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公开(公告)号：CN118538650A
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202410172193.2
申请日：2024-02-07
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683 , H01J37/32
Abstract: 静电吸盘具备：电介体基板，形成有多个第1气孔；底盘，形成有第2气孔；及接合层，设置在电介体基板和底盘之间，由绝缘性的材料形成。在电介体基板中的接合层侧的面上，形成有多个第1气孔的端部即第1开口。在底盘中的接合层侧的面上，形成有第2气孔的端部即第2开口。第2开口通过形成在底盘中的接合层侧的面上的连通槽而与多个第1开口连通。
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公开(公告)号：CN111725121B
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202010200600.8
申请日：2020-03-20
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683 , H01J37/32
Abstract: 静电吸盘具备：陶瓷电介体基板，具有第1、第2主面；基座板；第1电极层，设置在陶瓷电介体基板的内部并与高频电源连接；及第2电极层，设置在陶瓷电介体基板的内部并与吸附用电源连接，其特征在于，第1电极层在Z轴方向上被设置在第1主面和第2主面之间，第1电极层的Z轴方向上的尺寸比第2电极层的Z轴方向上的尺寸更大，第2电极层在Z轴方向上被设置在第1电极层和第1主面之间，第1电极层具有第1主面侧的第1面和与第1面呈相反侧的第2面，从第2面侧进行供电，第1电极层包含陶瓷成分和金属成分，且具有包含第1面的第1部分，第1部分上的陶瓷成分的浓度比第1电极层的陶瓷成分的平均浓度更高。
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公开(公告)号：CN110277342B
公开(公告)日：2023-04-21
申请号：CN201910149338.6
申请日：2019-02-28
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明的目的在于提供一种静电吸盘，在设置有多孔质部的静电吸盘中，能够确保对电弧放电的抗性及流动的气体流量，同时能够提高多孔质部的机械强度(刚性)。提供一种静电吸盘，其特征为，第1多孔质部具有：疏松部分，具有多个孔；及紧密部分，具有比疏松部分的密度更高的密度，多个疏松部分分别在从基座板朝向陶瓷电介体基板的第1方向上延伸，紧密部分位于多个疏松部分的彼此之间，疏松部分具有设置在孔与孔之间的壁部，在与第1方向大致正交的第2方向上，壁部的尺寸的最小值比紧密部分的尺寸的最小值更小。
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公开(公告)号：CN115732386A
公开(公告)日：2023-03-03
申请号：CN202210997609.5
申请日：2022-08-19
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683 , H01J37/32
Abstract: 本发明的目的在于提供一种可长期维持电弧放电的抑制效果的静电吸盘以及处理装置。提供一种静电吸盘，具备：接合部，设置在基板与基座板之间；气体导入路，具有位于基板的第1孔部、位于基座板的第2孔部和位于接合部的第3孔部；锪孔部，设置在第1孔部；多孔质部，具有第3孔部侧的第1面和第1面相反侧的第2面，设置在锪孔部；及弹性体，被设置成与接合部的第3孔部侧的端部相对，多孔质部的侧面具有第1面侧的第1侧部，在第1侧部中的至少与第1面相连的区域中，设置有倾斜的第1倾斜部，第1面与接合部及弹性体发生重叠，多孔质部在第1倾斜部处与弹性体发生接触。
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公开(公告)号：CN111725121A
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN202010200600.8
申请日：2020-03-20
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683 , H01J37/32
Abstract: 静电吸盘具备：陶瓷电介体基板，具有第1、第2主面；基座板；第1电极层，设置在陶瓷电介体基板的内部并与高频电源连接；及第2电极层，设置在陶瓷电介体基板的内部并与吸附用电源连接，其特征在于，第1电极层在Z轴方向上被设置在第1主面和第2主面之间，第1电极层的Z轴方向上的尺寸比第2电极层的Z轴方向上的尺寸更大，第2电极层在Z轴方向上被设置在第1电极层和第1主面之间，第1电极层具有第1主面侧的第1面和与第1面呈相反侧的第2面，从第2面侧进行供电，第1电极层包含陶瓷成分和金属成分，且具有包含第1面的第1部分，第1部分上的陶瓷成分的浓度比第1电极层的陶瓷成分的平均浓度更高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111725120A
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN202010200242.0
申请日：2020-03-20
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/67 , H01J37/32
Abstract: 静电吸盘具备：陶瓷电介体基板，具有第1、第2主面；基座板；第1电极层，设置在陶瓷电介体基板的内部并与高频电源连接；及第2电极层，设置在陶瓷电介体基板的内部并与吸附用电源连接，其特征在于，第1电极层在Z轴方向上被设置在第1主面和第2主面之间，第1电极层的Z轴方向上的尺寸比第2电极层的Z轴方向上的尺寸更大，第2电极层在Z轴方向上被设置在第1电极层和第1主面之间，第1电极层具有第1主面侧的第1面和与第1面呈相反侧的第2面，在从第2面侧供电的静电吸盘上，第1电极层包含陶瓷成分和金属成分，陶瓷成分的浓度及金属成分的浓度的至少任一在Z轴方向上不均匀。
