公开(公告)号：CN102649624B

公开(公告)日：2016-05-11

申请号：CN201210012000.4

申请日：2012-01-16

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 绀藤尊士 ,  钉井丰和

IPC: C03C17/00 ,  B05C5/02 ,  B05C11/00

Abstract: 本发明提供一种涂布装置和涂布方法。该涂布装置和涂布方法可防止由于受气流等的干扰而设置在金属箍附近的用于检测基板上的异物的异物检测装置的精度下降的问题，在通过相对于薄片状基板移动来对基板进行扫描并在基板表面上排出涂布液的涂布装置中，至少包括配置在所述排出装置的扫描方向的上游侧、并检测基板上的异物的检测装置，所述检测装置至少设置有：投光装置，与基板表面平行地照射激光；受光装置，接收所述投光的激光；遮掩装置，至少遮掩所述投光区域正下方的空气流动。

公开(公告)号：CN102649624A

公开(公告)日：2012-08-29

申请号：CN201210012000.4

申请日：2012-01-16

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 绀藤尊士 ,  钉井丰和

IPC: C03C17/00 ,  B05C5/02 ,  B05C11/00

Abstract: 本发明提供一种涂布装置和涂布方法。该涂布装置和涂布方法可防止由于受气流等的干扰而设置在金属箍附近的用于检测基板上的异物的异物检测装置的精度下降的问题，在通过相对于薄片状基板移动来对基板进行扫描并在基板表面上排出涂布液的涂布装置中，至少包括配置在所述排出装置的扫描方向的上游侧、并检测基板上的异物的检测装置，所述检测装置至少设置有：投光装置，与基板表面平行地照射激光；受光装置，接收所述投光的激光；遮掩装置，至少遮掩所述投光区域正下方的空气流动。