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公开(公告)号:CN118280931A
公开(公告)日:2024-07-02
申请号:CN202211733708.9
申请日:2022-12-30
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本发明提供了一种柔性电子器件封装结构及其制备方法,属于柔性电子器件技术领域。所述封装结构包括第一封装层和第二封装层,所述第一封装层包括第一有机化合物层,所述第一有机化合物层上设置有多个第一空洞,所述第一空洞内设置有第一无机氧化物层,所述第二封装层包括第二无机氧化物层,所述第二无机氧化物层上设置有多个第二空洞,所述第二空洞内设置有第二有机化合物层,所述第一空洞和所述第二空洞上下对应且所述第一空洞位于所述第二空洞内。所述封装结构能够有效减小无机氧化物层的应力集中,增加封装层在柔性电子器件弯曲变形时的有效性,实现柔性电子器件的长时间密封。
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公开(公告)号:CN118258531A
公开(公告)日:2024-06-28
申请号:CN202211693517.4
申请日:2022-12-28
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
IPC: G01L1/22
Abstract: 本发明提供了一种阵列式压力传感器及其制造方法,其能够在实现压力分布的长期稳定监测的同时,便于实现曲面的压力监测。该阵列式压力传感器包括:基底膜;传感芯片阵列,该传感芯片阵列包括间隔地阵列排布于该基底膜的多个压力传感芯片,每个该压力传感芯片包括减薄硅片和设置于该减薄硅片的正面的惠斯通电桥,该减薄硅片是通过研磨硅片基材的背面且经过分割而成的;电路层,该电路层包括柔性膜和设置于该柔性膜的电路主体,该传感芯片阵列被包埋在该柔性膜和该基底膜之间,并且该电路主体电连接于该惠斯通电桥;以及封装膜,该封装膜被设置于该电路层的上表面以覆盖该电路主体。
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公开(公告)号:CN110557902B
公开(公告)日:2024-06-11
申请号:CN201810552110.7
申请日:2018-05-31
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种激光转印装置及方法,所述装置包括:激光器、扩束器、分光镜以及聚焦模块;所述激光器用于产生激光束;所述扩束器设置在所述激光器产生的激光束的光路上,用于将激光器产生的激光束扩束;所述分光镜设置在所述扩束器扩束后的激光束的光路上,用于使扩束后的激光束经过反射后进入所述聚焦模块;所述聚焦模块设置在所述分光镜反射后的激光束的光路上,用于对激光束进行聚焦并将聚焦后的激光束投射至预定转印加工位置。利用聚焦后的激光束进行转印,激光束照射面积减小,减小了热扩散的范围,进一步的减小了对周边其他器件的影响,实现了高精度的选择性转印。
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公开(公告)号:CN110034388B
公开(公告)日:2024-02-06
申请号:CN201910314774.4
申请日:2019-04-18
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 切割减材方式获得石墨烯目标图形的工艺简单、天线制备方法及具有其的天线,该方法包括 成本低,节约资源。如下步骤:在绝缘基底表面制备氧化石墨烯薄膜;对所述石墨烯薄膜远离所述绝缘基底的一侧进行激光直写以还原得到目标天线。该制备方法属于增材方式制备天线,适合在平面和曲面上制备天线,可制备得到平面结构和曲面结构的天线,也可制备具有高柔韧性的天线。通过激光直写可一步制成与预设图形相同的天线,相较于真
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公开(公告)号:CN114539776B
公开(公告)日:2023-07-25
申请号:CN202111641734.4
申请日:2021-12-29
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
IPC: C08L83/04 , C08L75/04 , C08K9/10 , C08K3/22 , C08K3/24 , C08J7/06 , C08J7/12 , C23C14/20 , C23C14/35 , C23C28/02 , C25D5/56 , H01B3/02 , H01B3/10 , H01B13/00
Abstract: 介电弹性体金属化材料及制备方法,该方法包括如下步骤:在无机非金属颗粒外包覆多巴胺活性层;配置形成介电弹性体薄膜的介电弹性体材料溶液,将包覆有所述多巴胺活性层的无机非金属颗粒分散于所述介电弹性体材料溶液内,并对所述介电弹性体材料溶液进行固化,形成介电弹性体薄膜;对所述介电弹性体薄膜的表面进行亲水化处理;采用磁控溅射的方式,在经过亲水化处理的所述介电弹性体薄膜的表面形成第一金属层;采用电镀工艺在所述第一金属层的表面形成第二金属层。由该该介电弹性体金属化材料的制备方法制作而成的介电弹性体金属化材料,其介电常数较高,介电损耗较小,金属层与介电弹性材料之间的结合力较大。
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公开(公告)号:CN116407134A
公开(公告)日:2023-07-11
申请号:CN202111648129.X
申请日:2021-12-29
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 钱塘科技创新中心
IPC: A61B5/369 , A61B5/386 , A61B5/1455 , A61B5/00
