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公开(公告)号：CN105940251A
公开(公告)日：2016-09-14
申请号：CN201580002416.X
申请日：2015-02-10
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16K31/004 , F16K7/14 , F16K7/16 , F16K27/041 , F16K27/048 , F16K31/007 , F16K31/008 , G05D7/0635 , H01L41/053 , H01L41/083 , H01L41/23 , H01L41/25 , Y10T137/7761
Abstract: 本发明的目的在于实现压电式线性致动器、压电驱动阀以及流量控制装置的薄型化。本发明的压电式线性致动器具备：层积压电致动器(2)；下部支撑部件(3)，支撑层积压电致动器(2)并在左右侧方向延伸；按压部件(4)，从上部按压层积压电致动器(2)并在左右侧方向延伸；导向部件(5)，连接于下部支撑部件(3)且引导按压部件(4)的左右；和变位传输部件(6)，传输由于层积压电致动器(2)的压电效果产生的变位，变位传输部件(6)具备：一对变位传输板(6a、6b)，以相对于下部支撑部件(3)及按压部件(4)能够上下移动的方式交差且在下部支撑部件(3)的下方及按压部件(4)的上方分别连接；调节螺丝(6g)，与一对变位传输板(6a、6b)连接，能够调节该变位传输板的相对于按压部件(4)的相对高度位置；输出部(6d)，与变位传输板(6a、6b)连接；和弹性体(9)，将该输出部弹推向下方。
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公开(公告)号：CN105659177A
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201480049536.0
申请日：2014-10-15
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G05D7/0635 , F16K7/14 , F16K31/004
Abstract: 本发明提供一种压力式流量控制装置，在使用压力式流量控制装置的流体流量控制中，能够实现大幅度缩短流量切换时的下降响应时间，提高下降响应特性。本发明构成包括以下部件的压力式流量控制装置：设置有将流体入口和流体出口之间连通的流体通路和将流体通路和排气出口之间连通的排气通路的主体；固定于主体的流体入口侧并对流体通路的上游侧进行开闭的压力控制用控制阀；检测其下游侧的流体通路内压的压力传感器；设置在比所述排气通路的分支部位靠下游的流体通路内的流孔；和对所述排气通路进行开闭的排气控制用控制阀，并且在利用该压力式流量控制装置进行流体流量的变更时，通过使压力控制用控制阀和排气控制用控制阀动作，对压力控制用控制阀和流孔之间的流体通路空间内进行强制排气，从而提高流量变更时的下降响应速度。
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公开(公告)号：CN105556411A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201480049537.5
申请日：2014-11-25
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种可谋求流量切换时的下降响应时间缩短、可提高下降响应特性的压力式流量控制装置。本发明的压力式流量控制装置具备：主体(5)，设置有连通流体入口(2)与流体出口(3)之间的流体通路(4)；压力控制用控制阀(CV)，固定于主体(5)且开闭流体通路(4)；流孔(OL)，插入设置于压力控制用控制阀(CV)的下游侧的流体通路(4)；压力传感器(P1)，固定于主体(5)且检测压力控制用控制阀(CV)与流孔(OL)之间的流体通路(4)的内压，流体通路(4)具备：第一通路部(4a)，连接压力控制用控制阀(CV)与压力传感器(P1)的压力检测面(P1a)上的压力检测室(4b)，及第二通路部(4c)，与第一通路部(4a)分离且连接压力检测室(4b)与流孔(OL)。
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公开(公告)号：CN105556283A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201480022888.7
申请日：2014-07-18
Applicant: 国立大学法人德岛大学 , 株式会社富士金
IPC: G01N21/33
CPC classification number: G01N21/5907 , G01N21/33 , G01N2021/3148 , G01N2021/5969 , G01N2021/8411 , G01N2021/8578 , G01N2201/0627 , G01N2201/0691
Abstract: 本发明提供一种在有机原料流体的供给系统等中使用的浓度计，能够实现该浓度计的结构的简单化、小型化、产品成本的降低，并且能够在高精度、高灵敏度下进行再现性高的浓度测定。本发明由以下部件构成：发射具有相位差的至少两种波长的光的光源部；具备将来自光源部的光入射至检测器主体的流体通路内的光入射部和对流体通路内通过的光进行受光的至少两个光检测部的检测部；对来自检测部的至少两个波长的检测信号分别进行频率解析，并且计算与上述各检测信号的至少三个频率域的吸光度对应的强度，根据该各检测信号的至少三个频率域的吸光度强度计算流体通路内的流体浓度的运算处理部；记录和/或显示运算处理部的流体浓度的计算值的记录显示部。
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公开(公告)号：CN105164512A
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201480010081.1
申请日：2014-04-25
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G01J1/0403 , G01J1/0407 , G01J1/42 , G01J3/0205 , G01J5/0014 , G01J5/0875 , G01N21/0303 , G01N21/05 , G01N21/33 , G02B1/02 , G02B7/007 , G02B27/022 , G02B27/028
Abstract: 本发明提供一种谋求在有机原料流体的供给系统等中使用的浓度计的构造的简单化、小型化、制品成本的降低，能够将透光窗的透明度保持为一定而进行稳定的浓度测定，并且提高了气密性能和耐颗粒性的浓度计。本发明是在由检测器的主体(2)和设置于检测器的主体的上面的光发信部(5a)以及设置于检测器的主体的下面的光检测部(5b)构成的光分析式原料流量浓度检测器中，由以下部件构成：通过在检测器的主体(2)的上面和下面设置的流体通路(2b)而连通的凹部(17)；安装在该凹部(17)内的垫片型密封件(6)；与垫片型密封件(6)相对向配置，将蓝宝石制透光窗板(11a)夹持紧固而气密性地嵌合固定的第一固定凸缘(14)和第二固定凸缘(16)；设置于第二固定凸缘(16)内的光纤(9)和光电二极管(10)；和将所述嵌合固定的两固定凸缘(14、16)经由垫片型密封件(6)气密性地固定于检测器主体(2)的凹部(17)内的保持固定体(12)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104838240A
