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公开(公告)号：CN115284718A
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202210785506.2
申请日：2016-02-01
Applicant: 信越工程株式会社
IPC: B32B37/00 , B32B37/10 , G09F9/33 , G09F9/35 , G02F1/1333 , H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种贴合设备的制造装置。其将一对工件分别保持于第1保持部件和第2保持部件上，通过第1保持部件和第2保持部件相对地靠近移动，使一对工件对位贴合，其中，第1保持部件的第1工件保持面或第2保持部件的第2工件保持面中的任意一方或双方具备硬涂层，该硬涂层与一对工件中的一方或双方对置，并且由比第1保持部件、第2保持部件、及一对工件的材质更硬的材料形成且表面形成为凹凸形状，硬涂层从第1工件保持面或第2工件保持面中的任意一方或双方向一对工件中的一方或双方呈山状突出，具有分别与一对工件中的一方的平滑表面或双方的平滑表面点接触的多个支撑突起。由此，防止第1工件保持面及第2工件保持面随时间的经过而磨损。
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公开(公告)号：CN114121755A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202110850800.2
申请日：2021-07-27
Applicant: 信越工程株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种吸收因层叠体的自重引起的挠曲变形而实现稳定的保持的工件分离装置，其特征在于，具备：保持构件，拆装自如地保持工件或支承体中的任一方；以及光照射部，透过保持于保持构件的层叠体的支承体或工件中的另一方朝向分离层进行光照射，保持构件具有：工作台，与层叠体的工件或支承体中的任一方对置；固定支承部，从工作台朝向层叠体突出且在顶端具有无法向突出方向移动的静止吸引垫；以及可动支承部，从工作台朝向层叠体突出并在顶端具有向突出方向移动自如且能弹性变形的随动移吸引垫，将固定支承部和可动支承部组合并分别分散配置多个，并且随动吸引垫被配置为能比静止吸引垫朝向层叠体突出。
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公开(公告)号：CN111247622A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN201980005186.0
申请日：2019-06-12
Applicant: 信越工程株式会社
IPC: H01L21/02 , B23K26/064 , B23K26/57 , H01L21/301 , H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种工件分离装置及工件分离方法。所述工件分离装置对层叠体的分离层均匀地照射脉冲激光。所述工件分离装置的特征在于，具备：保持部件，在隔着因吸收激光而变质成能够剥离的分离层层叠包括电路基板的工件和透过激光的支承体的层叠体中，将工件保持成装卸自如；激光照射部，透过保持于保持部件的层叠体的支承体而朝向分离层照射作为激光而脉冲振荡的高斯光束；及控制部，对激光照射部进行动作控制，控制部在从激光照射部脉冲振荡的激光中，将相邻的高斯光束的中心彼此的间隔控制为在将高斯光束的光束分布中的光束直径与照射强度的关系视为正态分布时小于标准偏差的3倍。
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公开(公告)号：CN106313858B
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201610509484.1
申请日：2016-06-30
Applicant: 信越工程株式会社
Inventor： 大谷义和
Abstract: 本发明提供贴合设备的制造装置及制造方法。去除残留在下侧工件的局部应力以平滑状态与上侧工件贴合。上侧保持部件具有上侧工件保持无法移动的保持部。下侧保持部件具有：浮起部，具备在与下侧工件间产生反方向的分离压力及接近压力的机构；及接触保持部，具备调整分离压力及接近压力的机构。控制部相对下侧保持部件使下侧工件保持浮起部的分离压力及接近压力的平衡，下侧工件从下侧卡盘面浮起非接触地被支承。从浮起部切换为接触保持部，使接近压力比分离压力逐渐增大，下侧工件被接触保持在下侧卡盘面。通过升降驱动部使上侧保持部件或下侧保持部件中的任一者或这两者相对接近移动，通过保持部被保持在上侧卡盘面的上侧工件与下侧工件重叠。
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公开(公告)号：CN106125352B
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201610294733.X
申请日：2016-05-06
Applicant: 信越工程株式会社
Inventor： 大谷义和
Abstract: 本发明提供一种贴合设备的制造方法及贴合设备的制造装置。能够与各形状无关地以所希望的厚度可靠地贴合第一工件及第二工件。该制造方法隔着粘结剂重叠对置的第一工件与第二工件，通过粘结剂固化来贴合第一工件及第二工件，包括：前工序，沿第一工件的第一接合面形成表面具有凹部及凸部的第一粘结剂来作为粘结剂；中间工序，供给成为粘结剂的液态的第二粘结剂并隔着第二粘结剂重叠第一工件与第二工件；及后工序，使第二粘结剂固化来贴合第一工件的第一接合面与第二工件的第二接合面，在中间工序中，以第二粘结剂被供给至第二工件或第一粘结剂来填充第一粘结剂的凹部且第二工件的第二接合面与第一粘结剂的凸部接触的方式，重叠第一工件与第二工件。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104919189B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201280077979.1
