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公开(公告)号：CN102674702A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210034636.9
申请日：2012-02-16
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: C03C17/00
Abstract: 本发明涉及清扫部件和涂布器的清扫方法、清扫装置以及显示器用部件的制造方法，该清扫部件在清扫时通过提高从涂布器去除的涂布液沿着清扫部件流出的速度，使该涂布液不再附着在涂布器上，且由于涂布液或清洗用溶剂等不残留而不会导致涂布膜厚度异常或涂布膜面的缺陷，该清扫部件具有相对而置的第一面和第二面、且一边与在涂布器的一个方向上延伸的排出口的排出口面和该排出口面的两个邻接面接触一边在该一个方向上滑动，由此对该排出口面和该两个邻接面进行清扫，并且包括：清扫部，设置在第一面侧上，并与排出口面和两个邻接面同时接触；多个流出路径面，以清扫部为起点，一直延伸到第二面侧；其中，在流出路径面上，在第二面侧设置有切槽。
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公开(公告)号：CN102649624A
公开(公告)日：2012-08-29
申请号：CN201210012000.4
申请日：2012-01-16
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明提供一种涂布装置和涂布方法。该涂布装置和涂布方法可防止由于受气流等的干扰而设置在金属箍附近的用于检测基板上的异物的异物检测装置的精度下降的问题，在通过相对于薄片状基板移动来对基板进行扫描并在基板表面上排出涂布液的涂布装置中，至少包括配置在所述排出装置的扫描方向的上游侧、并检测基板上的异物的检测装置，所述检测装置至少设置有：投光装置，与基板表面平行地照射激光；受光装置，接收所述投光的激光；遮掩装置，至少遮掩所述投光区域正下方的空气流动。
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公开(公告)号：CN101518769B
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN200910006827.2
申请日：2009-02-27
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明提供一种通过迅速产生吸附基板的吸引力而缩短吸附时间，从而能够提高涂敷装置整体的生产周期的涂敷装置。其具备：基板保持机构，其在形成于载物台的表面的吸引孔产生吸引力而将基板吸附保持于载物台的表面；涂敷组件，其相对于基板相对移动的同时喷出涂敷液，其中，在基板保持机构的吸引孔连通连接与产生吸引力的吸引力产生装置连接的主配管及副配管，在主配管设有开闭主配管路径的主阀，在副配管设有开闭副配管路径的副阀，并设置有具备储存部的储存箱，所述储存部在比该副阀靠吸引力产生装置侧具有规定容量，储存部具有比一定区间的副配管的容量大的容量。
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公开(公告)号：CN101669046B
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN200880005831.0
申请日：2008-02-22
IPC: G02B5/20 , G02F1/1335
CPC classification number: G02B5/201 , B41J2202/09 , B41M3/003 , G02B5/223 , G02F1/133516
Abstract: 本发明的课题是提供一种能够抑制油墨干燥速度的滤色器用油墨，其特征在于使油墨中含有50～88重量％的在20℃下具有2～200Pa的饱和蒸汽压的溶剂。
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公开(公告)号：CN101363681B
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN200810146138.7
申请日：2008-08-06
Applicant: 东丽工程株式会社
Inventor： 奥田大辅
Abstract: 本发明提供一种能够通过抑制腔盖部的焊接部分的剥离等的产生来抑制生产不合格基板的减压干燥装置。所述减压干燥装置具备相对于基板载置部可相对地接触分离的腔盖部，通过在由该基板载置部和腔盖部形成的基板收纳部内收纳有涂敷了涂敷液的基板的状态下，使上述基板收纳部内减压，从而使上述涂敷液干燥，上述腔盖部与上述基板载置部面对，并且具有具备4个边缘部的四边形状，在与基板载置部侧相反一侧的外表面上，以在与相邻边缘部交叉的方向上延伸的方式焊接加强肋。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101932958A
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：CN200980103724.6
申请日：2009-02-03
Applicant: 东丽工程株式会社
