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公开(公告)号：CN118339767A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202280075834.1
申请日：2022-11-11
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 提供在比谐振频率低且位于谐振频率附近的频率下能够抑制无用波的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置(10)具备：支承构件，包括支承基板；压电层(14)，设置在支承构件上，包含铌酸锂或钽酸锂，且具有相互对置的第1主面(14a)和第2主面；以及IDT电极(11)，设置在压电层(14)的第1主面(14a)。在沿着支承构件及压电层(14)的层叠方向观察的俯视下，在与IDT电极(11)的至少一部分重叠的位置形成有声反射部。IDT电极(11)具有彼此相互对置的第1汇流条(26)和第2汇流条、一端分别与第1汇流条(26)连接的多个第1电极指、以及一端分别与第2汇流条连接且与多个第1电极指相互交错对插的多个第2电极指(29)。在将压电层(14)的厚度设为d且将相邻的第1电极指和第2电极指(29)的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下。在压电层(14)设置有至少1个贯通孔(17)。贯通孔(17)中的1个设置于压电层(14)中的第1汇流条(26)与多个第2电极指(29)中的任1根之间的部分。压电层(14)具有缺口侧面(14c)，缺口侧面(14c)与第1主面(14a)及第2主面连接且面向贯通孔(17)，在将缺口侧面(14c)相对于第1主面(14a)及第2主面的法线倾斜的角度设为缺口侧面(14c)的倾斜角度θp时，倾斜角度θp为0°以外。
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公开(公告)号：CN117652098A
公开(公告)日：2024-03-05
申请号：CN202280047550.1
申请日：2022-07-05
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 木村哲也
IPC: H03H9/25
Abstract: 抑制压电层的挠曲。弹性波装置具备：支承基板，其在第一方向上具有厚度；中间层，其设置在支承基板之上；压电层，其设置在中间层之上；以及IDT电极，其设置于压电层的主面，具有沿与第一方向交叉的第二方向延伸的第一电极指、连接有第一电极指的第一汇流条电极、在与第二方向正交的第三方向上与第一电极指的任意一个对置且沿第二方向延伸的第二电极指以及连接有第二电极指的第二汇流条电极。在中间层，在沿第一方向俯视时至少一部分与IDT电极重叠的区域具有空间部，在中间层的空间部的内侧壁具有至少一个凹口。
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公开(公告)号：CN113169726B
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN201980080936.0
申请日：2019-12-06
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 提供一种弹性波装置，即便所传播的弹性波的主成分是纵波也能够得到良好的阻抗特性。弹性波装置(1)具备支承基板(2)、压电体层(3)以及IDT电极(4)。压电体层(3)直接或间接地设置在支承基板(2)上。IDT电极(4)包括多个电极指IDT电极(4)的电极指周期决定的弹性波的波长设为λ的情况下，压电体层(3)的厚度为1λ以下。支承基板(2)是A面蓝宝石基板。(41)，设置于压电体层(3)的主面(31)。在将由
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公开(公告)号：CN117280605A
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202280031543.2
申请日：2022-04-19
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
Abstract: 本发明提供一种能够容易地调整相对带宽并且元件电容不易变小的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置(10)具备：压电性基板(12)，包含具有相互对置的第1主面(14a)和第2主面(14b)的压电层(14)；中间层(17)，设置在压电层(14)的第1主面(14a)或者第2主面(14b)；和功能电极，设置在中间层(17)上。构成中间层(17)的材料与构成压电层(14)的材料为相同种类，并且中间层(17)的机电耦合系数比压电层(14)的机电耦合系数小。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117254781A
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202311204480.9
申请日：2021-04-28