申请日：2012-12-25
CPC classification number: F15B15/10 , F15B15/149
Abstract: 本发明提供一种以非接触状态无径向振摆地驱动可动件的驱动器及粘附卡盘装置。本发明的驱动器中，向内外以同心状配置具有蛇纹部(11a、11a′)的多个金属波纹管(11、11′)作为伸缩部(10)，通过使金属波纹管(11、11′)伸缩变形，从而金属波纹管(11、11′)的蛇纹部(11a、11a′)将各自的内周端(11b、11b′)及外周端(11c、11c′)相互交替固定而伸缩部(10)整体全然不会向伸缩变形方向即Z方向以外的XYθ方向变形，因此可动件(40)经由遍及金属波纹管(11、11′)的一端而设置的升降部(20)在伸缩部(10)的中心空间(12)及底座部(30)的通孔(31)内向伸缩变形方向即Z方向以外的XYθ方向无径向振摆地往复移动。
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公开(公告)号：CN106313858A
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201610509484.1
申请日：2016-06-30
Applicant: 信越工程株式会社
Inventor： 大谷义和
Abstract: 本发明提供贴合设备的制造装置及制造方法。去除残留在下侧工件的局部应力以平滑状态与上侧工件贴合。上侧保持部件具有上侧工件保持无法移动的保持部。下侧保持部件具有：浮起部，具备在与下侧工件间产生反方向的分离压力及接近压力的机构；及接触保持部，具备调整分离压力及接近压力的机构。控制部相对下侧保持部件使下侧工件保持浮起部的分离压力及接近压力的平衡，下侧工件从下侧卡盘面浮起非接触地被支承。从浮起部切换为接触保持部，使接近压力比分离压力逐渐增大，下侧工件被接触保持在下侧卡盘面。通过升降驱动部使上侧保持部件或下侧保持部件中的任一者或这两者相对接近移动，通过保持部被保持在上侧卡盘面的上侧工件与下侧工件重叠。
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公开(公告)号：CN103765303B
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201280029104.4
申请日：2012-04-19
Applicant: 信越工程株式会社 , 株式会社FK光实验室 , WI-A公司
IPC: G02F1/1337 , G02B5/30 , G02F1/13
CPC classification number: G02B5/3025 , G02F1/1303 , G02F1/133788 , G02F2001/133757
Abstract: 光定向照射装置，具备：偏振单元（3），其具备沿邻接方向邻接而配置的多个单位起偏器（31a～f）；扫描单元，其通过使工作台（4）或偏振光照射单元（2）的至少一方移动，从而相对于载置于所述工作台（4）的基板（9），沿既定的扫描方向扫描来自所述偏振光照射单元（2）的紫外线；以及偏振方向检测单元（6a～f），其能够对于每个所述单位起偏器（31a～f）检测从所述单位起偏器（31a～f）出射的紫外线的偏振方向，从而谋求实现良好的定向特性。
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公开(公告)号：CN103403614B
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201080070445.7
申请日：2010-10-01
Applicant: 株式会社FK光实验室 , 信越工程株式会社 , WI-A公司
IPC: G02F1/1337
CPC classification number: G02F1/1303 , G02F1/1337 , G02F1/133753 , G02F1/133788 , G02F2001/133757
Abstract: 提供能形成优异特性的取向膜的光取向曝光装置及光取向曝光方法。本发明所涉及的光取向曝光装置1，具备：照射光学系统11，包含偏振光照射单元12和偏振光控制元件14，向表面具有取向膜的基板2照射光束；以及扫描单元15，使基板2或照射光学系统11的至少一部分移动，沿既定的扫描方向对基板2扫描光束，偏振光照射单元12向偏振光控制元件14射出直线偏振光，偏振光控制元件14具有沿与扫描方向正交的方向排列的单位偏振光控制区域，从单位偏振光控制区域照射的光束的偏振方向按每既定数量的单位偏振光控制区域而周期性变化，并且在所述周期内关于与所述扫描方向平行且与所述基板正交的平面大致对称。
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公开(公告)号：CN105359203A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201380077770.X
申请日：2013-06-27
Applicant: 信越工程株式会社
CPC classification number: C09J5/00 , C09J2203/318 , G02F1/133308 , G02F1/133608 , G02F2001/133325 , G02F2202/28 , H01L51/5246
Abstract: 本发明提供一种贴合设备的制造方法，其控制以第1基板及第2基板夹住的粘结剂的外缘部的伸展，从而以粘结剂涂满整个显示区域。在第1基板(1)或第2基板(2)中的任一个或双方，以配置于显示区域(D)内的方式供给粘结剂(3)之后，以粘度保持粘结性的状态下变得高于其他部位的粘度的方式对粘结剂(3)的外缘部(3a)中除特定部位(3a’)以外的填充部位(3b)进行半固化。之后，以夹住粘结剂(3)的方式重叠第1基板(1)与第2基板(2)，由此粘结剂(3)的外缘部(3a)中未半固化状态的特定部位(3a’)由于在第1基板(1)与第2基板(2)之间产生的毛细管现象或自然流动或加压流动而朝向比粘结剂(3)的外缘部(3a)更靠外侧的未填充区域(D1)伸展，从而遍及整个显示区域(D)内。
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