公开(公告)号：CN113949310B

公开(公告)日：2022-05-13

申请号：CN202111110516.8

申请日：2021-09-22

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 吴剑威 ,  刘江 ,  赵鹏越 ,  王辉 ,  李昌其 ,  王继尧 ,  谭久彬

IPC: H02N15/00

Abstract: 本发明涉及精密机械技术领域，公开了一种磁悬浮驱动式导向机构，包括：两个基座、导轨、第一悬浮装置和第二悬浮装置，两基座相互间隔且平行设置，其中左基座上设有磁力线圈和永磁铁，右基座上设有永磁铁，导轨悬浮架设于两基座上；第一悬浮装置设于所述导轨的左侧，第一悬浮装置的左侧设有第一磁悬浮组件，第一悬浮装置的底部设有第二磁悬浮组件；第二悬浮装置设于导轨的右侧，第二悬浮装置的底部设有第三磁悬浮组件。本发明能够在抵消导轨及其各组件的重力影响的同时有效降低导向机构运动摩擦，并实现导轨的高精度磁力驱动，以解决现有精密运动导向机构中导轨质量过大，运动控制难度高且装配误差较大的问题，进一步提高导向机构的运动精度。

公开(公告)号：CN113917795B

公开(公告)日：2022-04-29

申请号：CN202111110621.1

申请日：2021-09-22

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 吴剑威 ,  赵鹏越 ,  刘江 ,  郑健 ,  王继尧 ,  李昌其 ,  谭久彬

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及半导体加工技术领域，公开了一种微动台气浮支撑装置，包括基座、能够在基座上悬浮的气浮模块、以及位于气浮模块上的连接结构，气浮模块用于支撑连接结构，连接结构用于支撑微动台；气浮模块包括外部框架、调节框架及负压调节板；负压调节框架通过若干个调平螺栓与外部框架相连接；外部框架的外侧设有正压进气孔和负压进气孔，外部框架的下端设有正压排气孔集群；外部框架的中部设有负压腔体，负压腔体的上端设有通槽，负压调节板位于通槽处并与通槽之间密封，负压腔体的边缘还设有与负压排气腔连通的负压排气孔。本发明实施例通过负压调节板的水平姿态改变调整气膜厚度，进而调节气浮模块的水平姿态，提高微动台的水平姿态精度。

公开(公告)号：CN114296322A

公开(公告)日：2022-04-08

申请号：CN202111648320.4

申请日：2021-12-30

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 赵鹏越 ,  张银 ,  赵博 ,  吴剑威 ,  晏祯卓

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种基于复合结构的准零刚度柔性导向结构，它涉及精密仪器及机械技术领域。本发明解决了现有的柔性导向机构存在无法通过纯柔性机构实现大行程，高精度的导向功能，且无法克服长行程柔性机构产生大变形回弹力带来的控制问题。本发明的直线电机驱动模块的动子与运动部件连接，两组负刚度复合结构组件对称设置在运动部件两侧，负刚度复合结构组件一端与运动部件侧面中部垂直连接，负刚度复合结构组件另一端与一组负刚度簧片固定组件连接，每个中部固定基座与两个中间连接体之间分别连接有一组外层导向结构，每个系统固定结构与两个中间连接体之间均分别通过一组折叠簧片结构连接。本发明在大行程直线运动中满足高精度要求，为光刻机提供高精度直线导向。

公开(公告)号：CN114216396A

公开(公告)日：2022-03-22

申请号：CN202111542273.5

申请日：2021-12-16

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 吴剑威 ,  晏祯卓 ,  赵鹏越 ,  王继尧 ,  李一帆

IPC: G01B11/00 ,  G01B11/26 ,  G01M11/08

Abstract: 一种基于激光干涉仪的复眼单元运动误差测量装置，属于精密仪器以及精密测量技术领域，本发明为了解决现有技术中无法测量复眼单元在运动时的俯仰角和翻滚角误差，无法评估复眼单元工作时的运动精度与运动稳定性的问题，本发明提供的一种基于激光干涉仪的复眼单元运动误差测量装置包括基座、测量框架、复眼单元、第一干涉仪测量组和第二干涉仪测量组。本发明利用两组所述干涉仪实时测量复眼单元运动时待测点的位置信息，并与理论模型对比得出复眼单元的在两个自由度上的运动误差，从而为复眼单元运动的误差标定提供数据支撑，对评估复眼单元运动精度、环境相应与运动稳定性具有重要意义。

公开(公告)号：CN114137804A

公开(公告)日：2022-03-04

申请号：CN202111542258.0

申请日：2021-12-16

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 赵鹏越 ,  晏祯卓 ,  方锴 ,  吴剑威 ,  郑健

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提出了一种用于柔性照明器的多连杆耦合两轴驱动机构，属于属于精密仪器及机械技术领域。解决了现有多自由度驱动机构无法兼顾设备尺寸限制和调整范围，无法适用于光刻机设备的问题。它包括外壳、底座、第一连杆组、第二连杆组、连杆组悬架和球型铰链，所述底座设置在外壳内，所述球型铰链包括球头和球头座，所述球头与底座相连，所述球头座与球头铰接相连，所述球头座上端与光学元件相连，所述第一连杆组与底座相连，所述第二连杆组通过连杆组悬架在球头座上与第一连杆组耦合，第一连杆组和第二连杆组共同作用，实现驱动机构的多自由度输出。它主要用于柔性照明器的驱动。

