06-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种液体喷射头、液体喷射装置及其制造方法，其能够抑制或避免随着配线基板向流道形成基板的安装而引起的流道形状的变形。安装有具有多个喷嘴的喷嘴板的流道形成基板具有：被共用于向喷嘴的液体供给的共用供给通道、从共用供给通道分支而到达每个喷嘴的压力室的独立供给通道、包括对喷嘴与压力室进行连通的每个喷嘴的连通流道的独立回收通道、多个独立回收通道合流而被共用于从喷嘴的液体回收的共用回收通道。在从喷嘴板与流道形成基板的层压方向进行俯视观察时，经由引线电极而与使压力室的压力发生变化的压力产生部电连接的通电部处于，与独立供给通道或独立回收通道的至少一方的独立流道的流道区域重叠的位置。
-
公开(公告)号：CN109484033A
公开(公告)日：2019-03-19
申请号：CN201811044388.X
申请日：2018-09-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种液体喷射头、液体喷射装置及压电器件。具备：流道形成基板，其在第一方向上并排设置有多个压力产生室(12)；压电致动器(300)，其具有经由振动板而设置在所述流道形成基板的一面侧的第一电极(60)、设置在所述第一电极(60)上的压电体层(70)和设置在所述压电体层(70)上的第二电极(80)，在所述压电致动器(300)中，设置有所述压电体层(70)的由所述第一电极(60)和所述第二电极(80)夹持的主动部(320)，在所述第一方向(X)上彼此相邻的所述主动部(320)之间设置有槽部(330)，槽部(330)以跨及第二电极(80)、压电体层(70)、第一电极(60)和振动板(50)的层叠方向(Z)上的一部分的方式而被设置。
-
公开(公告)号：CN108237777A
公开(公告)日：2018-07-03
申请号：CN201711099112.7
申请日：2017-11-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/01
CPC classification number: B41J2/1612 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1626 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1634 , B41J2002/14241 , B41J2202/03 , B41J2202/22 , B41J2/01
Abstract: 一种液体喷出头的制造方法，用一阶段的蚀刻来形成包括凹部和孔部在内的流道，并且还抑制塌边。其中，液体喷出头包括连通基板，连通基板层叠在形成有与喷嘴连通的压力室的压力室基板上，且形成有：凹部，其构成与多个压力室连通的共用液室；第一孔部，其构成连通喷嘴和压力室的喷嘴侧连通流道；第二孔部，其构成连通共用液室和压力室的供给侧连通流道；第三孔部，其构成与共用液室连通的开口部，该方法包括：掩膜层形成工序，在连通基板上形成掩膜层，掩膜层用于形成凹部和与凹部连通的第一孔部至第三孔部；下孔形成工序，在第一孔部至第三孔部上形成下孔；蚀刻工序，对凹部和第一孔部至第三孔部进行各向异性蚀刻；掩膜层去除工序，去除掩膜层。
-
公开(公告)号：CN107949480A
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：CN201680050676.9
申请日：2016-08-31
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14 , B41J2/16 , H01L41/09 , H01L41/187 , H01L41/319
Abstract: 提供了一种压电装置，包括：基板(10)，所述基板上设置有多个凹部(12)；振动板(50)，其设置在所述基板的一个表面侧；和压电元件(300)，其设置在所述振动板(50)上方，并且在所述压电元件上自基板(10)侧层叠有第一电极(60)、压电层(70)以及第二电极(80)，其中所述第一电极(60)形成为具有第一宽度，所述第一宽度在至少一个凹部(12)的并排设置方向上比所述凹部在所述并排设置方向上的尺寸小，并且所述压电层(70)延伸到所述第一电极(60)的在所述并排设置方向上的外侧，并且所述压电层(70)具有第二宽度，所述第二宽度比所述第一宽度大且比所述凹部(12)在所述并排设置方向上的宽度小，所述振动板(50)含有氧化锆层(52)，并且当氧化锆层(52)的与具有所述第一宽度的所述第一电极相对应的区域被设定为第一区域(p)，氧化锆层(52)的与所述压电层(70)设置在所述第一区域(p)的在所述并排设置方向的外侧的区域相对应的区域被设定为第二区域(q)，并且氧化锆层(52)的与在所述第二区域(q)的所述并排设置方向的外侧的凹部(12)相对应的区域被设定为第三区域(r)时，所述氧化锆层(52)在所述第一区域(p)中在厚度方向的至少第一电极(60)侧含有粒状晶体，并且在所述第三区域(r)中含有柱状晶体。
-
公开(公告)号：CN107405920A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201680014432.5
申请日：2016-03-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2002/14491
Abstract: 一种喷墨头，包括：压力室形成板，其形成有各自与喷嘴连通的多个压力室；振动板，其限定每个压力室的一个表面并允许其限定区域的变形；压电元件，其是通过从振动板的与所述压力室相反的表面在对应于所述压力室的区域中依次堆叠第一电极层、压电层和第二电极层而形成；以及电路板，其与所述振动板成间隔布置，多个凸块电极介于所述电路板与所述振动板之间，并且所述电路板输出用于驱动所述压电元件的信号，其中针对每个压电元件独立地形成第一电极层，所述第二电极层跨多个压电元件连续地形成，并且在所述限定区域外的区域中，所述凸块电极的至少一部分与所述第一电极层和所述第二电极层电连接。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
112
records
(took 0.038 seconds)
