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公开(公告)号：CN111989635A
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN201980025060.X
申请日：2019-04-19
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供一种流量控制方法，其使用具备设置于流路的第一控制阀(6)、设置于第一控制阀的下游侧的第二控制阀(8)、和对第一控制阀的下游侧的流体压力进行测定的压力传感器(3)的流量控制装置(100)而进行，所述流量控制方法包含：步骤(a)，基于压力传感器的输出以成为第一流量的方式控制第一控制阀的开度，并且维持打开第二控制阀的状态，从流体以第一流量流动的状态起，关闭第一控制阀的开度；以及步骤(b)，基于压力传感器的输出，通过调整第二控制阀的开度对残留在第一控制阀的下游的压力进行控制，使流体以第二流量在第二控制阀的下游侧流动。
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公开(公告)号：CN109564119B
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN201780032215.3
申请日：2017-08-24
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种压力式流量控制装置(1)，在将流孔(5)的上游侧压力P1保持在下游侧压力P2的约两倍以上的状态下，构成混合气体的两种气体的混合比为X:(1‑X)，使用以混合比率对两种气体的密度、比热比以及气体常数进行加权而算出的混合气体的平均密度ρ、平均比热比κ以及平均气体常数R，通过FF＝(k/ρ){2/(κ+1)}1/(κ‑1)[κ/{(κ+1)R}]1/2算出混合气体的流量系数FF，将流孔截面积设为S、流孔的上游侧的混合气体的压力设为P1、温度设为T1，通过Q＝FF·S·P1(1/T1)1/2算出通过流孔的混合气体的流量Q。
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公开(公告)号：CN106687728B
公开(公告)日：2019-08-27
申请号：CN201580039826.1
申请日：2015-08-17
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K31/02 , F16K7/14 , H01L41/053 , H01L41/083 , H01L41/09
Abstract: 本发明提供一种在不使用复杂的机构就能够增大压电元件的位移量的同时，不给配线等带来障碍的压电元件驱动式阀以及具备压电元件驱动式阀的流量控制装置。本发明是一种压电元件驱动式阀(1)，其具备：主体(7)，该主体设置有流体通路(7a)以及阀座(7c)；阀体(8)，其与主体(7)的阀座(7c)抵接分离而开闭流体通路(7a)；和，压电致动器(16)，其利用压电元件的伸长而开闭驱动所述阀体(8)，其中，通过能够引出配线的隔离物(17)，将至少两个压电致动器(16)配设在一条直线上。
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公开(公告)号：CN109791415A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201780037989.5
申请日：2017-10-12
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
Abstract: 流体控制装置(1)具备：主体块体(10)，其具有通用流入口(11)、通用流出口(12)、与通用流入口以及通用流出口连通的第一流路(F1)以及第二流路(F2)；以及安装于主体块体的安装面的第一流体控制单元(20a)和第二流体控制单元(20b)，第一流路和第二流路在从安装面的法线方向(D3)观察时，包含：沿着第一方向(D1)延伸的第一流路部分(13)；以及沿着与第一方向正交的第二方向(D2)延伸的第二流路部分(14)，第二流路部分由从主体块体的侧面沿着第二方向延伸的孔部(14’)和堵塞孔部的开口部的封闭部件(15)形成。
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公开(公告)号：CN105940357B
公开(公告)日：2019-05-14
申请号：CN201580002126.5
申请日：2015-01-15
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明涉及的压力式流量控制装置具备：主体，所述主体设置有连通流体入口与流体出口之间的流体通路，及连通流体通路与排气出口之间的排气通路；压力控制用控制阀，所述压力控制用控制阀固定于主体的流体入口侧，且开闭流体通路的上游侧；第一压力传感器，所述第一压力传感器检测其下游侧的流体通路内压；流孔，所述流孔设置于比所述排气通路的分歧位置更靠近下游的流体通路内；开闭阀，所述开闭阀开闭所述第一压力传感器的下游侧的流体通路；及排气用阀，所述排气用阀开闭所述排气通路。在所述压力式流量控制装置进行的流量控制开始前使排气用阀动作，且对压力控制用控制阀与开闭阀之间的流体通路空间内进行强制排气，由此可以防止流量控制开始时的超量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105247344B
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201480008102.6