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公开(公告)号：CN110277343A
公开(公告)日：2019-09-24
申请号：CN201910149763.5
申请日：2019-02-28
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明的目的在于提供一种静电吸盘，在设置有多孔质部的静电吸盘中，能够提高强度。提供一种静电吸盘，具备：陶瓷电介体基板，具有放置吸附对象物的第1主面、所述第1主面相反侧的第2主面、在从所述第2主面到所述第1主面的跨度上设置的穿通孔；基座板，支撑所述陶瓷电介体基板且具有连通于所述穿通孔的气体导入路；及第1多孔质部，设置于所述穿通孔，其特征为，所述第1多孔质部具有位于所述陶瓷电介体基板侧的第1区域，所述陶瓷电介体基板具有位于所述第1区域侧的第1基板区域，所述第1区域与所述第1基板区域被设置成接触，所述第1区域中的平均粒径不同于所述第1基板区域中的平均粒径。
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公开(公告)号：CN105940539A
公开(公告)日：2016-09-14
申请号：CN201580006901.4
申请日：2015-02-03
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01M8/0612 , H01M8/243 , H01M8/2475 , H01M8/04082 , C01B3/38 , H01M8/0662 , H01M8/1213 , H01M8/0236
CPC classification number: H01M8/0618 , C01B3/38 , C01B2203/0233 , C01B2203/066 , C01B2203/067 , H01M8/0236 , H01M8/04201 , H01M8/0625 , H01M8/0662 , H01M8/0675 , H01M8/1213 , H01M8/243 , H01M8/2457 , H01M8/2475 , H01M2008/1293 , H01M2250/405 , H01M2300/0074 , Y02B90/16
Abstract: 本发明的固体氧化物型燃料电池装置(1)，具有：多个燃料电池单元(16)，其互相之间电连接；外侧圆筒部件(66)，其收装多个燃料电池单元(16)；氧化剂气体供给流路(22)，其将氧化剂气体供给多个燃料电池单元(16)；燃料气体供给流路(20)，其将燃料气体供给多个燃料电池(16)；重整部(94)，其设置于燃料气体供给流路(20)内，利用水蒸气将原燃料气体重整从而生成燃料气体；蒸发部(86)，其生成用于供给重整部(94)的水蒸气；燃料气体供给管(90)，其供给在蒸发部(86)蒸发的水，蒸发器部(86)具有倾斜板(86a)，倾斜板(86a)通过毛细现象使燃料气体供给管(90)所供给的水分散至整个蒸发器部(86)。
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公开(公告)号：CN104078697B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201410124623.X
申请日：2014-03-28
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01M8/1226 , H01M8/124 , H01M8/0243 , H01M8/1286 , H01M8/0236 , H01M8/0252 , H01M8/1246 , H01M8/00 , H01M8/0245
CPC classification number: H01M8/1286 , H01M8/004 , H01M8/0236 , H01M8/0243 , H01M8/0245 , H01M8/0252 , H01M8/1226 , H01M8/124 , H01M8/1246 , H01M2300/0074 , Y02E60/521 , Y02E60/525 , Y02P70/56
Abstract: 本发明提供一种燃料电池单电池，在将镁橄榄石用于支撑体的燃料电池单电池中，提高发电性能、长期稳定性等。一种固体氧化物型燃料电池单电池，是在多孔质支撑体的表面上依次层叠内侧电极、固体电解质及外侧电极而构成的固体氧化物型燃料电池单电池，其为，所述多孔质支撑体含有镁橄榄石而构成，以SrO换算相对于所述镁橄榄石的质量还含有0.02质量％以上且1质量％以下的锶元素而构成。
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公开(公告)号：CN105609844A
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201510752094.2
申请日：2015-11-06
Applicant: TOTO株式会社
CPC classification number: H01M8/1004 , H01M4/8621 , H01M4/886 , H01M4/9025 , H01M8/0202 , H01M8/1213 , H01M8/1246 , H01M2008/1293 , H01M2300/0074 , Y02E60/525 , Y02P70/56 , H01M8/10 , H01M8/12 , H01M8/124
Abstract: 本发明提供一种一边得到充分的发电性能，一边提高耐久性的固体氧化物型燃料电池单电池。具体而言，本发明为通过互连器而连接有多个发电元件的固体氧化物型燃料电池单电池的制造方法，其特征在于，具有：支撑体形成工序；在多孔质支撑体上依次形成第1、第2的功能层的成膜工序；在通过该成膜工序而形成的2个功能层之上，形成最外功能层的最外层成膜工序，连续喷射形成为液滴状的浆料而形成点，通过点的聚集而形成比第1的功能层更厚的最外功能层的最外层成膜工序；及烧成功能层的烧成工序，且通过最外层成膜工序而形成的最外功能层残留有聚集的点的痕迹，通过烧成工序在各点的痕迹的周围形成有环状的裂纹。
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