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公开(公告)号:CN104685333A
公开(公告)日:2015-06-03
申请号:CN201380033899.0
申请日:2013-07-11
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G01M3/24
Abstract: 提供一种泄漏检测装置及具有该泄漏检测装置的流体控制器,该泄漏检测装置能够实现小型化而始终安装在流体控制器等泄漏检测对象部件上,由此,能够始终监视流体的泄漏。流体控制器(1)由流体控制器主体(2)和安装在流体控制器主体(2)上的泄漏检测装置(3)构成。在流体控制器主体(2)上设有用于检测泄漏的泄漏口(16)。泄漏检测装置(3)具有:传感器保持体(21),其安装在流体控制器主体(2)上;超声波传感器(22),其以与泄漏口(16)相对的方式保持在传感器保持体(21)上;超声波通路(23),其设在超声波传感器(22)的感应面与泄漏口(16)之间;处理电路(24),其处理由超声波传感器(22)得到的超声波。
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公开(公告)号:CN104685333B
公开(公告)日:2017-08-04
申请号:CN201380033899.0
申请日:2013-07-11
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G01M3/24
Abstract: 提供一种泄漏检测装置及具有该泄漏检测装置的流体控制器,该泄漏检测装置能够实现小型化而始终安装在流体控制器等泄漏检测对象部件上,由此,能够始终监视流体的泄漏。流体控制器(1)由流体控制器主体(2)和安装在流体控制器主体(2)上的泄漏检测装置(3)构成。在流体控制器主体(2)上设有用于检测泄漏的泄漏口(16)。泄漏检测装置(3)具有:传感器保持体(21),其安装在流体控制器主体(2)上;超声波传感器(22),其以与泄漏口(16)相对的方式保持在传感器保持体(21)上;超声波通路(23),其设在超声波传感器(22)的感应面与泄漏口(16)之间;处理电路(24),其处理由超声波传感器(22)得到的超声波。
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公开(公告)号:CN105393031B
公开(公告)日:2018-01-30
申请号:CN201480031742.9
申请日:2014-05-12
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16K37/0083 , F16K7/17 , G01N27/20 , Y10T137/5994
Abstract: 本发明提供一种隔膜阀,其结构简单,并且能够在隔膜断裂之前切实地检测出隔膜的损伤。隔膜(5)由多层隔膜层(21)(22)(23)形成。在最上层的隔膜层(23)上施加有配线(24)。通过检测配线(24)的切断来检测出隔膜(5)的异常。
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公开(公告)号:CN105393031A
公开(公告)日:2016-03-09
申请号:CN201480031742.9
申请日:2014-05-12
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16K37/0083 , F16K7/17 , G01N27/20 , Y10T137/5994
Abstract: 本发明提供一种隔膜阀,其结构简单,并且能够在隔膜断裂之前切实地检测出隔膜的损伤。隔膜(5)由多层隔膜层(21)(22)(23)形成。在最上层的隔膜层(23)上施加有配线(24)。通过检测配线(24)的切断来检测出隔膜(5)的异常。
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