申请日：2014-04-30
Applicant: 国立大学法人德岛大学 , 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种在有机原料流体的供给系统等中使用的浓度计，能够实现该浓度计的结构的简单化、小型化、产品成本的降低，能够将透光窗的透明度保持为一定从而进行稳定的浓度测定，并且提高了气密性能和耐颗粒性。本发明为由检测器主体(2)、设置于检测器主体(2)的上面或下面的光振荡部和光检测部构成的光分析式原料流体浓度检测器，所述光分析式原料流体浓度检测器构成为：在检测器主体上面或下面形成有至少一个凹部，并且检测器主体具备：从检测器主体的流体入口与凹部连通的流体流路；连通凹部之间的流体通路；从凹部与检测器主体的流体出口连通的流体流路，所述光分析式原料流体浓度检测器构成为：在最接近入口的凹部配置有光振荡部，在剩余的凹部配置有光检测部。
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公开(公告)号：CN108445922A
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201810214348.9
申请日：2013-04-01
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0641 , G05D7/0664 , Y10T137/87772
Abstract: 本发明提供一种半导体制造装置的气体分流供给装置，其具备：控制阀；气体供给主管；多个分支管路；分支管路开闭阀；节流孔，设置于分支管路开闭阀的下游侧；温度传感器，设置在控制阀与节流孔之间的处理气体通路附近；压力传感器，设置在控制阀与节流孔之间的处理气体通路；分流气体出口，设置在节流孔的出口侧；以及由压力式流量运算控制部构成的运算控制部，所述压力式流量运算控制部被输入来自压力传感器的压力信号以及来自温度传感器的温度信号，运算在节流孔中流通的处理气体的总流量，并且将控制信号向阀驱动部输出，所述控制信号使控制阀向运算出的流量值与设定流量值之差减少的方向开闭动作；由压力式流量控制部进行流量控制。
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公开(公告)号：CN108369425A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201680064955.0
申请日：2016-12-15
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明涉及一种利用具备节流部(12)、上游侧的控制阀(18)、上游侧的第一压力传感器(14)、下游侧的第二压力传感器(24)的流量控制装置(10)和下游阀(24)而进行的异常检测方法，包含使控制阀以及下游阀从打开状态变化为关闭状态的步骤、将控制阀以及下游阀维持着关闭状态而测定上游压力以及下游压力的步骤、和(a)抽出上游压力与下游压力之差达到规定值的时刻的上游压力作为上游收敛压力，下游压力作为下游收敛压力的步骤及(b)抽出从使控制阀以及下游阀变化为关闭状态的时刻至上游压力与下游压力之差达到规定值的时刻为止的时间作为收敛时间的步骤之中的至少一方，基于在步骤(a)或(b)中任一步骤所获得的数据与作为基准的值的比较而判断异常的有无。
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公开(公告)号：CN107850533A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201680025146.9
申请日：2016-08-09
Applicant: 国立大学法人德岛大学 , 株式会社富士金
Abstract: 一种浓度测定装置，包括：至少一个光源；用于注入被测定流体的测定单元；用于使所述光源的光分支为入射到所述测定单元内的入射光和未入射到所述测定单元内的非入射光的分歧器；用于检测所述入射光通过了所述测定单元的透过光的透过光检测器；用于检测所述非入射光的非入射光检测器；以及利用所述非入射光检测器的检测信号对所述透过光检测器的检测信号进行校正的运算部。
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公开(公告)号：CN104350443B
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：CN201380028183.1
申请日：2013-04-15
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0635 , G01F1/36 , G01F15/005 , Y10T137/7737
Abstract: 具备：上游侧阀（AV），将来自具有希望的气体供给压的气体供给源的气体的流通开闭；流量控制装置，连接在上游侧阀（AV）的下游侧，具备耐供给压力变动性；温度检测传感器（T），以将上游侧阀（AV）的出口侧与流量控制装置的入口侧连通的通路的内容积为降落容量（BC），并检测在形成该降落容量（BC）的通路内流通的气体的温度；压力传感器（P），检测在形成降落容量（BC）的通路内流通的气体的压力；监测流量运算控制部（CPb），进行上游侧阀（AV）的开闭控制，并且在通过上游侧阀（AV）的开放使降落容量（BC）内的气体压力成为设定上限压力值后，通过上游侧阀（AV）的封闭在规定时间t秒后使气体压力下降到设定下限压力值，由此通过降落方式运算并输出监测流量（Q）；将上述监测流量（Q）运算为Q=1000/760×60×273/（273+T）×V×ΔP/Δt并输出。
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