CPC classification number: B41J3/28 , G02B5/201 , G02F1/133516
Abstract: 本发明提供喷嘴数量少且不会在边界部产生不均匀的涂布装置和涂布方法。涂布装置通过多个涂料喷头(51)涂布原色数量为N的涂料，来制造滤色器，其特征在于，由供给相同颜色的涂料的一个以上的涂料喷头(51)构成了喷头模块(52)，该喷头模块(52)以至少喷头模块(52)的涂料排出宽度的两端邻接或重叠的方式，以间距P在扫描方向上排列，并且这些喷头模块(52)在与扫描方向垂直的方向上连续排列了长度L，由此构成了喷头单元(50)，按该喷头单元(50)的每个喷头模块(52)依次改变颜色来供给涂料，并且，相对于滤色器的必要涂布宽度W，L满足下式：[式1]L≥W+(N-1)×P(N＝1、2、3...)。
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公开(公告)号：CN101903810A
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN200880122291.4
申请日：2008-12-17
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明提供能够实现了装置的小型化且便于维护的涂布装置。涂布装置(1)构成为：该涂布装置(1)构成有喷头单元(52)，通过该喷头单元(50)在基板(K)上，沿扫描方向(X)扫描S次，对该基板(K)涂布涂料，其中，S为2以上的整数，所述喷头单元(52)配置有多个喷头模块(52)，该喷头模块由排出相同颜色的涂料的多个涂料喷头(51)构成，在该涂布装置(1)中，在与扫描方向(X)垂直的扫描垂直方向(Y)上，以规定的排列间距(P)，配置有一列喷头模块(52)，构成单色的喷头单元(50)，涂布装置(1)具有喷头单元移动部件(45)，该喷头单元移动部件(45)在喷头单元(50)的每一次扫描结束时，使喷头单元(50)沿扫描垂直方向(Y)移动规定量P/S。
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公开(公告)号：CN101562123A
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：CN200810144454.0
申请日：2008-07-31
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/677 , B65G49/06 , B65G51/03
Abstract: 本发明提供一种板状部件的输送装置及板状部件的输送方法，其在输送路径的中途，可以高精度地对板状部件进行要求表面平坦度的处理。输送装置(10)具有：飘浮单元(20)，其沿玻璃基板(11)的输送方向排列多个使玻璃基板(11)飘浮的飘浮部件(21)；输送单元(30)，其在玻璃基板(11)利用飘浮单元(20)从飘浮部件(21)飘浮的状态下，保持玻璃基板(11)，同时沿输送方向向下游侧输送玻璃基板(11)；以及处理部(40)，其在输送单元(30)中的输送路径的中途，对玻璃基板(11)进行曝光处理。在与处理部(40)相对应的区域内，设置作为表面平坦度提高单元的横置飘浮部件(43)。
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公开(公告)号：CN101428264A
公开(公告)日：2009-05-13
申请号：CN200810174564.1
申请日：2008-11-10
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 一种即使在基板往工作台上固定需要时间的情况下也能够抑制涂敷装置整体的作业周期长期化的涂敷装置及涂敷方法。这种涂敷装置的涂敷方法包括在工作台的表面载置基板的基板载置工序、在载置于工作台的表面的基板上形成初始膜的初始膜形成工序和从涂敷单元喷出涂敷液且在基板上形成涂敷膜的涂敷膜形成工序，基板载置工序具有在工作台的表面吸附基板的吸附工序，该吸附工序包括初始吸附工序和主要吸附工序，初始吸附工序是吸附包括涂敷开始位置的基板的初始膜形成区域，主要吸附工序是吸附除了初始膜形成区域以外的基板的涂敷膜形成区域，在结束初始吸附工序后、结束主要吸附工序前，开始初始膜形成工序。
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公开(公告)号：CN100351156C
公开(公告)日：2007-11-28
申请号：CN200410039658.X
申请日：2000-05-26
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 纱线张力检测装置包括在一个缠绕器中的顶点导向器与横动装置之间一个纱线位置传感器、一个布置在横动装置附近的导纱器位置传感器。根据从由横动装置产生横波的时刻至由纱线位置传感器检测到横波的时刻的时间周期，测量横波的视在传播速度，并且根据视在传播速度计算横波的真实传播速度，以计算纱线张力。纱线位置传感器布置在一个由2H/3＜h＜5H/6定义的位置处。一个反射型纱线传感器包括布置在一行中的多对发光元件和光接收元件。
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