Abstract: 一种一体式脑信号监测器,包括柔性基板、光源、光电探测器及EEG电极,所述光源、所述光电探测器及所述EEG电极设置于所述柔性基板上,所述光源与所述光电探测器相对设置,在所述柔性基板上设置有用于与外部设备相连的信号接口,所述光源、所述光电探测器及所述EEG电极通过导线与所述信号接口相连,所述导线布设于所述柔性基板上。该一体式脑信号监测器能够集成近红外光谱技术及脑电波技术,更好地在同一时间对脑部的状况进行监测。
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公开(公告)号:CN116387806A
公开(公告)日:2023-07-04
申请号:CN202211386482.X
申请日:2022-11-07
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
IPC: H01Q1/38
Abstract: 本发明公开了一种柔性倒F天线及其制作方法,该柔性倒F天线包括柔性基板以及设于柔性基板上的辐射体和接地体,接地体设有与辐射体相匹配的容纳间隙区,辐射体设于容纳间隙区内且与接地体相互间隔开,辐射体包括单极子天线和接地线,接地线的一端与单极子天线电性连接,接地线的另一端与接地体电性连接,单极子天线具有多个首尾相接的折弯部。通过在接地体设置容纳间隙区,将辐射体设于容纳间隙区内,使得辐射体被包围于接地体内,而且单极子天线由多个首尾相接的折弯部组成,可以使得辐射体在各个方向都存在耦合,天线的容性加强,并在弯曲共形时可以减少耦合量突变以及谐振频率偏移量,保持谐振频率的稳定性。
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公开(公告)号:CN111072849B
公开(公告)日:2023-05-23
申请号:CN201911367818.6
申请日:2019-12-26
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
IPC: C08F220/56 , C08F220/06 , C08F220/54 , C08K3/16 , C08K3/28 , C08K3/38 , C08K5/07 , C08K3/30 , C08K5/55 , H05K1/03
Abstract: 本发明提供一种功能凝胶的制备方法,包括制备包括羧基基团的基材,将含有第一功能填料的第二混合液渗透入所述基材的内部,以使所述第一功能填料与所述基材的羧基基团形成化学键,进而所述第一功能填料与至少部分所述基材形成功能元件,所述功能元件的杨氏模量与所述基材的杨氏模量之比为(3~20):1。本发明通过第一功能填料与至少部分所述基材之间形成化学键,使所述第一功能填料与相邻的至少部分所述基材之间具有强烈的相互吸引作用并形成功能元件,功能元件处的局部作用力得到增强,从而得到具有稳定界面结构且能实现抗拉伸的功能凝胶。本发明还提供由该制备方法制得的功能凝胶及其应用。
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公开(公告)号:CN115791592A
公开(公告)日:2023-03-14
申请号:CN202111054905.3
申请日:2021-09-09
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
IPC: G01N19/00
Abstract: 本发明提供一种压电系数测量设备,包括测试台、调节组件、至少一个第一测量压头、至少一个第二测量压头及至少一个压力传感器,调节组件设置于测试台,第一测量压头连接于调节组件,第二测量压头固设于测试台并与第一测量压头相对设置,调节组件用于调节第一测量压头与第二测量压头之间的距离,压力传感器与第一测量压头相连,压力传感器用于测试第一测量压头受到的压力。本发明提供的压电系数测量设备能够通过压力传感器精确监测第一测量压头所受的压力,进而及时调整调节组件,避免第一测量压头继续向第二测量压头移动,降低误差,提高测量结果的准确性,同时保护了待测件的完整性,避免材料出现损坏。
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公开(公告)号:CN112614933B
公开(公告)日:2022-12-06
申请号:CN202011375263.2
申请日:2020-11-30
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
IPC: H01L41/45 , H01L41/293 , H01L41/317 , H01L41/193 , D06M11/83 , C23C18/16 , C23C18/20 , C23C18/38 , D04H1/4318 , D04H1/728 , D04H3/007 , D04H3/02 , D04H13/00 , D06M101/22
Abstract: 一种PVDF压电材料的制备方法及PVDF压电材料,该方法包括如下步骤:S1:制备PVDF原溶液,以及制备带电荷的改性分子与PVDF的混合溶液;S2:使PVDF原溶液形成第一PVDF层,使带电荷的改性分子与PVDF的混合溶液形成第二PVDF层及第三PVDF层,并使第二PVDF层及第三PVDF层分别位于第一PVDF层的两个表面上,以形成PVDF材料基体,在形成PVDF基体时,使第二PVDF层及第三PVDF层内的改性分子与PVDF形成带电荷的交联网络;S3:在第二PVDF层及第三PVDF层上施加带有电荷的电极催化剂溶液,电极催化剂溶液所带电荷的种类与改性分子及PVDF的混合溶液中的电荷的种类相反;S4:对施加有带电荷的催化剂溶液的PVDF材料基体进行化学镀处理,以使第二PVDF层及第三PVDF层上形成电极。该PVDF压电材料的两个电极间能够具有较好地信号传输性能。
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