具有界面电荷槽高压互连结构的功率器件

    公开(公告)号:CN108231870B

    公开(公告)日:2021-03-30

    申请号:CN201810010042.1

    申请日:2018-01-05

    Abstract: 本发明公开了一种能够产生界面电荷,增强了表面横向电场,提高了表面横向耐压的具有界面电荷槽高压互连结构的功率器件。该具有界面电荷槽高压互连结构的功率器件包括由上至下依次设置的漂移区、埋层一、衬底;所述漂移区的上方设置有埋层二,所述埋层二上方设置有表面结构;所述埋层二上设置有延伸到漂移区内的介质槽二,所述介质槽二沿横向均匀分布。采用该具有界面电荷槽高压互连结构的功率器件击穿电压能够达到427V,传统槽栅结构击穿电压为258V,提升了65.5%。采用具有界面电荷槽高压互连结构的功率器件等势线分布均匀,电荷屏蔽效应使得表面高压对漂移区的作用降低,大幅提高漂移区浓度,降低电阻,提高击穿电压。

    一种实现三个Fano共振的内嵌双U型折射率传感器

    公开(公告)号:CN112098366A

    公开(公告)日:2020-12-18

    申请号:CN202010733371.6

    申请日:2020-07-27

    Abstract: 本发明公开了一种实现三个Fano共振的内嵌双U型折射率传感器,该传感器由一个大的倒U型谐振腔内嵌一个小的倒U型谐振腔和金属平板组成的金属‑电介质‑金属(MIM)波导结构。当光波在波导中传输时耦合到两个大小不同的倒U型谐振腔,满足共振条件时,可以产生Fano共振,在透射谱上出现三个尖锐非对称的共振峰。Fano共振对结构参数的变化异常敏感,因此通过调节U型谐振器的r1,r3,h1,h2和填充介质的折射率来控制Fano共振峰的线形和谐振波长。本发明在红外波段可以获得较高的灵敏度和品质因数(FOM),分别为2275nm/RIU,25540。该发明在光学集成电路、光电子器件,特别是微纳生物化学传感器等领域有着广阔的应用前景。

    一种多层堆叠的LDMOS功率器件

    公开(公告)号:CN111509038A

    公开(公告)日:2020-08-07

    申请号:CN202010481812.8

    申请日:2020-05-27

    Abstract: 本发明公开一种多层堆叠的LDMOS功率器件,利用两个以上MOS器件单元堆叠所形成的双漂移区,而使得下方漂移区的顶部引入P重掺杂区和N重掺杂区,这样不仅增加一条新的电流路径,提升了开态时的工作电流;而且降低了下方漂移区栅漏两极的电场峰值,同时在器件内部引入了两个新的电场峰值,优化了器件的内部电场强度,改善器件内部的电场分布,从而提高了器件的耐压特性。此外,还通过在双漂移区之间引入轻掺杂的交叠浮空层辅助耗尽,以有效增加双漂移区的掺杂浓度,进一步改善耐压特性。再者,通过上部漂移区的底部引入重掺杂的单元内埋层和在双漂移区之间的轻掺杂区中引入重掺杂的单元内浮空层来进一步改善器件的耐压特性。

    一种基于石墨烯的中红外可调谐带阻滤波器

    公开(公告)号:CN109326854B

    公开(公告)日:2020-07-17

    申请号:CN201811051702.7

    申请日:2018-09-10

    Abstract: 本发明公开一种基于石墨烯中红外可调谐带阻滤波器,其包括介质层和石墨烯层组成,介质层上铺有周期结构石墨烯层,周期单元结构均呈交叉领结形,其由纵向和横向领结形均匀垂直叠加构成,纵向和横向领结形完全相同;单领结形单领结形由一个矩形和两个等腰梯形组成,矩形的两端分别与两个完全一致的等腰梯形相接;所有纳米石墨烯单元均在介质层上以矩阵形式排列。本发明滤波器具有双模式可调谐特性,通过改变外加偏置电压或者化学掺杂来调节石墨烯化学势变化,进而实现频段的选择性。本发明适用范围广,调节度高,体积小,集成度高,便于加工,选频特性好,因而在全光网络中有潜在的应用前景。

