公开(公告)号：CN107689412B

公开(公告)日：2022-05-17

申请号：CN201710622430.0

申请日：2017-07-27

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 上田修平 ,  竹内正树 ,  松井晴信

IPC: H01L33/58 ,  H01L33/56

Abstract: 一种光学装置封装体，其包括容纳座，容纳在其中的光学装置和在该光学装置的发光方向上被设置于该容纳座之前的窗构件。该窗构件是具有其中至少一个是粗糙表面的前表面和后表面的合成石英玻璃构件。

公开(公告)号：CN113777875A

公开(公告)日：2021-12-10

申请号：CN202110634712.9

申请日：2021-06-08

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 枪田直树 ,  原田大实 ,  竹内正树

IPC: G03F1/24 ,  G03F1/60

Abstract: 本发明涉及一种掩模坯料用玻璃衬底。具体提供了这样的掩模坯料用玻璃衬底，其在0.1μm‑1以上且20μm‑1以下的空间频率下的圆形平均功率谱密度的最大值为1,000nm4以下，用原子力显微镜观察10μm×10μm区域的表面形貌获得该最大值。

公开(公告)号：CN106242311B

公开(公告)日：2021-01-29

申请号：CN201610402325.1

申请日：2016-06-08

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 八木寿 ,  原田大实 ,  竹内正树 ,  代田和雄 ,  青木一彦

IPC: C03C17/34

Abstract: 本发明涉及合成石英玻璃基板的制备方法。通过提供合成石英玻璃块体、用在双折射测定的波长下具有至少99.0％/mm的透射率的液体涂布该块体的两个相对表面、通过使光进入一涂布表面并且从另一涂布表面离开从而测定该块体上的双折射分布、和基于测定的双折射分布将该块体分类为可接受的组或不可接受的组，从而制备合成石英玻璃基板。

公开(公告)号：CN103809371B

公开(公告)日：2020-03-10

申请号：CN201310533747.9

申请日：2013-11-01

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 原田大实 ,  冈藤大雄 ,  山崎裕之 ,  竹内正树

IPC: G03F7/00 ,  G03F1/60

Abstract: 矩形基板在其具有拓扑图案后用作模具。该基板具有A侧和B侧的相对表面，该A侧表面具有拓扑图案。该A侧表面包括具有至多350nm的平坦度的1～50毫米×1～50毫米的中心矩形区域。使用该形成模具用基板防止在形成模具用基板上形成团的步骤与转印步骤之间发生图案错排或图案错误。能够转印微小尺寸和复杂的图案。

公开(公告)号：CN104786135B

公开(公告)日：2019-11-22

申请号：CN201510026173.5

申请日：2015-01-20

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 松井晴信 ,  原田大实 ,  竹内正树

IPC: B24B37/10 ,  B24B37/24 ,  C09K3/14

Abstract: 本发明提供了一种制备合成石英玻璃基材的方法。具体地，通过将起始基材浸渍在非离子型表面活性剂的水溶液中并且采用胶体二氧化硅水分散体精密抛光该基材制备了合成石英玻璃基材。获得了具有极少缺陷和低表面粗糙度的合成石英玻璃基材，同时改进了抛光速率和减少了抛光时间。

公开(公告)号：CN110066101A

公开(公告)日：2019-07-30

申请号：CN201910060528.0

申请日：2019-01-23

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 西田润一郎 ,  代田和雄 ,  八木寿 ,  竹内正树

IPC: C03B20/00 ,  C03B25/00 ,  C03C23/00

Abstract: 本发明涉及一种合成石英玻璃基板及其制造方法。具体涉及一种具有可控的氢分子浓度的合成石英玻璃基板，其通过如下步骤来制备：(a)将合成石英玻璃锭热成形为玻璃块，(b)将玻璃块切成玻璃板，(c)在500℃至1,250℃下对玻璃板进行15小时至60小时的退火，(d)在300℃至450℃、于氢气气氛中对玻璃板进行20小时至40小时的氢掺杂处理，以及(e)在200℃至400℃下对玻璃板进行5小时至10小时的脱氢处理。

公开(公告)号：CN108153111A

公开(公告)日：2018-06-12

申请号：CN201810092363.0

申请日：2012-02-10

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 原田大实 ,  竹内正树

IPC: G03F7/00 ,  G03F1/60

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F1/60

Abstract: 本发明提供了形成模板的衬底以及检测方法。特别地，本发明提供了具有125-300mm直径的圆形的形成模板的衬底，其具有要在其上形成拓扑图案的表面，其中在直径为125mm的圆内衬底的厚度变化为至多2μm。

公开(公告)号：CN107689412A

公开(公告)日：2018-02-13

申请号：CN201710622430.0

申请日：2017-07-27

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 上田修平 ,  竹内正树 ,  松井晴信

IPC: H01L33/58 ,  H01L33/56

CPC classification number: H01L33/483 ,  C03C15/00 ,  C03C19/00 ,  H01L33/58 ,  H01L2924/16195 ,  H01L2933/0033 ,  H01L2933/0058 ,  H01L2933/0091 ,  H01L33/56

Abstract: 一种光学装置封装体，其包括容纳座，容纳在其中的光学装置和在该光学装置的发光方向上被设置于该容纳座之前的窗构件。该窗构件是具有其中至少一个是粗糙表面的前表面和后表面的合成石英玻璃构件。

公开(公告)号：CN107689411A

公开(公告)日：2018-02-13

申请号：CN201710653709.5

申请日：2017-08-03

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 松井晴信 ,  原田大实 ,  竹内正树

IPC: H01L33/56 ,  C09D1/00

CPC classification number: H01L33/483 ,  C03C27/00 ,  C03C27/08 ,  C22C45/003 ,  H01L33/56 ,  C09D1/00

Abstract: 本发明为合成石英玻璃盖和光学器件封装体。提供合成石英玻璃盖，其包括合成石英玻璃与在窗构件的主表面的周围形成的粘结剂。此外，提供光学器件封装体，其包括具有开放上端的盒状容纳座，容纳在容纳座中的光学器件，用粘结剂结合至该容纳座上端的合成石英玻璃的窗构件。该粘结剂为由Te、Ag和选自由W、V、P、Ba和Zr中的至少一种元素组成的低熔点金属玻璃。

公开(公告)号：CN103173128B

公开(公告)日：2016-01-27

申请号：CN201210599019.3

申请日：2012-11-16

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 松井晴信 ,  原田大实 ,  竹内正树

IPC: C09G1/02 ,  B24B37/04

CPC classification number: C09K13/00 ,  B24B7/241 ,  C03C19/00 ,  C09G1/02 ,  C09K13/02

Abstract: 在合成石英玻璃基板的抛光中，采用一种抛光浆液，该抛光浆液包括(i)包括五肽的重复单元：-[缬氨酸-脯氨酸-甘氨酸-缬氨酸-甘氨酸]-、并且具有800-150,000分子量的低聚肽，或者该五肽与另-单体的共聚物，和(ii)胶体溶液。