公开(公告)号：CN115732386A

公开(公告)日：2023-03-03

申请号：CN202210997609.5

申请日：2022-08-19

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 佐佐木雄基 ,  白石纯 ,  籾山大 ,  河野玲绪

IPC: H01L21/683 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明的目的在于提供一种可长期维持电弧放电的抑制效果的静电吸盘以及处理装置。提供一种静电吸盘，具备：接合部，设置在基板与基座板之间；气体导入路，具有位于基板的第1孔部、位于基座板的第2孔部和位于接合部的第3孔部；锪孔部，设置在第1孔部；多孔质部，具有第3孔部侧的第1面和第1面相反侧的第2面，设置在锪孔部；及弹性体，被设置成与接合部的第3孔部侧的端部相对，多孔质部的侧面具有第1面侧的第1侧部，在第1侧部中的至少与第1面相连的区域中，设置有倾斜的第1倾斜部，第1面与接合部及弹性体发生重叠，多孔质部在第1倾斜部处与弹性体发生接触。

公开(公告)号：CN115732387A

公开(公告)日：2023-03-03

申请号：CN202211003084.5

申请日：2022-08-19

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 佐佐木雄基 ,  白石纯 ,  籾山大 ,  河野玲绪

IPC: H01L21/683 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明的目的在于提供一种可长期维持电弧放电的抑制效果的静电吸盘以及处理装置。提供一种静电吸盘，具备：接合部，设置在基板与基座板之间；气体导入路，具有位于基板的第1孔部、位于基座板的第2孔部和位于接合部的第3孔部；锪孔部，设置在第1孔部及第2孔部的至少任意一个；及多孔质部，具有向第3孔部露出的露出面且设置在锪孔部，当将从基座板朝向基板的方向作为第1方向时，多孔质部具有：具有透气性的多孔部；及与多孔部相比更致密的致密部，致密部被配置成覆盖多孔部的外周，致密部的至少一部分构成从露出面沿着第1方向朝着第3孔部突出的第1突出部。