一种激光直接沉积的稀土软磁合金及其磁性能调控方法

    公开(公告)号:CN110144498A

    公开(公告)日:2019-08-20

    申请号:CN201910435862.X

    申请日:2019-05-23

    摘要: 本发明公开了一种激光直接沉积的稀土软磁合金及其磁性能调控方法,包括以下步骤:稀土软磁合金粉末成分按重量份为:Ni:79.0-80.0份,Mo:1.5-2.5份,Gd:1.0-2.0份,Si:0.5-1.0份,Fe余量。采用激光直接沉积技术制备稀土软磁合金,然后对成型的软磁合金进行热处理。本发明采用缺陷量化方式对新型稀土软磁合金的磁性能进行调控,建立缺陷与软磁性能的数字化联系,最终获得自定义规格的高性能高致密度的稀土软磁合金。最优工艺参数:激光功率700-900W,光斑尺寸3-6mm,激光扫描速度4~15mm/s,送粉率25~30g/min。本发明满足航空航天与船舶导航等精密器件对高性能软磁合金的定制化需求,在军事与高精度工业中具有重要的应用前景。

    30纳米磁性薄膜的制造方法

    公开(公告)号:CN1249743C

    公开(公告)日:2006-04-05

    申请号:CN03133649.3

    申请日:2003-08-07

    IPC分类号: H01F41/20

    摘要: 30纳米磁性薄膜的制造方法,利用真空蒸镀的方法和无氧化结晶处理工艺,其特征是选取高纯度的Ni、Co,按重量比1∶2.3的比例混合备用,用真空蒸镀的方法进行薄膜蒸镀:当真空度达到1.0×10-6乇时,加热放有基片的承片台,20分钟达到450℃,恒温5分钟;待蒸发舟中的上述比例的Ni、Co蒸发料溶化后,在Si片的绝缘膜上开始蒸镀,蒸发速率控制在0.05纳米/秒,蒸发形成的磁性薄膜厚度控制在30纳米以下,然后通过无氧化结晶处理,使蒸发形成的磁性薄膜成为具有各向异性的磁性薄膜。经过半导体平面工艺加工后,制成微功耗磁传感器。

    一种高灵敏度巨磁电阻材料的制备方法

    公开(公告)号:CN1218966A

    公开(公告)日:1999-06-09

    申请号:CN97106753.8

    申请日:1997-12-02

    IPC分类号: H01F41/20 H01F10/08 H01F1/01

    摘要: 本发明涉及一种多层膜结构的高灵敏度巨磁电阻材料的制备方法和材料。本方法采用超高真空电子束蒸发系统,系统配有二支电子枪,控制蒸发纯度均为99.9%的三种金属靶,从而制备成由软磁过渡层控制的三明治型高灵敏度巨磁电阻材料。本方法生长工艺简单,重复性好,各层金属膜结构简单,易于控制。使用的靶材料价格低廉,制备的多层膜巨磁电阻材料磁灵敏度高,巨磁电阻效应大,是一种不同于传统方法制备巨磁电阻材料的新方法。

    钴铁镍铌硅硼非晶薄膜
    58.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1061299A

    公开(公告)日:1992-05-20

    申请号:CN91106523.7

    申请日:1991-08-20

    申请人: 山东大学

    IPC分类号: H01F41/20 H01F10/10

    摘要: 一种钴铁镍铌硅硼非晶薄膜的制备处理方法,属于高导磁非晶薄膜制备领域。该薄膜除材料成分有别于其他非晶薄膜外,其制备态非晶薄膜又经综合退火热处理工艺,故该薄膜具有很高的饱和磁化强度(可达9000高斯)和高导磁率(10MHz达4300),且高频特性好,耐腐蚀性好。