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公开(公告)号：CN112629516A
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN201910953193.5
申请日：2019-10-09
Applicant: 北京大学
IPC: G01C19/5712
Abstract: 本发明公开了一种用于振动轮式水平轴陀螺耦合抑制结构。所述轮式水平轴陀螺包括单检测轴水平轴陀螺和双检测轴水平轴陀螺。所发明的适用于轮式水平轴陀螺的耦合抑制结构为栅条状，其特征为：两两一组关于几何中心成中心对称分布。本发明的耦合抑制电极同样为栅条状结构，与栅条状抑制结构交叉分布。本发明的有益效果为：由于加工误差的存在，水平轴陀螺在驱动状态无角速度输入时会产生离面位移产生耦合信号，通过对底部耦合抑制电极施加直流电压，由于栅条状结构与底部耦合电极的交叠，产生静电力作用在栅条状结构上将平衡离面位移从而抑制耦合信号。通过调节耦合抑制电极上的直流电压，将耦合信号降到最小，将显著提高水平轴陀螺的器件性能。
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公开(公告)号：CN112629515A
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN201910953192.0
申请日：2019-10-09
Applicant: 北京大学
IPC: G01C19/5712
Abstract: 本发明公开了一种微机电轮式双水平轴陀螺，用于检测围绕水平面内X、Y轴的旋转，其特征在于：它包括外框、外环、内框、内环、敏感质量块、驱动梳齿、驱动检测梳齿、驱动连接梁、连接梁、扭转梁、检测电极、锚点和衬底，整个陀螺结构同时关于器件平面的X轴和Y轴对称。驱动梳齿连接在外框上，驱动检测梳齿连接在内框上，外框一方面通过驱动连接梁和锚点连接，另一方面通过连接梁和外环连接，内框一方面通过中间连接梁和中间锚点连接，另一方面通过连接梁和内环连接，敏感质量块一方面通过扭转梁和外环连接，另一方面通过扭转梁和内环连接，检测电极位于敏感质量块下方并固定在衬底上，结构层通过锚点和衬底固定连接。
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公开(公告)号：CN112216784A
公开(公告)日：2021-01-12
申请号：CN201910627340.X
申请日：2019-07-12
Applicant: 茂丞科技(深圳)有限公司 , 北京大学深圳研究生院
IPC: H01L41/047 , H01L41/113 , H01L41/23 , H01L41/31 , H01L41/333 , G01H11/08 , G06K9/00
Abstract: 本发明提供一种晶圆级超声波感测装置及其制造方法，所述晶圆级超声波感测装置包括基板组件、超声波元件、第一保护层、第一导电线路、第二导电线路、第二保护层、传导材料、电性连接层及焊接部。基板组件包含第一晶圆及第二晶圆，第二晶圆覆盖第一晶圆上的凹槽而界定出中空腔体。超声波元件与中空腔体的投影叠合。第一保护层围绕超声波元件。第一晶圆、第二晶圆、第一保护层在第一侧表面与第一导电线路共平面，在第二侧表面与第二导电线路共平面。第二保护层具有开口，传导材料在开口内且接触超声波元件。电性连接层设置于第一侧表面及第二侧表面，焊接部连接电性连接层。
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公开(公告)号：CN111380561A
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201811617310.2
申请日：2018-12-28
Applicant: 北京大学 , 北京微元时代科技有限公司
IPC: G01C25/00 , G01C19/5776
Abstract: 本发明的目的是提供一种用于微机电陀螺标度因数的温度补偿方法，该方法通过测量开环检测模式下的影响微机电陀螺标度因数的主要参数，将其组成多元参数组，将各个参数进行函数加权对标度因数的全温变化曲线进行多元函数拟合，从而实现对陀螺标度因数的精确补偿。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108407154A
公开(公告)日：2018-08-17
申请号：CN201810356272.3
申请日：2018-04-19
Applicant: 北京大学 , 丰泽智能装备股份有限公司
IPC: B29C33/06