公开(公告)号：CN113949310A

公开(公告)日：2022-01-18

申请号：CN202111110516.8

申请日：2021-09-22

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 吴剑威 ,  刘江 ,  赵鹏越 ,  王辉 ,  李昌其 ,  王继尧 ,  谭久彬

IPC: H02N15/00

Abstract: 本发明涉及精密机械技术领域，公开了一种磁悬浮驱动式导向机构，包括：两个基座、导轨、第一悬浮装置和第二悬浮装置，两基座相互间隔且平行设置，其中左基座上设有磁力线圈和永磁铁，右基座上设有永磁铁，导轨悬浮架设于两基座上；第一悬浮装置设于所述导轨的左侧，第一悬浮装置的左侧设有第一磁悬浮组件，第一悬浮装置的底部设有第二磁悬浮组件；第二悬浮装置设于导轨的右侧，第二悬浮装置的底部设有第三磁悬浮组件。本发明能够在抵消导轨及其各组件的重力影响的同时有效降低导向机构运动摩擦，并实现导轨的高精度磁力驱动，以解决现有精密运动导向机构中导轨质量过大，运动控制难度高且装配误差较大的问题，进一步提高导向机构的运动精度。

公开(公告)号：CN113939171A

公开(公告)日：2022-01-14

申请号：CN202111108254.1

申请日：2021-09-22

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 吴剑威 ,  刘海朝 ,  赵鹏越 ,  李昌其 ,  韦威威 ,  王继尧 ,  谭久彬

IPC: H05K9/00 ,  H05K7/20 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明涉及半导体加工设备技术领域，公开了一种光刻机电路板水冷屏蔽装置，包括盒体，所述盒体包括相对设置的两块水冷屏蔽板，电路板贴合于所述水冷屏蔽板的内表面，所述水冷屏蔽板内设有冷却水路，且两块所述水冷屏蔽板的所述冷却水路相连通，其中一个所述水冷屏蔽板上设有进水口，另一个所述水冷屏蔽板上设有出水口。本发明通过在盒体的两块水冷屏蔽板上各设置一个电路板，实现了两块电路板的同时冷却，从而减小了冷却装置的体积，提高了光刻机的空间利用率。同时，由于每个水冷屏蔽板的内部均设有冷却水路，既保证了每个电路板的冷却需要，又提高了冷却效率。且电路板设于金属水冷屏蔽板的内表面，可屏蔽电路板受到的电磁干扰信号。

公开(公告)号：CN113917797A

公开(公告)日：2022-01-11

申请号：CN202111110625.X

申请日：2021-09-22

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 赵鹏越 ,  王继尧 ,  吴剑威 ,  刘江 ,  李昌其 ,  王辉 ,  谭久彬

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及光刻机技术领域，公开了一种基于六自由度控制的运动台及其控制方法，运动台包括基座、工作台和控制装置，工作台设置于基座的上方，工作台的下表面设置有多个凹槽，控制装置包括控制模块和安装在基座上的第一电机组、第二电机组、位置检测模块，第一电机组设置在工作台的侧面，用以驱动工作台在X方向、Y方向和Rz方向的运动，第二电机组和位置检测模块分别设置在所述凹槽中，第二电机组抵在工作台的底面，用以驱动工作台在Z方向、Rx方向和Ry方向的运动，位置检测模块检测工作台的实时位置；第一电机组、第二电机组、位置检测模块均与控制模块电连接。本发明可以实现对运动台运动的六自由度控制，从而提高对运动台的控制精度。

公开(公告)号：CN113917796A

公开(公告)日：2022-01-11

申请号：CN202111110623.0

申请日：2021-09-22

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 吴剑威 ,  王继尧 ,  郑健 ,  王辉 ,  李昌其 ,  赵鹏越 ,  谭久彬

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及运动平台技术领域，公开了一种多自由度宏微混合的精密运动台，包括基座、宏动模块、微动模块和微动台；基座包括支承平台，宏动模块包括X向驱动模块、Y向驱动模块和Z向驱动模块；微动模块包括底部框架、上部框架和垂向运动装置，底部框架与Z向驱动模块连接，垂向运动装置连接在底部框架与上部框架之间，垂向运动装置包括微动电机和传动件，传动件与上部框架传动连接；微动台固定布置在上部框架上。宏动模块的Z向驱动模块控制微动台在垂直方向上运动，并对微动台在Z向上进行粗略调节，微动模块的微动电机通过传动件带动微动台在Z向上做精密移动，提高了工件台在Z向上的精密运动控制，满足光刻机在微动台移动中的精度需求。

公开(公告)号：CN113917792A

公开(公告)日：2022-01-11

申请号：CN202111110517.2

申请日：2021-09-22

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 赵鹏越 ,  王继尧 ,  吴剑威 ,  郑健 ,  李昌其 ,  赵博 ,  谭久彬

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及光刻机技术领域，公开了一种工件台移动装置，其包括支撑框架、固定平台、第一固定机构、移动平台、第二固定机构和气浮机构，工作台通过气浮机构实现相对于固定平台或移动平台移动，与支撑面没有接触摩擦，相对于滚轮板簧机构而言消除了摩擦损耗对支撑面平面度的影响，保证了工件台的定位精度，降低了工件台移入移出过程中的控制难度；其次，本工件台移动装置采用了移动平台和固定平台衔接的工件台转移方式，将工件台的悬浮运动行程大大缩短到固定平台支撑面到移动平台支撑面的距离，进一步提高了工件台移入移出的效率，操作较为方便，实现了大质量、大体积工件台的长距离运动，降低了工件台跌落损毁的可能性。