泄漏检测装置以及具有该泄漏检测装置的流体控制器

    公开(公告)号:CN104685333A

    公开(公告)日:2015-06-03

    申请号:CN201380033899.0

    申请日:2013-07-11

    CPC classification number: G01M3/24 G01M3/243

    Abstract: 提供一种泄漏检测装置及具有该泄漏检测装置的流体控制器,该泄漏检测装置能够实现小型化而始终安装在流体控制器等泄漏检测对象部件上,由此,能够始终监视流体的泄漏。流体控制器(1)由流体控制器主体(2)和安装在流体控制器主体(2)上的泄漏检测装置(3)构成。在流体控制器主体(2)上设有用于检测泄漏的泄漏口(16)。泄漏检测装置(3)具有:传感器保持体(21),其安装在流体控制器主体(2)上;超声波传感器(22),其以与泄漏口(16)相对的方式保持在传感器保持体(21)上;超声波通路(23),其设在超声波传感器(22)的感应面与泄漏口(16)之间;处理电路(24),其处理由超声波传感器(22)得到的超声波。

    泄漏检测装置以及具有该泄漏检测装置的流体控制器

    公开(公告)号:CN104685333B

    公开(公告)日:2017-08-04

    申请号:CN201380033899.0

    申请日:2013-07-11

    CPC classification number: G01M3/24 G01M3/243

    Abstract: 提供一种泄漏检测装置及具有该泄漏检测装置的流体控制器,该泄漏检测装置能够实现小型化而始终安装在流体控制器等泄漏检测对象部件上,由此,能够始终监视流体的泄漏。流体控制器(1)由流体控制器主体(2)和安装在流体控制器主体(2)上的泄漏检测装置(3)构成。在流体控制器主体(2)上设有用于检测泄漏的泄漏口(16)。泄漏检测装置(3)具有:传感器保持体(21),其安装在流体控制器主体(2)上;超声波传感器(22),其以与泄漏口(16)相对的方式保持在传感器保持体(21)上;超声波通路(23),其设在超声波传感器(22)的感应面与泄漏口(16)之间;处理电路(24),其处理由超声波传感器(22)得到的超声波。

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