-
公开(公告)号：CN109183004A
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201810727091.7
申请日：2018-07-05
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/54 , C23C16/455 , C23C16/46 , C23C16/40 , H01M4/04 , H01M2/14 , H01M10/058
Abstract: 本发明属于新能源材料领域，并公开了采用循环卷绕式原子层沉积设备提高电池稳定性的方法，循环卷绕式原子层沉积设备包括包括加热板、反应喷头组、驱动辊筒和伺服电机，该方法包括以下步骤：(1)将待沉积薄片绕过各驱动辊筒，再用胶布使该待沉积薄片首尾相连形成封闭的环；(2)将待沉积薄片加热到原子层沉积反应所需的温度；(3)反应喷头组对待沉积薄片上被加热的部分进行吹气和喷反应前驱体，在待沉积薄片表面沉积氧化物薄膜。本发明采用原子层沉积技术包覆锂离子电池中的正极、负极和隔膜，解决了锂离子电池正极和负极在充放电过程中的稳定性问题，提高了隔膜的结构强度，防止隔膜破裂导致的电池短路危险，沉积工艺简单，效率高，成本低。
-
公开(公告)号：CN105369221B
公开(公告)日：2018-01-30
申请号：CN201510946119.2
申请日：2015-12-17
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/455 , C23C16/458
Abstract: 本发明公开了一种包覆纳米颗粒的原子层沉积装置及其方法，其中该装置包括电机、反应腔、夹持器和输气管路，电机与夹持器相连，用于带动夹持器旋转；夹持器位于反应腔内部，用于承载纳米颗粒；输气管路用于向反应腔中输入反应气体或载气；反应腔周围设置有加热装置，使得反应气体与纳米颗粒反应从而在纳米颗粒上沉积包覆原子层；该反应腔还与真空泵相连，真空泵用于对反应腔抽真空。本发明能够有效克服纳米颗粒基底的团聚现象，在纳米颗粒表面沉积原子层、包覆纳米颗粒，提高包覆率和均匀性，并提高粉体表面包覆的效率。
-
公开(公告)号：CN106498365A
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201611090452.9
申请日：2016-11-30
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/40 , C23C16/455
CPC classification number: C23C16/405 , C23C16/45525
Abstract: 本发明公开了一种氧化锆包覆铝粉实现铝粉钝化的方法，其包括以下步骤：(1)将需要包覆的铝粉放入底部设有滤网的粉体夹持器中，然后将粉体夹持器放入原子层沉积反应器的腔体内进行抽真空；(2)对腔体进行加热，在加热过程中不断向腔体中通入流化气体，使铝粉预分散；(3)当腔体温度到达预设温度开始原子层沉积反应，在所述铝粉表面沉积一层氧化锆薄膜；(4)重复步骤(3)在铝粉表面沉积多层氧化锆薄膜，实现铝粉的钝化。本发明采用原子沉积技术对铝粉颗粒表面包覆一层纳米厚度的氧化锆薄膜，使铝粉钝化，具体操作方便、工艺简单等优点。
-
公开(公告)号：CN105779968A
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：CN201610148917.5
申请日：2016-03-16
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/40 , C23C16/455 , C23C16/52
CPC classification number: C23C16/40 , C23C16/45525 , C23C16/52
Abstract: 本发明公开了一种量子点薄膜制备方法，其包括如下步骤：1)采用原子层沉积技术在量子点表面沉积纳米或亚微米厚度的金属氧化物薄膜，以将量子点包覆；2)将包覆有金属氧化物的量子点涂覆在有机薄膜聚对苯二甲酸乙二酯衬底上，制备获得量子点薄膜；3)采用空间隔离原子层沉积技术在量子点薄膜及量子点表面沉积纳米或亚微米厚度的氧化物薄膜，以保证量子点不被氧化。本发明采用在量子点表面分步包覆钝化膜的方法制备量子点薄膜，解决量子点易被氧化，致使其丧失发光性能的问题，具有制备工艺简单，制备成本低等优点。
-
公开(公告)号：CN103668120B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201310636805.0
申请日：2013-12-02
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/455 , C23C16/458 , C23C16/52
Abstract: 本发明公开了一种多元物质原子层沉积膜制备方法和装置，所述方法，即使基片相对于原子层沉积反应腔直线运动，依次通过其内用于完成不同原子层沉积的原子层沉积系统，基片通过每个原子层沉积系统时：调整基片温度为相应原子层沉积反应最适温度。所述装置，包括原子层沉积反应腔、基片承载台、运动平台和温度控制装置；原子层沉积反应腔依次设置有多个原子层沉积系统；基片承载台，设置在原子层沉积反应腔下方；运动平台，与基片承载台连接，带动基片承载台运动；温度控制装置，设置在基片承载台下方。所述方法能高效快速的制备多元物质原子层沉积膜，所述装置，能方便的通过现有原子层沉积系统组装，兼容性强，功耗低，沉积效率高。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105369221A
