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公开(公告)号：CN116964934A
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202280019895.6
申请日：2022-02-08
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明提供一种能够抑制压电层的厚度的偏差的弹性波装置。弹性波装置(10)具备：支承构件(13)，具有支承基板；压电层(14)，设置在支承构件(13)上；以及激励电极，设置在压电层(14)上。在支承构件(13)设置有空洞部(13c)。在俯视下，激励电极的至少一部分与空洞部(13c)重叠。压电层(14)中的在俯视下与空洞部(13c)重叠的部分为薄膜部(15)。薄膜部(15)具有第1方向(w1)和与第1方向(w1)正交的第2方向(w2)。薄膜部(15)具有位于第1方向(w1)上的中央的中央部(15c)和在第1方向(w1)上夹着中央部(15c)相互对置的第1部分(15a)和第2部分(15b)，并且具有外周缘。薄膜部(15)的第1部分(15a)以及第2部分(15b)中的外周缘的至少一部分位于比中央部(15c)中的外周缘靠第2方向(w2)上的外侧。
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公开(公告)号：CN116803001A
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202280011404.3
申请日：2022-01-28
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/02
Abstract: 一种声波设备，包括支撑基板、在支撑基板上的压电层、以及叉指换能器电极。比率d/p小于或等于约0.5，其中d是压电层的厚度，并且p是多个电极指中相邻的电极的中心之间的距离。叉指换能器电极包括：交叉区域，当在多个电极指彼此面对的方向上观察时，在交叉区域中相邻的电极指重叠；两个间隙区域，该两个间隙区域中的每一个位于交叉区域和两条母线中的对应母线之间，并且包括被定义为在多个电极指延伸的方向上的尺寸的I‑B间隙；以及两个间隙区域中的至少一个间隙区域的I‑B间隙小于或等于约1.1p。
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公开(公告)号：CN116762276A
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202280011217.5
申请日：2022-03-17
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/17
Abstract: 本发明提供一种不易产生特性的劣化且使用了含钪氮化铝膜的体声波装置。一种体声波装置(1)，其中，在基板(2)上设置有含钪氮化铝膜(3)，含钪氮化铝膜(3)设置在第1电极(4)上，在含钪氮化铝膜(3)上设置有第2电极(5)，第1电极(4)和第2电极(5)隔着含钪氮化铝膜(3)相互重叠，在含钪氮化铝膜(3)中，在沿着厚度方向位于第1电极(4)侧的第1区域(11)、位于第2电极(5)侧的第3区域(13)、作为第1区域(11)与第3区域(13)之间的厚度方向中央区域的第2区域(12)中，第1区域(11)中的定向比低于第2区域(12)中的定向比，或者第3区域(13)中的定向比高于第2区域(12)中的定向比。
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公开(公告)号：CN116671009A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202180086984.8
申请日：2021-12-16
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 木村哲也
IPC: H03H9/145
Abstract: 本发明提供一种能够在支承构件具有空洞部的结构中提高散热性的弹性波装置。弹性波装置(10)具备：支承构件(13)；压电层(14)；IDT电极(25)，具有第1、第2汇流条(26、27)以及多个第1、第2电极指(28、29)；以及电介质膜(17A、17B)，设置在压电层(14)上，使得在俯视下与IDT电极(25)的至少一部分重叠。将压电层(14)的厚度设为d，将相邻的电极指的中心间距离设为p，在该情况下，d/p为0.5以下。在支承构件(13)，设置有在压电层(14)侧开口的空洞部(13c)。IDT电极(25)具有交叉区域(E)和第1、第2间隙区域(G1、G2)。电介质膜(17A、17B)设置在第1、第2间隙区域(G1、G2)的至少一部分，且电介质膜(17A、17B)的热传导率比压电层(14)的热传导率高。
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公开(公告)号：CN110383682B
公开(公告)日：2023-01-17
申请号：CN201880016222.9
申请日：2018-02-23
