公开(公告)号：CN102753245B

公开(公告)日：2015-01-21

申请号：CN201180008454.8

申请日：2011-01-27

Applicant: 喜开理株式会社 ,  旭日纤维工业株式会社

Inventor： 余语敏文 ,  横枕祐 ,  浅井耕治

IPC: B01D39/14 ,  B01D39/16 ,  B01D46/24

CPC classification number: B01D39/083 ,  B01D46/528 ,  B01D2239/0654 ,  B01D2239/0695

Abstract: 一种设有塑料网状构件(31)和过滤材料(32)的滤芯(13)，其捕获经过滤芯(13)的气体中所含油雾。通过将网状构件(31)和过滤材料(32)螺旋缠绕在一起，使所述滤芯(13)形成为管状。

公开(公告)号：CN101839355B

公开(公告)日：2014-06-18

申请号：CN201010135748.4

申请日：2010-03-16

Applicant: 喜开理株式会社 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 小泽幸生 ,  矢岛孝视 ,  冈部庸之 ,  大仓成幸

IPC: F16K11/085 ,  F16K5/04

CPC classification number: F16K11/0856 ,  Y10T137/4358 ,  Y10T137/85954 ,  Y10T137/86863 ,  Y10T137/86871

Abstract: 本发明涉及一种旋转型切换阀，能够防止主流体从间隙部泄漏。旋转型切换阀具有：阀主体(2)，形成流动有工艺气体的腔室连通路(24)和将主流体排出的排放连通路(25)；以及圆筒阀芯(3)，可旋转地保持在阀主体(2)内，内部形成供主流体流动的主流路(31)，通过使圆筒阀芯3旋转，能够将主流路(31)在腔室连通路(24)和排放连通路(25)之间切换，其中，具有用于使清洗气体向阀主体(2)和圆筒阀芯(3)之间的间隙部(11)流动的清洗气体流路(22a、22b、22c、22d、22e)，通过使清洗气体向间隙部(11)流动，防止主流体从主流路(31)泄漏。

公开(公告)号：CN102162510B

公开(公告)日：2014-01-29

申请号：CN201010507666.8

申请日：2010-09-29

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 丹羽久信

IPC: F16H25/24 ,  F16F1/06 ,  F16F15/04 ,  F16H37/00

Abstract: 一种电致动器(11)，其包括转换机构。该转换机构将马达的转动转换成能够从致动器主体(12)突出的第一和第二杆(24)、(26)的直线运动。转换机构包括装于第一和第二杆(24)、(26)外周的第一和第二螺旋弹簧(19)、(22)。马达的转动力一旦被传递到第一和第二螺旋弹簧(19)、(22)上，两螺旋弹簧(19)、(22)就将分别转动。转换机构还包括从第一和第二杆(24)、(26)突出的制动辊(29)。制动辊(29)被配置成与第一和第二螺旋弹簧(19)、(22)的螺旋线材(19a)、(22a)相连接，且被插入在致动器主体(12)内的导槽(12a)中。

公开(公告)号：CN103161986A

公开(公告)日：2013-06-19

申请号：CN201210535862.5

申请日：2012-12-12

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 岩田洋辉 ,  竹田秀行

IPC: F16K27/02 ,  F16K7/12

CPC classification number: F16K27/00 ,  F16K27/0236 ,  Y10T137/598

Abstract: 本发明提供一种流体控制阀，该流体控制阀（100）具备：阀主体（1），其具有形成于相对的侧面的输入端口（11）和输出端口（12）；及安装板（3），其安装于该阀主体的下端，所述流体控制阀的特征在于，在阀主体（1）上的与相对的侧面正交的方向的两侧面（18B）形成有卡定突起（55），并在与该卡定突起相对的安装板的上端立起设置具有与卡定突起扣合的卡定爪（312）的卡定臂（31），在阀主体下端绕轴心形成有环状肋（52），在安装板的上端立起设置有压入肋（34），该压入肋（34）具有被压入到该环状肋的壁面的压入部（341）。

公开(公告)号：CN101376088B

公开(公告)日：2012-12-26

申请号：CN200810211190.6

申请日：2008-09-01

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 伊藤一寿 ,  西村康典

IPC: B01F15/04 ,  B01F3/02

CPC classification number: G05D11/132 ,  Y10T137/86461 ,  Y10T137/87885

Abstract: 流体混合系统和流体混合设备。一种能快速稳定待混合的多种流体的流量的流体混合系统被设置，以混合流体并将其混合物传送到容器。该系统包括多个用于各种流体且将流体传送到所述容器的双位阀。根据分别表明循环中的打开/关闭比的相应占空比而依次地打开和关闭所述双位阀。

公开(公告)号：CN101471596B

公开(公告)日：2012-11-21

申请号：CN200810190743.4

申请日：2008-12-26

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 增尾秀三 ,  金田坚

IPC: H02K37/24 ,  H02K7/06 ,  F16K31/04

CPC classification number: G05B19/0423 ,  B23Q5/40 ,  G05B19/054 ,  G05B2219/41309 ,  G05B2219/41311 ,  G05B2219/45006 ,  G05B2219/45083 ,  G05B2219/45207