    基于双透射峰的金属矩形狭缝阵列结构等离子光纤传感器

    公开(公告)号:CN107478597B

    公开(公告)日:2020-07-03

    申请号:CN201710719825.2

    申请日:2017-08-21

    Abstract: 本发明公开了一种基于双透射峰的金属矩形狭缝阵列结构等离子光纤传感器,包括金属薄膜以及开设在金属薄膜上的周期矩形狭缝阵列结构,单个周期矩形狭缝阵列结构为在金属薄膜中心处开设一个纵向矩形狭缝,在矩形狭缝一侧的上下端面处分别开设一个横向矩形狭缝,横向与纵向矩形狭缝的上下界面相互平齐,矩形狭缝宽度相等相互连通并贯穿金属膜上下表面形成统一的整体狭缝结构。本发明的传感器结构在近红外频段内具有高品质因数高透射率的双透射峰特性,并且通过修改相关结构参数可以达到调整双透射峰频谱位置与双透射峰间频谱间距的目的,从而可以实现利用率高、适用范围广、检测精度高、易于加工的等离子光纤传感器。

    基于场氧层电场调制的功率器件

    公开(公告)号:CN106803518B

    公开(公告)日:2020-07-03

    申请号:CN201710086446.4

    申请日:2017-02-17

    Abstract: 本发明公开一种基于场氧层电场调制的功率器件,通过在场氧层内引入同型变掺杂的同型固定界面电荷区电场分布与漂移区体电场相互调制,引入的新电场尖峰优化了漂移区的表面电场强度,使得表面电场分布更加均匀,从而提高器件的横向耐压特性。此外,变掺杂固定界面电荷区,不仅提高了器件的耐压特性,同时其固定电荷结构简单,受温度、应力影响较小,工艺容差高,与常用的漂移区内局部掺杂电荷的结构可同时使用,通过对引入的同型固定界面电荷区的面密度,分布区域,分布连续性进行优化,获取更佳的击穿电压,并提供更多的提高击穿电压的结构,可广泛运用于多种半导体功率器件。

    一种偶极子共振超表面窄带极化转换器

    公开(公告)号:CN109473785A

    公开(公告)日:2019-03-15

    申请号:CN201811568530.0

    申请日:2018-12-21

    Abstract: 本发明中的偶极子共振超表面窄带极化转换器能产生线宽较窄且峰值较高的透射峰,单层三孔缝超表面包括三个偶极子共振器,由巴比涅效应,在前向传播时,入射于下层超表面的第二矩形孔缝的电磁波为x线极化波,才会激发基于明暗两种模式干涉的法诺共振,法诺共振具体上由偶极子的同相振荡与失相振荡的干涉引起,偶极子的振荡经中层超表面的旋转孔缝的旋转作用后,与上层超表面的第一矩形孔缝进行互作用,从而产生沿y方向极化的线极化波,由此产生了非对称传输现象,这类非对称传输现象可以用于滤波器、极化开关、波分复用器中。

    一种基于石墨烯的中红外可调谐带阻滤波器

    公开(公告)号:CN109326854A

    公开(公告)日:2019-02-12

    申请号:CN201811051702.7

    申请日:2018-09-10

    CPC classification number: H01P1/20

    Abstract: 本发明公开一种基于石墨烯中红外可调谐带阻滤波器,其包括介质层和石墨烯层组成,介质层上铺有周期结构石墨烯层,周期单元结构均呈交叉领结形,其由纵向和横向领结形均匀垂直叠加构成,纵向和横向领结形完全相同;单领结形单领结形由一个矩形和两个等腰梯形组成,矩形的两端分别与两个完全一致的等腰梯形相接;所有纳米石墨烯单元均在介质层上以矩阵形式排列。本发明滤波器具有双模式可调谐特性,通过改变外加偏置电压或者化学掺杂来调节石墨烯化学势变化,进而实现频段的选择性。本发明适用范围广,调节度高,体积小,集成度高,便于加工,选频特性好,因而在全光网络中有潜在的应用前景。

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