测试装置、修正值管理方法及程式

    公开(公告)号:CN1829919A

    公开(公告)日:2006-09-06

    申请号:CN200480021797.8

    申请日:2004-07-30

    Inventor: 滝沢茂树

    CPC classification number: G01R31/3191

    Abstract: 一种测试装置、修正值管理方法及程式。该测试装置包括测试模组、修正值资料库与控制装置。此测试模组具有用于对供给至DUT的测试信号的时序或对DUT的测试信号电压准位进行修正的修正部、保持利用修正部的修正中所使用的修正值的修正值保持部、及储存作为测试模组的识别资讯的一测试模组识别资讯的识别资讯储存部。修正值资料库是相对于测试模组识别资讯,将修正值保持部应保持的修正值进行储存;控制装置是相对于识别资讯储存部所储存的测试模组识别资讯,抽出修正值资料库储存的修正值,并在修正值保持部中进行保持。

    测试装置以及测试方法
    72.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1820206A

    公开(公告)日:2006-08-16

    申请号:CN200580000284.3

    申请日:2005-06-14

    Abstract: 一种测试装置,包括第1信号比较器、第2信号比较器、标题图样列检出部、以及期待值比较部。1信号比较器依据处于第1选通时序中的输出信号的电压和一第1门限值电压进行比较后的结果以取得一输出图样的值,且因此亦取得第1输出图样列;第2信号比较器依据处于第2选通时序中的输出信号的电压和一第2门限值电压进行比较后的结果以取得一输出图样的值,且因此亦取得第2输出图样列;标题图样列检出部检出:第1输出图样列已与标题图样列相一致;期待值比较部在检出第1输出图样列已和标题图样列相一致时,使第2信号比较器所取得的第2输出图样列和期待值图样列的比较结果被输出。

    输入输出电路及测试装置
    73.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1516812A

    公开(公告)日:2004-07-28

    申请号:CN02812051.5

    申请日:2002-07-17

    Inventor: 关野隆

    CPC classification number: G01R31/31926

    Abstract: 本发明提供一种输入输出电路,是与电子元件进行信号的授受的输入输出电路,装备向电子元件供给信号的驱动器、与驱动器并列设置并从电子元件接收信号的比较器、在比较器和电子元件之间与比较器及电子元件串联设置的中继电路、将比较器和中继电路进行电连接的第1传送线路,其中,中继电路的阻抗大于第1传送线路的阻抗。

    电子束长度测量装置和长度测量方法

    公开(公告)号:CN1401070A

    公开(公告)日:2003-03-05

    申请号:CN01804835.8

    申请日:2001-04-24

    CPC classification number: G01B15/00 H01J37/28 H01J2237/2816

    Abstract: 本发明提供了一种可以高精度地对长度测量对象上的预定部分实施长度测量的电子束长度测量装置和长度测量方法。本发明提供的一种电子束长度测量装置可以具有形成有包括基准部分的基准尺寸图样的基准基板(13);搭载基准基板(13)和长度测量对象(12)用的显微镜载物台(14);使电子束在包含基准基板(13)上的基准部分的预定位置处实施扫描,依据二次电子变化状况对电子束照射至基准部分处的照射时间实施检测,进而依据该时间和基准部分的长度对时间与长度间的对应关系实施检测的校正控制部(64);以及使电子束在长度测量对象(12)上实施扫描,依据二次电子变化状况对电子束照射至长度测量对象(12)上预定部分处的照射时间实施检测,进而依据对应关系对长度测量对象上预定部分的长度实施检测的长度测量控制部(58)。

    定电压电源电路、定电压电源电路基板及定电压施加方法

    公开(公告)号:CN1358284A

    公开(公告)日:2002-07-10

    申请号:CN01800051.7

    申请日:2001-01-12

    Inventor: 桥本好弘

    CPC classification number: H03H7/06

    Abstract: 一种定电压电源电路,其包括定电压施加电路、第一电感器件与第一旁路电容。定电压施加电路具有运算放大器,用以对一负载施加输出电压,以及反馈电路,用以将输出电压反馈到运算放大器。第一电感器件设置于定电压施加电路与负载之间。第一旁路电容的一端耦接于第一电感器件与负载之间,另一端则耦接至定电压器件。

    试验装置、试验方法及计算机可读存储介质

    公开(公告)号:CN114814508A

    公开(公告)日:2022-07-29

    申请号:CN202111335464.4

    申请日:2021-11-11

    Abstract: [要解决的问题]在使成为检查对象的一对LED中的一个LED发光,并由另一个LED接收光,使用通过光电效应而输出的电流的电流值来检查LED的光学特性的方法中,无法一起检查多个LED的光学特性。[解决方案]一种试验装置,包括:电连接部,电连接于发光元件面板,所述发光元件面板具有沿着行方向及列方向排列且分别包含发光元件的多个单元;光源部,对多个单元一起照射光;读出部,针对发光元件面板的各行,在沿着列方向排列的2个以上单元的各单元中读出利用发光元件将光进行光电转换后的光电信号;测定部,测定从多个单元的各单元读出的光电信号;以及判定部,基于测定部的测定结果来判定多个单元的各单元是否良好。

    试验装置、试验方法及计算机可读存储介质

    公开(公告)号:CN114764045A

    公开(公告)日:2022-07-19

    申请号:CN202111470510.1

    申请日:2021-12-03

    Abstract: [要解决的问题]在使成为检查对象的一对LED中的一个LED发光,并由另一个LED接收光,使用通过光电效应而输出的电流的电流值来检查LED的光学特性的方法中,无法一次检查多个LED的光学特性。[解决方案]一种试验装置,包含:电连接部,电连接于成为试验对象的多个发光元件各自的端子;光源部,对多个发光元件一起照射光;测定部,测定多个发光元件分别将被光源部照射的光进行光电转换并经由电连接部输出的光电信号;获取部,获取包含修正值的修正图,所述修正值是用来修正光源部对多个发光元件各自的位置照射的光的强度不均;及判定部,基于测定部的测定结果、及由获取部获取的修正图,判定多个发光元件各自是否良好。

    曝光装置和曝光数据结构
    80.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108140558A

    公开(公告)日:2018-06-08

    申请号:CN201780001245.8

    申请日:2017-05-12

    CPC classification number: G03F7/20 H01L21/027

    Abstract: 本发明提供一种向产生多个带电粒子束的多个柱部分配电子束控制数据的曝光装置及曝光数据结构。本发明提供一种曝光装置以及这种曝光装置用的曝光数据结构及电子束控制数据的创建方法,所述曝光装置包括:多个柱部,产生沿第一方向排列的多个带电粒子束;柱控制部,单独控制带电粒子束的照射时刻;转换部,以描述器件图案的配置坐标的设计数据为基础转换成曝光数据,所述曝光数据由具有个带电粒子束的宽度并沿第二方向延伸的带状区域进行而成的第二数据和基于第一方向的位置指定该第二数据的第一数据构成;第一存储部,存储曝光数据;以及分配部,依照曝光顺序重构曝光数据并分配给各个柱部。

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