Abstract: 一种电致动器(11)包括运动转换机构和位置检测器(37)。运动转换机构将马达(19)的转轴(20)的转动转换成输出轴(29)的直线运动。位置检测器(37)检测与输出轴(29)一起移动的永久磁铁M。马达控制部(39)基于主命令单元的命令控制马达(19)。控制马达(19)的控制程序包括，作为控制模式的六个流体压力缸模式，马达(19)根据该控制模式进行控制。具体地，各控制模式对应于流体压力缸由三个电磁阀，或由两位单电磁阀、两位双电磁阀及三位双电磁阀进行控制的情况中的一种。马达(19)根据所选定的控制模式进行控制。

公开(公告)号：CN101725752B

公开(公告)日：2012-09-26

申请号：CN200910174923.8

申请日：2009-11-03

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 井上贵史 ,  西村康典

IPC: F16K27/00

Abstract: 本发明提供一种气体供给装置及块状凸缘，该气体供给装置能够供给复杂的工艺气体，能够减小地面占有面积。在具有第一线路及第二线路的气体供给装置(1)中，该第一线路与第一质量流控制器(MB)连接，该第二线路与第二质量流控制器(MC)连接，该第一线路具有供给气体A的第一开闭阀(VB3)及供给气体C的第二开闭阀(VB2)，该第二线路具有供给气体B的第三开闭阀(VC3)及供给气体D的第四开闭阀(VC2)，在气体供给装置(1)中，气体A和气体B是相同的气体。

公开(公告)号：CN101073141B

公开(公告)日：2012-06-27

申请号：CN200580006774.4

申请日：2005-01-20

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 川久保修 ,  武市昭宏 ,  井上贵史 ,  三轮敏一

IPC: H01L21/02 ,  F17D1/04

CPC classification number: F17C13/04 ,  F17D1/04 ,  H01L21/02 ,  H01L21/205

Abstract: 本发明课题是提供一种可以容易地增设线路的气体供给集成单元。作为解决该课题的手段，其具有多个气体单元，所述气体单元通过流路块串连一体连接有：在出口流路设置的第一手动阀11；在上述第一手动阀和过程气体共同流路15连通的位置上设置的第二手动阀13；和在第一手动阀11和清洁气体共同流路16连通的位置上设置的第三手动阀14，在该气体供给集成单元中，具有与过程气体共同流路15的端部连通的过程气体共同流路端部手动阀22、和与清洁气体共同流路16的端部连通的清洁气体共同流路端部手动阀23。

公开(公告)号：CN102162510A

公开(公告)日：2011-08-24

申请号：CN201010507666.8

申请日：2010-09-29

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 丹羽久信

IPC: F16H25/24 ,  F16F1/06 ,  F16F15/04 ,  F16H37/00

Abstract: 一种电致动器(11)，其包括转换机构。该转换机构将马达的转动转换成能够从致动器主体(12)突出的第一和第二杆(24)、(26)的直线运动。转换机构包括装于第一和第二杆(24)、(26)外周的第一和第二螺旋弹簧(19)、(22)。马达的转动力一旦被传递到第一和第二螺旋弹簧(19)、(22)上，两螺旋弹簧(19)、(22)就将分别转动。转换机构还包括从第一和第二杆(24)、(26)突出的制动辊(29)。制动辊(29)被配置成与第一和第二螺旋弹簧(19)、(22)的螺旋线材(19a)、(22a)相连接，且被插入在致动器主体(12)内的导槽(12a)中。

公开(公告)号：CN101093057B

公开(公告)日：2011-08-10

申请号：CN200710110099.0

申请日：2007-06-22

Applicant: 喜开理株式会社 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 冈部庸之 ,  大仓成幸 ,  土居广树 ,  伊藤稔 ,  森洋司 ,  西村康典

IPC: F17D1/08 ,  F17D3/01

CPC classification number: F16K27/003 ,  F16K7/14 ,  F16K31/06 ,  H01L21/31691 ,  Y10T137/4259 ,  Y10T137/87885

Abstract: 液体原材料供应单元适于对汽化器供应液体原材料。该单元包括：集管，其内形成有流动通道；和多个流体控制阀，它们安装在集管上且包括：液体原材料控制阀；清洗溶液控制阀；吹扫气体控制阀；和第一引入控制阀，它可连接到汽化器上，用于控制从流动通道到汽化器的流体供应，吹扫气体控制阀、清洗溶液控制阀、液体原材料控制阀、和第一引入控制阀从集管的上游侧按此顺序安装在集管上。流动通道分别连接那些控制阀的阀口，这些阀口与相应控制阀的阀开口连通，而且流动通道构造成允许从吹扫气体控制阀供应来的吹扫气体直接在设置于吹扫气体控制阀下游的清洗溶液控制阀和液体原材料控制阀的阀口中流动。