Abstract: 本发明提供一种橡胶支座硫化装置，包括模具本体和中高频电源；其中：所述模具本体包括上模、中模和下模，所述中模具有适于放置橡胶支座的中空结构；所述上模和所述下模分别设置于所述中模的两个端口处且与所述中模紧密连接；通过在中模内部设置由导磁陶瓷材料制备的导磁槽来容纳通电线圈，通电线圈与外部中高频电源电连接，从而获得中高频电流以产生第一电磁场对钢板进行加热，由于通电线圈直接设置在模具本体的内部且通过导磁陶瓷材料将通电线圈的产生的电磁场束缚在中模内部，可避免电磁场只作用于模具本体，由此可以使中高频电磁场全部用于对钢板进行直接加热，因此具有非常好的加热效果，可大大缩短橡胶支座的加热时间。
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公开(公告)号：CN105716750A
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201610037420.6
申请日：2016-01-20
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种MEMS压阻式压力传感器及其制备方法。本发明首次提出具有回旋镖结构的硅应变膜，压敏电阻排布于回旋镖结构的应力集中处，提高了压阻式压力传感器的灵敏度和线性度；选择LPCVD的SiO2/Si3N4作为KOH腐蚀工艺的掩膜，提高了KOH背腔腐蚀工艺中掩膜对K+的阻挡特性从而保证传感器的高可靠性；采用了硅玻璃阳极键合工艺，其中的玻璃起到了应力缓冲的作用，提高了传感器在后续封装和测试中的稳定性。本发明的MEMS压阻式压力传感器同时具有较高的灵敏度和线性度，其制备方法兼容于通用的MEMS加工技术，产品可靠性以及成品率较高。
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公开(公告)号：CN101319899A
公开(公告)日：2008-12-10
申请号：CN200810117116.8
申请日：2008-07-24
Applicant: 北京大学
IPC: G01C19/56
Abstract: 本发明涉及一种电容式水平轴微机械音叉陀螺，其特征在于：它包括衬底，锚点，检测折叠梁，框架，驱动折叠梁，检测质量块，驱动梳齿电容及检测梳齿电容；驱动梳齿电容和检测梳齿电容分别包括可动电极和固定电极；锚点，检测折叠梁，框架，检测质量块，驱动梳齿电容及检测梳齿电容相对于陀螺X、Y轴对称分布；驱动梳齿电容的可动电极与检测质量块固定连接，检测质量块通过驱动折叠梁与框架连接，检测梳齿电容的可动电极与框架连接，框架通过检测折叠梁与锚点连接，锚点固定连接在衬底上；驱动梳齿电容的固定电极和检测梳齿电容的固定电极通过各自的锚点固定连接在衬底上。本发明工艺过程简单，可与Z轴音叉陀螺兼容，可用于实现单片三轴陀螺，并可以实现大批量生产。
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公开(公告)号：CN111241867B
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN201811429713.4
申请日：2018-11-28
Applicant: 茂丞(郑州)超声科技有限公司 , 北京大学深圳研究生院
Abstract: 一种具悬浮结构的晶圆级超声波芯片模块，包含基板、复合层、以及底材，基板具有贯通槽，贯通槽连通基板的上表面及基板的下表面，复合层位于基板上，复合层包括超声波体及保护层，超声波体位于基板的上表面且贯通槽暴露出超声波体的下表面，保护层覆盖超声波体及部分的基板的上表面，复合层具有沟槽，沟槽连通保护层的上表面、保护层的下表面及贯通槽，且沟槽围绕超声波体周围的一部分且超声波体对应于贯通槽，底材位于基板的下表面且覆盖贯通槽，以使贯通槽、超声波体的下表面与底材的一上表面之间形成空间，空间连通沟槽。
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公开(公告)号：CN112710382B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202011530826.0
申请日：2020-12-22
Applicant: 北京大学
IPC: G01H11/08
Abstract: 本申请实施例提供了一种微音叉谐振器振动敏感性片上测试结构和方法，涉及微机电传感器领域，所述方法包括：在微音叉谐振器件的两个子谐振器上添加独立的加力结构，通过微音叉谐振器件实际受力产生的加速度计算驱动电压，施加驱动电压在加力结构上产生与实际受力相同的虚拟振动力，进而等效外界的振动力输入对音叉谐振器进行测试，本申请通过在子谐振器的振动质量块上设置加力结构，能够可以高效、便捷、灵活地对微音叉谐振器的振动敏感性进行测试。并且，本申请的可摆脱现有测试方法中对振动台的依赖，不受振动台激励信号频率范围限制，当微音叉谐振器在应用场景安装固定后仍然可以实现原位在线测试，无需使用振动台。
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