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公开(公告)号：CN103162616B
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201310071146.0
申请日：2013-03-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 用于微球表面形貌检测的瞬时移相干涉测量仪及采用该测量仪实现微球表面形貌的测量方法，涉及光学检测空间物体三维形貌领域。本发明解决了现有同类技术检测效率低、横向分辨能力差、孤立缺陷点容易遗漏、参考面制造困难且精度低等问题。参考光经单模光纤传递给光纤准直器，准直后形成入射参考光束；测量光束经透射后形成与入射参考光束垂直的入射测量光束，入射参考光束和入射测量光束入射第三偏振分光棱镜后合束，依次经第四、第五偏振分光棱镜分成四束平行光束，四束平行光束经波片阵列分别加入不同的移相量后在面阵CCD上形成四个光斑。本测量方法是通过对四个光斑进行图像处理获得被测微球的球面形貌。本发明适用于微球表面形貌的快速检测。
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公开(公告)号：CN103151704B
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201310050543.X
申请日：2013-02-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 结合空间光调制器与声光调制器的Littman外腔激光器及其调谐方法，属于激光调谐技术领域。它解决了现有Littman结构外腔式激光器的调谐连续性差、调谐速度慢、受环境震动影响大的问题。激光器包括半导体激光器、液晶空间光调制器、声光调制器、闪耀光栅以及平面反射镜；方法为使半导体激光器发射的激光束入射至液晶空间光调制器及声光调制器，声光调制器的一级衍射光入射至闪耀光栅，闪耀光栅的衍射光中原路返回的光在激光器的内腔和外腔之间形成谐振；改变声光调制器加载的超声波频率，在液晶空间光调制器的折射率随声光调制器的一级衍射角变化的过程中，实现所述Littman外腔激光器的调谐。本发明适用于激光器的调谐。
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公开(公告)号：CN103389311A
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：CN201310332071.7
申请日：2013-08-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 用于光学元件位相缺陷检测的线扫描相微分成像装置，涉及光学元件检测技术领域。本发明是为了解决大型固体激光装置中光学元件内部的位相缺陷难于检测的问题。本发明所述的采用线阵CCD暗场成像，获得暗场背景下的位相缺陷的亮斑，使得位相缺陷直接可见。同时本发明所述的用于光学元件位相缺陷检测的线扫描相微分成像装置对图像的分辨率达到6千万像素。通过线平移台带动光学元件平移进行快速扫描，可以在30至60秒内，扫描完成400*400mm口径的大型光学元件，且检测口径范围可达到5*5至400*400mm。本发明所述的用于光学元件位相缺陷检测的线扫描相微分成像装置适用于大型固体激光装置中光学元件内部的位相缺陷检测。
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公开(公告)号：CN103151705A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201310051730.X
申请日：2013-02-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 结合液晶空间光调制器与声光调制器的Littrow外腔式激光器及其调谐方法，属于激光调谐技术领域。它解决了现有Littrow结构外腔式激光器由于采用了对光栅的机械转动，存在调谐连续性差的问题。激光器包括半导体激光器、液晶空间光调制器、声光调制器和闪耀光栅；方法为使半导体激光器发射的激光束经液晶空间光调制器后入射至声光调制器，声光调制器的一级衍射光入射至闪耀光栅，并使一级衍射光原路返回，在激光器的内腔和外腔之间形成谐振，形成谐振的激光束最后从声光调制器的零级出射；改变声光调制器加载的超声波频率，在折射率随一级衍射角变化的过程中，实现所述Littrow外腔式激光器的调谐。本发明适用于激光调谐。
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公开(公告)号：CN103151704A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201310050543.X
申请日：2013-02-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 结合空间光调制器与声光调制器的Littman外腔激光器及其调谐方法，属于激光调谐技术领域。它解决了现有Littman结构外腔式激光器的调谐连续性差、调谐速度慢、受环境震动影响大的问题。激光器包括半导体激光器、液晶空间光调制器、声光调制器、闪耀光栅以及平面反射镜；方法为使半导体激光器发射的激光束入射至液晶空间光调制器及声光调制器，声光调制器的一级衍射光入射至闪耀光栅，闪耀光栅的衍射光中原路返回的光在激光器的内腔和外腔之间形成谐振；改变声光调制器加载的超声波频率，在液晶空间光调制器的折射率随声光调制器的一级衍射角变化的过程中，实现所述Littman外腔激光器的调谐。本发明适用于激光器的调谐。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102829715A
