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公开(公告)号:CN110357614B
公开(公告)日:2021-12-10
申请号:CN201910679104.2
申请日:2019-07-25
Applicant: 哈尔滨理工大学
IPC: C04B35/47 , C04B35/634 , C04B41/88
Abstract: 一种室温顺电‑铁电可调的陶瓷材料及其制备方法,本发明涉及电子功能陶瓷材料领域,具体涉及一种室温顺电‑铁电可调的陶瓷材料及其制备方法。本发明要解决现有钛酸锶材料的量子起伏效应阻碍铁电有序形成的技术问题。该陶瓷材料的化学式为(1‑x)SrTiO3‑xLiAlSiO4,本发明使用固相合成方法通过掺杂LiAlSiO4使钛酸锶在室温下由正常顺电相材料转变为具有微弱铁电性材料,并通过逐渐增加LiAlSiO4掺杂含量,来获得铁电性逐步增加的钛酸锶陶瓷材料。本发明工艺简单,成本低廉,不需要特殊工艺处理即可获得室温顺电‑铁电可调的陶瓷材料。本发明制备的陶瓷材料应用于压电马达、执行机构、传感器、驱动器及换能器中。
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公开(公告)号:CN106053541B
公开(公告)日:2019-02-19
申请号:CN201610561951.5
申请日:2016-08-25
Applicant: 哈尔滨理工大学
IPC: G01N27/00
Abstract: 一种环形加热器的Al2O3‑AlN陶瓷微热板气体传感器,包括:衬底、导热介质层、加热器电极、信号电极、焊盘、热隔离通孔、敏感膜。传感器中心加热区采用环形加热器设计,环形加热器周围采用环形热隔离通孔设计,从而减小热传导损耗。传感器衬底采用Al2O3陶瓷基片,通过磁控溅射在Al2O3陶瓷基片表面形成AlN导热介质膜,在AlN介质膜上通过柔性机械光刻剥离工艺实现Pt膜加热电极和信号电极制备,通过激光微加工工艺实现热隔离通孔的刻蚀。本发明通过环形加热器和半环形热隔离通孔设计,解决了微热板气体传感器热损耗高问题。同时,通过高热导率AlN导热介质膜设计,降低了微热板加热区热梯度效应,提高热平衡响应速率。本发明传感器可兼容多种半导体敏感膜,实现多种有毒有害气体检测功能,对现代传感器智能终端微型化、低功耗、智能化发展具有重要意义。
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公开(公告)号:CN109088749A
公开(公告)日:2018-12-25
申请号:CN201810812837.4
申请日:2018-07-23
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 一种随机通讯协议下复杂网络的状态估计方法,它用于控制系统的网络状态估计技术领域。本发明解决了现有的状态估计方法不能够同时处理具有随机内耦合以及测量丢失现象的复杂网络的状态估计的问题。本发明同时考虑了具有未知概率的测量丢失现象以及随机内耦合对状态估计性能的影响,利用扩展卡尔曼滤波方法全面考虑了估计误差协方差矩阵的有效信息,达到了抗扰动的目的;与现有的通讯协议下复杂网络状态估计方法相比,本发明的方法可以将估计误差控制在极小的范围内,在易于求解的同时,可以将估计的精确度提高10%以上。本发明可以应用于网络状态估计技术领域用。
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公开(公告)号:CN108847829A
公开(公告)日:2018-11-20
申请号:CN201810814464.4
申请日:2018-07-23
Applicant: 哈尔滨理工大学
IPC: H03H21/00
Abstract: 本发明提供一种具有随机发生不确定性和量化测量的非线性滤波方法,属于状态估计技术领域。本发明首先建立具有随机发生不确定性和量化测量的非线性时变系统动态模型、对动态模型进行滤波器设计;然后计算一步预测误差协方差矩阵的上界;通过一步预测误差协方差矩阵的上界计算得到滤波增益矩阵Kk+1;再将滤波增益矩阵Kk+1代入步骤二的滤波器中,得到k+1时刻的状态估计 并根据计算出的滤波增益矩阵Kk+1,计算出滤波误差协方差矩阵的上界Σk+1|k+1;重复上述步骤,直至满足达到滤波总时长。本发明解决了现有滤波技术不能同时处理随机发生不确定性和量化测量,进而导致滤波误差大的问题。本发明可用于非线性时变系统的滤波。
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公开(公告)号:CN108847828A
公开(公告)日:2018-11-20
申请号:CN201810812854.8
申请日:2018-07-23
Applicant: 哈尔滨理工大学
IPC: H03H21/00