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201480003382.1
申请日：2014-01-24
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G01F1/42
Abstract: 本发明涉及一种垫片一体型孔板，提高在配管管路、压力式流量控制装置等中使用的垫片一体型孔板的耐腐蚀性，并且实现密封程度的提高及密封性能稳定化，且能简单地进行垫片一体型孔板的制造成本的削减及垫片一体型孔板的分解、组合、更换等。本发明将具备嵌合用突部(2b)且在中心部设置有贯穿状的通路(2a)的第一孔座(2)与具备嵌合用凹部(3b)且在中心部设置有与所述第一孔座(2)的通路(2a)连通的贯穿状的通路(3a)的第二孔座(3)加以组合，将陶瓷制孔板(4)气密状地插接在两者(2、3)的端面间，并且以两孔座(2、3)的外侧端面作为垫片的密封面(2c、3c)。
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公开(公告)号：CN104685333A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201380033899.0
申请日：2013-07-11
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G01M3/24
Abstract: 提供一种泄漏检测装置及具有该泄漏检测装置的流体控制器，该泄漏检测装置能够实现小型化而始终安装在流体控制器等泄漏检测对象部件上，由此，能够始终监视流体的泄漏。流体控制器(1)由流体控制器主体(2)和安装在流体控制器主体(2)上的泄漏检测装置(3)构成。在流体控制器主体(2)上设有用于检测泄漏的泄漏口(16)。泄漏检测装置(3)具有：传感器保持体(21)，其安装在流体控制器主体(2)上；超声波传感器(22)，其以与泄漏口(16)相对的方式保持在传感器保持体(21)上；超声波通路(23)，其设在超声波传感器(22)的感应面与泄漏口(16)之间；处理电路(24)，其处理由超声波传感器(22)得到的超声波。
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公开(公告)号：CN104246642A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201380021682.8
申请日：2013-04-01
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0641 , G05D7/0664 , Y10T137/87772
Abstract: 本发明的半导体制造装置的气体分流供给装置具备：控制阀（3），构成与处理气体入口（11）连接的压力式流量控制部（1a）；气体供给主管（8），与控制阀（3）的下游侧连通；多个分支管路（9a、9n），在气体供给主管（8）的下游侧以并列状连接；分支管路开闭阀（10a、10n），夹设于各分支管路（9a、9n）；节流孔（6a、6n），设置于分支管路开闭阀（10a、10n）的下游侧；温度传感器（4），设置在上述控制阀（3）与节流孔（6a、6n）之间的处理气体通路附近；压力传感器（5），设置在上述控制阀（3）与节流孔（6a、6n）之间的处理气体通路；分流气体出口（11a、11n），设置在上述节流孔（6a、6n）的出口侧；以及由压力式流量运算控制部（7a）构成的运算控制部（7），所述压力式流量运算控制部（7a）被输入来自上述压力传感器（5）的压力信号以及来自温度传感器（4）的温度信号，运算在上述节流孔（6a、6n）中流通的处理气体的总流量（Q），并且将控制信号（Pd）向阀驱动部（3a）输出，所述控制信号（Pd）使上述控制阀（3）向运算出的流量值与设定流量值之差减少的方向开闭动作；由压力式流量控制部（1a）进行流量控制。
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公开(公告)号：CN104081304A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201280068410.9
申请日：2012-10-17
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G05D7/0641 , G05D7/0664 , Y10T137/2544
Abstract: 一种半导体制造装置的气体分流供给装置，具备：操纵阀(3)，其形成压力式流量控制部(1a)；气体供给主管(8)，其连通于操纵阀(3)的下游侧；节流孔(6)，其设于操纵阀(3)下游侧的气体供给主管(8)；多个分支管路(9a、9n)，其并列状地连接于气体供给主管(8)的下游侧；分支管路开闭阀(10a、10n)，其间置于各分支管路(9a、9n)；压力传感器(5)；分流气体出口(11a、11n)，其设于各分支管路(9a、9n)的出口侧；以及运算控制部(7)，其中，对阀驱动部(3a)输出使所述操纵阀(3)朝运算流量值与设定流量值之差减少的方向开闭动作的控制信号Pd，并且对分支管路开闭阀(10a、10n)输出使各分支管路开闭阀(10a、10n)各自依次打开一定时间之后使其封闭的开闭控制信号(Od1、Odn)，利用压力式流量控制部(1a)进行流通过节流孔(6)的过程气体的流量控制，并且通过分支管路开闭阀(10a、10n)的开闭来分流供给过程气体。
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公开(公告)号：CN102057340B
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN200980121364.2
申请日：2009-04-06
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D16/20
CPC classification number: G05D7/0635 , Y10T137/7761
Abstract: 在变更流量调整器的输出流量或变更流通的气体种类时，其输出侧的流量不产生过冲。本发明是一种向流量调整器供给的气体供给压力的自动压力调整器(20)，由压电元件驱动型压力调整阀(15)、控制压检测器(14)以及控制器(16)构成上述自动压力调整器(20)，该控制压检测器设在压力调整阀(15)的输出侧，该控制器被输入控制压检测器(14)的检测值(P2)和控制压的设定值(Pst)，利用比例控制方式而向压力调整阀(15)的压电元件驱动部供给控制信号，进行阀的开度调整，并且，通过使积分动作无效，将控制器的所述比例控制方式作为控制压产生残留偏差的控制。
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