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公开(公告)号：CN110023724B
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN201780073822.4
申请日：2017-11-30
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J1/02 , H01L27/144 , H01L27/146 , H01L31/0248
Abstract: 本发明的光检测器包括基板和膜体，该膜体以与基板的表面之间形成空隙的方式被支承于基板的表面上，膜体包括：隔着沿着线延伸的间隙彼此相对的第1配线层和第2配线层；具有依赖于温度的电阻的电阻层，电阻层分别与第1配线层和第2配线层电连接；与基板的表面相对的光吸收层；和配置于第1配线层和第2配线层各自与光吸收层之间的隔离层，光吸收层包括：第1区域，其在从基板的厚度方向观察时，在第1配线层的与第2配线层相反的一侧扩展；和第2区域，其在从基板的厚度方向观察时，在第2配线层的与第1配线层相反的一侧扩展。
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公开(公告)号：CN111989786A
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN201980026040.4
申请日：2019-04-11
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L31/10
Abstract: 半导体基板(11)具有彼此相对的第一主面(11a)和第二主面(11b)。半导体基板(11)在第二主面(11b)侧具备多个第二半导体区域(15)。多个第二半导体区域(15)分别包括：具有纹理表面(TS)的第一区域(17)；和配置有凸块电极(35)的第二区域(19)。多个第二半导体区域(15)在从与半导体基板(11)正交的方向看时，沿彼此正交的第一方向和第二方向二维排列。第一区域(17)和第二区域(19)在与第一方向和第二方向交叉的方向上相邻。第一区域(17)的纹理表面(TS)在半导体基板(11)的厚度方向上位于比第二区域(19)的表面更靠近第一主面(11a)的位置。第一主面(11a)是对半导体基板的光入射面。
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公开(公告)号：CN111989785A
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN201980026039.1
申请日：2019-04-11
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L31/10
Abstract: 半导体基板(11)具有彼此相对的第一主面(11a)和第二主面(11b)。半导体基板(11)具有：第一导电类型的第一半导体区域(13)；和与第一半导体区域(13)构成pn结的第二导电类型的多个第二半导体区域(15)。半导体基板(11)在第二主面(11b)侧具备多个第二半导体区域(15)。多个第二半导体区域(15)分别具有：具有纹理表面(TS)的第一区域(17)；和配置有凸块电极(35)的第二区域(19)。纹理表面(TS)的凹陷的最深位置处的第一区域(17)的厚度(TH1)小于半导体基板(11)的厚度方向上的、第二区域(19)的表面与最深位置的间隔(D1)。第一主面(11a)为对半导体基板(11)的光入射面。
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公开(公告)号：CN107360729B
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN201680018889.3
申请日：2016-03-31
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L21/3205 , H01L21/768 , H01L23/522 , H01L23/532
Abstract: 半导体装置(1)包含：半导体基板(2)，其形成有贯通孔(7)；第1配线(3)，其设置于半导体基板(2)的第1表面(2a)；绝缘层(10)，其设置在贯通孔(7)的内表面(7c)及半导体基板(2)的第2表面(2b)；及第2配线(8)，其设置在绝缘层(10)的表面(10b)，且在开口(10a)中与第1配线(3)电连接。在绝缘层(10)的表面(10b)，包含：第1区域(11)；第2区域(12)；第3区域(13)；第4区域(14)，其以将第1区域(1)与第2区域(12)连续地连接的方式弯曲；及第5区域(15)，其以将第2区域(12)与第3区域(13)连续地连接的方式弯曲。第2区域(12)的平均倾斜角度较第1区域(11)的平均倾斜角度小，且较内表面(7c)的平均倾斜角度小。
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公开(公告)号：CN111480105A
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN201880075390.5
申请日：2018-11-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02B26/00
Abstract: 本发明的晶圆具备：基板层；第1镜层，其具有二维配置的多个第1镜部；及第2镜层，其具有二维配置的多个第2镜部。在晶圆中，通过在第1镜部与第2镜部之间形成空隙，而构成有多个法布里-帕罗干涉滤光器部。一实施方式的晶圆检查方法包含下述步骤：进行多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个的是否为良品的判定；对判定为不良的法布里-帕罗干涉滤光器部的第2镜层中自相对方向观察时与空隙重叠的部分的至少一部分涂布墨水。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107250772B
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN201680011918.3
申请日：2016-02-10
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01N21/65
Abstract: SERS元件(3)具备：基板(4)；细微结构部(7)，被形成于基板(4)的表面(4a)上并且具有多个柱脚(11)；导电体层(6)，被形成于细微结构部(7)上并且构成使表面增强拉曼散射发生的光学功能部(10)。在各个柱脚(11)的外表面，设置有沟槽(12)。在导电体层(6)，在沟槽(12)的内表面的至少一部分露出的状态下导电体层(6)被形成于各个柱脚(11)的外表面，从而形成多个间隙(G)。
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公开(公告)号：CN110809728A
公开(公告)日：2020-02-18
申请号：CN201880041551.9
申请日：2018-07-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 在光学器件中，基体和可动部由从规定方向上的一侧起依次具有第1半导体层、绝缘层和第2半导体层的半导体基片构成。基体由第1半导体层、绝缘层和第2半导体层构成。可动部具有由第2半导体层构成的配置部。光学功能部配置在配置部的一侧的表面上。构成基体的第1半导体层比构成基体的第2半导体层厚。基体的一侧的表面位于比光学功能部靠一侧。
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公开(公告)号：CN107850489B
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201680045314.0
申请日：2016-08-04
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 分光器具备：支撑体，具有设置有包含凹曲面状的内面的凹部的底壁部、相对于底壁部被配置于凹部开口的一侧的侧壁部；光检测元件，以与凹部相对的状态被支撑于侧壁部；树脂层，至少被配置于凹部的内面上；分光部，在凹部的内面上被设置于树脂层。树脂层与侧壁部的内侧表面相接触。关于凹部和光检测元件互相相对的第1方向上的树脂层的厚度，与侧壁部的内侧表面相接触的部分大于被配置于凹部的内面上的部分。
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公开(公告)号：CN106199795B
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201610561084.5
申请日：2012-02-08
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光学元件(1)具备于表面(2a)形成有凹部(3)的基材(2)，及配置于基材(2)上的成形层(4)。成形层(4)具有自凹部(3)的深度方向观察的情形下位于凹部(3)内的本体部(5)、及在与本体部(5)连接的状态下位于基材(2)的表面(2a)上的攀爬部(6)。于本体部(5)中在与凹部(3)的底面(3b)对向的曲面(4b)上，设置有光学功能部(10)。
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公开(公告)号：CN105992964B
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201580007963.7
申请日：2015-02-03
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明提供一种法布里‑珀罗干涉滤光器(10A)包括：固定镜(31)；和可动镜(41)，其经由空隙(S)与固定镜(31)相对而配置，通过静电力来调整光透过区域(11)中的与固定镜(31)的距离。在可动镜(41)中的包围光透过区域(11)的包围部(41a)形成有包围光透过区域(11)的多个第1环状槽(44)以及空隙(S)侧和在其相反侧开口的多个第1贯通孔(45)。
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