Abstract: 本发明提供一种具有随机建模误差的非线性事件触发滤波方法,属于状态估计技术领域。本发明首先建立基于事件触发机制具有随机建模误差和滤波增益扰动的非线性随机系统的动态模型、对动态模型进行滤波器设计;然后计算一步预测误差协方差矩阵的上界;通过一步预测误差协方差矩阵的上界计算得到k+1时刻滤波增益矩阵Kk+1;再将Kk+1代入步骤二的滤波器中,得到k+1时刻的状态估计 并根据滤波增益矩阵Kk+1,计算出滤波误差协方差矩阵的上界Σk+1|k+1;重复上述步骤,直至满足达到滤波总时长。本发明解决了现有滤波技术不能同时处理在事件触发条件下的随机建模误差和滤波增益扰动,进而导致滤波误差大的问题。本发明可用随机非线性时变系统的滤波。
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公开(公告)号:CN104390667B
公开(公告)日:2017-03-22
申请号:CN201410777315.7
申请日:2014-12-17
Applicant: 哈尔滨理工大学
IPC: G01D21/02
Abstract: 一种渗B半导体加热温度可调环境参数集成传感器,适用于环境参数测量领域。本发明的目的是要解决现有的环境参数传感器测量参数单一、受环境温湿度影响较大、工作温度随环境变化、精度低、体积大、成本高等问题。一种渗B半导体加热温度可调环境参数集成传感器其特征在于:主要由硅基底、二氧化硅绝缘层、渗B半导体加热体,渗B半导体加热体焊盘、环境参数传感器单元焊盘、半导体加热电极、氧化铝绝缘层、环境参数传感器单元、环境温湿度传感器、加热体温度传感器单元、连接线和凹槽构成。一种渗B半导体加热温度可调环境参数集成传感器,内置渗B半导体加热体,可为传感器提供适应的工作温度,从而提高传感器的精度;悬臂梁式结构可大大减小热量的浪费;MEMS技术的应用,可将环境参数传感器单元、温湿度传感器单元和加热体温度传感器单元集成在一个传感器中,可使本传感
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公开(公告)号:CN106053541A
公开(公告)日:2016-10-26
申请号:CN201610561951.5
申请日:2016-08-25
Applicant: 哈尔滨理工大学
IPC: G01N27/00
CPC classification number: G01N27/00
Abstract: 一种环形加热器的Al2O3‑AlN陶瓷微热板气体传感器,包括:衬底、导热介质层、加热器电极、信号电极、焊盘、热隔离通孔、敏感膜。传感器中心加热区采用环形加热器设计,环形加热器周围采用环形热隔离通孔设计,从而减小热传导损耗。传感器衬底采用Al2O3陶瓷基片,通过磁控溅射在Al2O3陶瓷基片表面形成AlN导热介质膜,在AlN介质膜上通过柔性机械光刻剥离工艺实现Pt膜加热电极和信号电极制备,通过激光微加工工艺实现热隔离通孔的刻蚀。本发明通过环形加热器和半环形热隔离通孔设计,解决了微热板气体传感器热损耗高问题。同时,通过高热导率AlN导热介质膜设计,降低了微热板加热区热梯度效应,提高热平衡响应速率。本发明传感器可兼容多种半导体敏感膜,实现多种有毒有害气体检测功能,对现代传感器智能终端微型化、低功耗、智能化发展具有重要意义。
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公开(公告)号:CN103018288A
公开(公告)日:2013-04-03
申请号:CN201210551816.4
申请日:2012-12-18
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 一种可控加热除霜电容式高空湿度传感器及其制备方法,涉及高空湿度传感器及其制备方法的领域。本发明是要解决现有的湿度传感器由于高空环境下温度过低,使得传感器表面出现结霜现象,严重影响湿度数据采集的问题。一种可控加热除霜电容式高空湿度传感器,其特征在于:它是由基底、第一绝缘层、第一温度传感器焊盘、第二温度传感器焊盘、第一加热器焊盘、第二加热器焊盘、温度传感器电极、加热器电极、第二绝缘层、下电极、感湿层、多孔上电极和凹槽组成。制备方法:采用光刻剥离、磁控射频溅射、腐蚀镂空、匀胶处理和蒸发镀膜的方法制备可控加热除霜电容式高空湿度传感器。本发明适用于气候和气象领域。
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公开(公告)号:CN102998479A
公开(公告)日:2013-03-27
申请号:CN201210593373.5
申请日:2012-12-31
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 氮化铝基集成阵列结构的二维风速风向传感器及其制造方法,涉及一种测量风速风向传感器及其制造方法。本发明解决了集成热温差原理的风速传感器采用硅基衬底工艺复杂、开发成本较高、传感器响应速率慢、机械性能差等缺点。本发明所述风速风向传感器由八边形氮化铝陶瓷基片、四个温度探测器、四个矩形热隔离槽、四对等腰直角三角形热隔离通孔、两个温度传感器、四个矩形热隔离通孔和一个中间蛇盘形加热器组成,制作该风速风向传感器的方法为先将氮化铝陶瓷基片用丙酮溶液和酒精溶液进行清洗,烘干后在进行涂胶,光刻,再进行镀膜,放入丙酮溶液中溶解光刻胶,激光刻蚀,再放入稀盐酸溶液中清洗,最后进行退火处理,获得传感器。本发明用于测量风速风向。
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