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201510946119.2
申请日：2015-12-17
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/455 , C23C16/458
CPC classification number: C23C16/4417 , C23C16/455 , C23C16/4588
Abstract: 本发明公开了一种包覆纳米颗粒的原子层沉积装置及其方法，其中该装置包括电机、反应腔、夹持器和输气管路，电机与夹持器相连，用于带动夹持器旋转；夹持器位于反应腔内部，用于承载纳米颗粒；输气管路用于向反应腔中输入反应气体或载气；反应腔周围设置有加热装置，使得反应气体与纳米颗粒反应从而在纳米颗粒上沉积包覆原子层；该反应腔还与真空泵相连，真空泵用于对反应腔抽真空。本发明能够有效克服纳米颗粒基底的团聚现象，在纳米颗粒表面沉积原子层、包覆纳米颗粒，提高包覆率和均匀性，并提高粉体表面包覆的效率。
-
公开(公告)号：CN103801288B
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201410063485.9
申请日：2014-02-25
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种用于一氧化氮氧化的复合氧化物催化剂及其制备方法。该催化剂的化学通式为xABO3-(1-x)A’B2O5，由化学通式为ABO3的钙钛矿型氧化物和化学通式为A’B2O5的莫来石型氧化物复合而成，其中，A和A’各自独立地为稀土金属或碱土金属元素中的一种，B为过渡族金属元素中的一种，0＜x＜1。该催化剂可以在较低的温度下和较宽的温度范围内高效地将一氧化氮催化氧化为二氧化氮，成本低，具有很好的热稳定性，能长时间保持较高的催化活性，明显提高汽车尾气中氮氧化物的去除效率，且制备方法简单，易于操作，适合大规模工业化应用。
-
公开(公告)号：CN104624184A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201310571863.X
申请日：2013-11-15
Applicant: 华中科技大学
IPC: B01J23/34 , B01J23/889 , B01J23/83 , B01D53/94 , B01D53/56
Abstract: 本发明公开了一种用于一氧化氮氧化的催化剂，其特征在于，所述催化剂为莫来石型复合氧化物，化学通式为A1-xA'xB2-yB'yO5，其中，A和A'各自独立地为稀土金属或碱土金属元素中的一种，B和B'各自独立地为过渡族金属元素中的一种，且0≤x≤1，0≤y≤2。该催化剂可以在较宽的温度范围内高效地将一氧化氮催化氧化为二氧化氮，且成本低，具有很好的热稳定性，能长时间保持较高的催化活性，明显提高汽车尾气中氮氧化物的去除效率，且制备方法简单，易于操作，适合大规模工业化应用。
-
公开(公告)号：CN104174860A
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201410400714.1
申请日：2014-08-14
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种核壳型合金纳米颗粒的制备方法。该方法包括：使用有机硅烷偶联剂在氧化物基底表面生长出自组装单分子层。随后在生长有自组装单分子层的基底表面通过原子层沉积生长一种金属核心，接着在金属核心上通过原子层沉积选择性地生长另一种包覆核心的金属壳层。该方法可以通过调节原子层沉积的生长循环次数控制核心尺寸与壳层厚度，以及核与壳的合金成分比例。按照本发明使用的基底改性方法实现核壳结构合金颗粒的制备，由于采用了原子层沉积的工艺，因此对于生长的核壳结构合金颗粒能够达到纳米级的可控性。并且基于基底改性的方法对原子层沉积的工艺要求较小，能够推广到更多的二元合金纳米颗粒的核壳结构的构建。
-
公开(公告)号：CN103674252A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310571593.2
申请日：2013-11-15
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 一种原位椭圆偏振测量装置，包括密封盖（100）上设置供偏振光入射与反射的入射孔（106）和反射孔（107），并在外开口处设置密封的入射透光口（108）和反射透光口（109），从而可以保持薄膜反应腔密闭状态下，在整个原子层沉积过程中随时测量薄膜厚度，并且通过光路孔的腔内开口与反应腔的进气口与出气口错开设置，使反应腔的气体流动不易进入光路孔，从而避免在光路孔内壁沉积反应物，无需复杂的定期清洗，整个测量装置结构简单、紧凑，使用方便。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
156
records
(took 0.029 seconds)
