利用添加N2O气体化学气相沉积金刚石单晶的方法

    公开(公告)号:CN102021649A

    公开(公告)日:2011-04-20

    申请号:CN201010603983.X

    申请日:2010-12-24

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明的利用添加N2O气体化学气相沉积金刚石单晶的方法属金刚石单晶材料及其制备方法的技术领域。采用微波等离子体化学气相沉积系统,将单晶金刚石基底经抛光超声清洗处理后置于样品托放在沉积室内,向沉积室内充入氢气、甲烷和笑气,流量比为H2∶CH4∶N2O=750∶75~90∶2~10,在微波功率2~2.5kw、基底温度900~1100℃,气压13~40kPa下生长金刚石单晶。本发明具有方法简单,生长速度快,质量好,成本低,污染小等优点,在N2O浓度的增加对全球气候增温效应越来越显著情况下,既利用废气节能减排,又促进了金刚石的生产。

    一种纳米绝缘体上硅结构材料及其制作方法

    公开(公告)号:CN101587902A

    公开(公告)日:2009-11-25

    申请号:CN200910067164.5

    申请日:2009-06-23

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明的一种纳米绝缘体上硅结构材料及其制作方法属集成电路芯片材料的技术领域。通过改进传统SOI结构中绝缘材料,制得以纳米抗辐射材料,如纳米金刚石,掺氮纳米金刚石,纳米氮化硼等作为绝缘层(8)的新型SOI结构。采用注氢键合技术和化学气相沉积方法,制成连接器件表层硅(3)-纳米绝缘层(8)-金刚石膜或/和单晶体Si衬底(4)的SOI结构。这种结构不仅具有传统SOI和SOD结构的优势,而且工艺更为简单,增强抗总剂量辐射,进一步提高SOI器件的总体抗辐射能力。适用于航空、航天、军工等领域的应用。

    石墨衬底上生长氮化硼膜的方法

    公开(公告)号:CN101545095A

    公开(公告)日:2009-09-30

    申请号:CN200910066895.8

    申请日:2009-05-04

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明的石墨衬底上生长氮化硼膜的方法属于功能膜材料的技术领域。有石墨衬底的清洁处理和磁控溅射沉积的工艺过程;所述的石墨衬底的清洁处理有机械抛光、去离子水冲洗后分别浸入丙酮和乙醇溶液中超声清洗;所述的磁控溅射沉积过程是以六角氮化硼作为溅射靶材;在氩气和氮气气氛下,调节射频功率为100~180W,沉积0.5~70小时,在石墨衬底上生长cBN或/和eBN膜。本发明具有如下显著特点:生长的BN膜纯度高;不使用衬底偏压制备的膜应力低,膜表面没有裂痕;没有衬底加热,减少设备的工艺要求,降低了能量损耗和制备成本;BN膜长时间放置在空气中不剥落。

    高速生长金刚石单晶的装置和方法

    公开(公告)号:CN100500951C

    公开(公告)日:2009-06-17

    申请号:CN200710055326.4

    申请日:2007-02-07

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明的高速生长金刚石单晶的装置和方法属金刚石材料技术领域。所说的装置是在化学气相沉积系统沉积室内的衬底架上装有的样品托5;样品托5是在多晶金刚石薄膜1上面装有闭合的环形框2。也可以在环形框2内的孔洞中放置金刚石微粉3。本发明的方法是,将单晶金刚石籽晶4置于环形框2的孔洞中放入沉积室,对籽晶进行在位等离子体先期刻蚀;然后在甲烷、氢气和氮气气氛中生长金刚石单晶。方法包括在位观测生长面亮度变化确定处理可能出现的非金刚石相及结构孔洞。本发明的装置结构简单适用;易于加工;对生长单晶金刚石不产生任何污染;导热好。本发明的方法可以获得透明的金刚石单晶,生长速度能大于100微米/小时。

    一种锌离子电池电解质添加剂的制备方法

    公开(公告)号:CN118748276A

    公开(公告)日:2024-10-08

    申请号:CN202410753148.6

    申请日:2024-06-12

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 一种锌离子电池电解质添加剂的制备方法,属于锌离子电池技术领域,以纳米金刚石和二甲基亚砜作为电解质添加剂,用于提高水系锌离子电池性能。利用超声分散的方法,在二甲基亚砜中加入纳米金刚石,得到纳米金刚石/二甲基亚砜电解质添加剂,提升水系锌离子电池的容量和循环稳定性。应用纳米金刚石/二甲基亚砜作为电解液添加剂,对锌负极表面起到保护作用。将纳米金刚石/二甲基亚砜作为锌离子电池添加剂时,所组装的对称电池,不对称电池,和全电池具有很好的循环稳定性,较高的库伦效率,良好的可逆比容量与保持率。以纳米金刚石和二甲基亚砜作为电解质添加剂,提升了锌离子电池的容量和循环稳定性,具有良好的成本效益和工业前景。

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