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 目的：提供包括腔部但压电膜不易发生破裂的弹性波器件。解决方案：弹性波器件(1)包括由铌酸锂或钽酸锂制成的压电膜(2)，以及在与压电膜(2)的厚度方向相交的方向上彼此面对的第一电极指(3)和第二电极指(4)。当压电膜(2)的平均厚度为d，并且第一电极指(3)和第二电极指(4)的中心之间的距离为p时，d/p约为0.5或更小。第一电极指(3)和第二电极指(4)分别连接到第一母线(5)和第二母线(6)。第一母线(5)和第二母线(6)包括角部。当在俯视图中观察时，第一母线(5)和第二母线(6)的角部(5e)至(5h)和(6e)至(6h)中的至少一个角部在腔部(9)的外侧。
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公开(公告)号：CN117203893A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202280030371.7
申请日：2022-06-01
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/17
Abstract: 本发明提供一种不易产生膜的翘曲、剥离且不易产生特性的劣化的弹性波装置。弹性波装置(1)具备具有相互对置的第1主面和第2主面的ScAlN膜(3)、和设置在第1主面的第1激励电极(4)以及设置在第2主面的第2激励电极(5)。ScAlN膜(3)具有位于第1电极的附近的第1电极附近区域(E1)、位于第2电极的附近的第2电极附近区域(E2)、以及中央区域(C)。将对ScAlN膜(3)中的晶粒进行了椭圆近似时的长径以及短径之中的短径设为晶粒粒径，在各区域中，将晶粒粒径的平均值设为平均粒径Ravg时，第1电极附近区域(E1)的Ravg小于中央区域(C)的Ravg。在第1电极附近区域(E1)中的晶体方位不同的晶粒间、和第1激励电极(4)与ScAlN膜(3)的界面，包含微小粒子群。在各区域中，将晶粒粒径的面积加权平均值设为面积加权平均粒径RSavg时，微小粒子群中的晶粒的粒径为中央区域(C)的Rsavg的1/2以下，并且第1电极附近区域(E1)的微小粒子群中的晶粒的个数为第1电极附近区域(E1)中的晶粒的整体的个数的50％以上。
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公开(公告)号：CN117121376A
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202280023419.1
申请日：2022-03-29
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 弹性波装置(10A)具备：具有相互对置的第一主面(12a)及第二主面(12b)的压电层(12)；设置在压电层(12)的第一主面(12a)及第二主面(12b)中的至少一个主面上的功能电极(14)；以及层叠于压电层(12)的第二主面(12b)侧的支承基板(11)。在支承基板(11)与压电层(12)之间设置有空洞部(13)。在从支承基板(11)与压电层(12)的层叠方向观察时，功能电极(14)的至少一部分被设置为与空洞部(13)重叠。设置有贯穿压电层(12)而到达空洞部(13)的贯通孔(19)。在贯通孔(19)的内壁(19b)，设置有沿着贯通孔(19)的深度方向延伸的凸部(20)。
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公开(公告)号：CN117083799A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202280025176.5
申请日：2022-03-31
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 弹性波装置具备：支承构件，具有支承基板；压电层，配置在支承构件上；第1谐振器，包含压电层的第1部分和设置在压电层的第1部分的第1功能电极；以及第2谐振器，包含压电层的第2部分和设置在压电层的第2部分的第2功能电极。弹性波装置具备：第1空洞部，设置在支承构件，在支承构件和压电层的层叠方向上的俯视下与第1谐振器重叠；以及第2空洞部，设置在支承构件，在支承构件和压电层的层叠方向上的俯视下与第2谐振器重叠。弹性波装置具备：至少一个第1贯通孔，贯通压电层，并与第1空洞部连通；以及至少一个第2贯通孔，贯通压电层，并与第2空洞部连通。第1空洞部的体积大于第2空洞部的体积，至少一个第1贯通孔的总开口面积大于至少一个第2贯通孔的总开口面积。
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公开(公告)号：CN117083798A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202280025170.8
申请日：2022-03-29
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 弹性波装置(10A)具备：压电层(12)，具有相互对置的第1主面(12a)和第2主面(12b)；功能电极(14)，设置在压电层(12)的第1主面(12a)以及第2主面(12b)之中的至少一个主面之上；和支承基板(11)，层叠在压电层(12)的第2主面(12b)侧。在支承基板(11)与压电层(12)之间设置有空洞部(13)。从支承基板(11)和压电层(12)的层叠方向观察，功能电极(14)的至少一部分设置为与空洞部(13)重叠。设置有贯通压电层(12)并到达空洞部(13)的贯通孔(19)。在压电层(12)的第1主面(12a)之中的、形成贯通孔(19)的外缘(19a)的区域，设置有比未设置贯通孔(19)的区域突出的凸部(20)。
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