用于对称横向激发的体声学谐振器的光栅结构

    公开(公告)号:CN118900106A

    公开(公告)日:2024-11-05

    申请号:CN202410549858.7

    申请日:2024-05-06

    Abstract: 提供了一种声学谐振器件,包括:基板;压电层,具有前表面和后表面,后表面由基板支撑;导体图案,在压电层的前表面处,并且包括叉指换能器(IDT),IDT包括第一母线、第二母线和交错IDT指状物,IDT指状物包括在IDT的相对端处的第一IDT指状物和第n IDT指状物;第一光栅元件,包括从第一母线或第二母线之一延伸的光栅条,第一光栅元件与第一IDT指状物相邻且平行;前侧介电层,在压电层的前表面处;以及后侧介电层,在压电层的后表面处。

    声波设备
    3.
    发明公开
    声波设备 审中-实审

    公开(公告)号:CN116803001A

    公开(公告)日:2023-09-22

    申请号:CN202280011404.3

    申请日:2022-01-28

    Abstract: 一种声波设备,包括支撑基板、在支撑基板上的压电层、以及叉指换能器电极。比率d/p小于或等于约0.5,其中d是压电层的厚度,并且p是多个电极指中相邻的电极的中心之间的距离。叉指换能器电极包括:交叉区域,当在多个电极指彼此面对的方向上观察时,在交叉区域中相邻的电极指重叠;两个间隙区域,该两个间隙区域中的每一个位于交叉区域和两条母线中的对应母线之间,并且包括被定义为在多个电极指延伸的方向上的尺寸的I‑B间隙;以及两个间隙区域中的至少一个间隙区域的I‑B间隙小于或等于约1.1p。

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