公开(公告)日：2012-12-19
申请号：CN201210299780.5
申请日：2012-08-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B9/04
Abstract: 一种基于折返式的大口径长工作距自准直显微监测仪，涉及一种大口径长工作距自准直显微监测仪。它是为了解决现有的显微测量仪的测量距离短、监测系统的显微分辨率较低、监测视场较窄的问题。光源出射的光经分划板、二号分光镜、二号反射镜、一号分光镜后入射至待测目标，经待测目标反射后的光束沿原光路返回，返回光路在分光镜出分出透射光并入射至准直CCD；经待测目标反射后光束还先后经过一号发射镜、主物镜后由一号分光镜分成反射光和透射光，透射光入射至小视场CCD；反射光先后经一号次物镜、三号反射镜、二号次物镜和大视场CCD后入射至大视场CCD。本发明适用于显微监测。
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公开(公告)号：CN102721368A
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN201210233767.X
申请日：2012-07-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 束靶耦合传感器离线精密标定装置及标定方法，涉及一种束靶耦合传感器离线精密标定装置及标定方法。目的是为了提高束靶耦合传感器引导激光的打靶精度的问题。本装置包括：靶架、束靶耦合传感器、四个模拟激光源、上（下）部调焦平台、上（下）部束靶耦合监测系统、标定用靶、两个内调焦望远镜、传感器二维调整平台和防震平台；其标定方法是先以防震平台为基准面，调整束靶耦合传感器的镜面、CCD像面和靶面平行；再以靶面为基准面调整四束激光的入射角度均为45°，并将靶面上的光点在中心位置处重合为一点，传感器确定共轭面的位置及参数；内调焦望远镜，标定出束靶耦合传感器的中心位置，为下一次定位提供基准。用于辅助束靶耦合传感器精确打靶。
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公开(公告)号：CN102538715A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110448226.4
申请日：2011-12-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于慢光材料的双频激光干涉仪直线度测量装置及测量方法，涉及一种双频激光干涉仪直线度测量装置及测量方法。它是为了解决现有的双频激光干涉仪直线度的探测灵敏度较低的问题。双频激光经λ/4波片透射再经分束镜分束为两束双频入射光，其中一束经全反镜和减偏器透射后获得双频参考光并入射至光电探测器的探测面上；另一束入射经渥拉斯顿棱镜分束为线偏振光和线偏振光，并分别入射至带有慢光材料双面反射镜中的两个反射镜，原路反射后经渥拉斯顿棱镜合并获得双频反射光，再经分束镜、全反镜、减偏器透射后入射至光电探测器的探测面，并在与双频参考光会聚并产生拍频，光电探测器探测所述拍频。本发明适用于电磁感应透明技术和光谱烧孔技术。
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公开(公告)号：CN100590381C
公开(公告)日：2010-02-17
申请号：CN200810064874.8
申请日：2008-07-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: Y02E30/14
Abstract: 束靶耦合传感器，本发明涉及光电传感器领域。它解决了现有监测系统设计、加工、装配难度大，成本高，易产生变形和散射等现象，以及对于特殊靶不能保证打靶的精度和可靠性的问题。它包括上中下三个监测单元，每个单元中包括CCD、显微物镜、激光反射镜和环形LED光源，用于监测靶的空间位置和姿态。环形LED用于实现对靶的照明。入射到靶点的激光通过激光反射镜反射到CCD像面上。CCD上采集的靶的图像和光点图像通过图像。采用真空电机、滚珠丝杠传动副实现上下两路显微监测系统的调焦，采用电动微位移平台实现中路显微监测系统的调焦。本发明实现了精确、快速引导，由于激光不直接打到靶上，光束引导不受靶的影响，对不同靶的适应性提高。
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公开(公告)号：CN118258483A
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN202410519024.1
申请日：2024-04-28
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明公开了一种双波长散斑噪声校正方法。其中，该方法包括：采用两束波长不同的激光对目标进行振动测量，生成初始测量信号以及初始校正信号；对初始测量信号以及初始校正信号进行正交解调，获取目标的振动速度；考虑目标产生的横向扰动，得到测量信号的幅度与散斑引入的相位随时间变化的测量信号；在上述测量信号中加入散粒噪声，对补偿散粒噪声后的测量信号以及初始校正信号进行正交解调；对解调得到的速度信号进行融合，获得融合后的振动信号。该方法融合不同波长的探测结果，获得补偿散斑噪声后的解调信号，提高了测量精度；该方法还能实现每个波长单点探测，可以避免分区测量位置不一致的问题，不受测量目标振动频率的限制，运算速度快。
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