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供一种难以发生谐振特性的劣化的弹性波装置。在相对置的第一端面(6c)及第二端面(6d)之间反射弹性波的端面反射型的弹性波装置(1)。在压电体(6)的第一主面(6a)上设置有第一电极指(7)及第二电极指(8)。将从连结第一端面(6c)、第二端面(6d)的第一方向观察第一电极指(7)和第二电极指(8)时重叠的部分设为交叉部、且将压电体(6)中的第一端面(6c)与第二端面(6d)的距离设为压电体(6)的宽度时，在第一端面(6c)与第二端面(6d)对置的区域设置有不同宽度部分，该不同宽度部分具有与交叉部的第二方向上的中央部分的压电体的宽度不同的宽度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114467258A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202080066156.3
申请日：2020-09-25
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供一种弹性波装置，能够应对高频化且能够提高线性度。弹性波装置(1)具备压电体层(4)、第一电极(51)以及第二电极(52)。第一电极(51)和第二电极(52)在与压电体层(4)的厚度方向(D1)交叉的方向(D2)上对置。弹性波装置(1)利用厚度剪切一阶模的体波。压电体层(4)的材料为铌酸锂或钽酸锂。压电体层(4)设置在硅基板(2)的第一主面(21)上。弹性波装置(1)还具有陷获区域(10)。陷获区域(10)设置在压电体层(4)的第二主面(42)侧。
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公开(公告)号：CN114467254A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202080066167.1
申请日：2020-09-25
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种即使在推进了小型化的情况下也能够提高Q值且能够使失真特性提高的弹性波装置。弹性波装置(1)具备压电体层(4)和第1电极(51)以及第2电极(52)。第1电极(51)以及第2电极(52)在与压电体层(4)的厚度方向(D1)交叉的方向(D2)上对置。弹性波装置(1)利用厚度剪切一阶模的体波。压电体层(4)的材料是铌酸锂或钽酸锂。第1电极(51)以及第2电极(52)各自包含形成在压电体层(4)上的铝层(511、521)。构成铝层(511、521)的晶体的取向方向是相对于铝层(511、521)中的压电体层(4)侧的第2主面(524)正交的方向。
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公开(公告)号：CN114430885A
公开(公告)日：2022-05-03
申请号：CN202080066070.0
申请日：2020-09-25
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种即使在推进了小型化的情况下也能够提高Q值且能够容易地进行频率的调整的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电层(2)，包含铌酸锂或者钽酸锂，具有相互对置的第1主面(2a)以及第2主面(2b)；至少一对电极(3、4)(第1电极、第2电极)，设置在压电层(2)的第1主面(2a)上；和附加膜(10)，设置在电极(3、4)中的至少一个电极上或者压电层(2)上，使得在俯视下与形成有电极(3、4)的区域以及各电极(3、4)彼此之间的区域中的至少一个区域重叠，电极(3、4)是彼此相邻的电极，将压电层(2)的厚度设为d，将电极(3、4)的中心间距离设为p，在该情况下，d/p为0.5以下。
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公开(公告)号：CN114424457A
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202080065535.0
申请日：2020-09-25
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明即使在促进了小型化的情况下，也提高Q值且保持强度。弹性波装置还具备压电体层(4)、第1电极(51)以及第2电极(52)、第1分割谐振器(RS3)以及第2分割谐振器(RS4)、和支承基板(2)。支承基板(2)具有第1能量封闭层和第2能量封闭层。第1能量封闭层与压电体层(4)的第1区域(451)的至少一部分重叠。第2能量封闭层与压电体层(4)的第2区域(452)的至少一部分重叠。支承基板(2)具有位于第1能量封闭层与第2能量封闭层之间的壁部(27)。
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公开(公告)号：CN113169726A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201980080936.0
申请日：2019-12-06
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 提供一种弹性波装置，即便所传播的弹性波的主成分是纵波也能够得到良好的阻抗特性。弹性波装置(1)具备支承基板(2)、压电体层(3)以及IDT电极(4)。压电体层(3)直接或间接地设置在支承基板(2)上。IDT电极(4)包括多个电极指(41)，设置于压电体层(3)的主面(31)。在将由IDT电极(4)的电极指周期决定的弹性波的波长设为λ的情况下，压电体层(3)的厚度为1λ以下。支承基板(2)是A面蓝宝石基板。
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