公开(公告)号：CN100591959C

公开(公告)日：2010-02-24

申请号：CN200710142236.9

申请日：2003-12-18

Applicant: 株式会社富士金 ,  大见忠弘

Inventor： 大见忠弘 ,  池田信一 ,  西野功二 ,  永濑正明 ,  土肥亮介 ,  西村龙太郎

IPC: F16K7/17 ,  G05B13/00 ,  G05D16/02

CPC classification number: F16K47/02 ,  F16K47/023 ,  F16L55/043 ,  Y10T137/0324 ,  Y10T137/0379 ,  Y10T137/0396 ,  Y10T137/7761 ,  Y10T137/86389 ,  Y10T137/86461

Abstract: 通过极为简单的装置及操作，不会发生水击、而且在短时间内，可以将流体通路紧急关闭。为此，由以下部分构成无水击关闭装置：加装在流体通路上的致动器动作式阀；向致动器动作式阀供应两级阶梯状的致动器动作压力Pa的电-气变换装置；可自由拆装地固定到前述致动器动作式阀的上游侧管路上的振动传感器；输入由振动传感器检测出来的振动检测信号Pr、并且向电-气变换装置输出控制前述两级阶梯状的致动器动作压力Pa的阶梯动作压力Ps′的大小的控制信号Sc，通过该控制信号Sc的调整、从电-气变换装置输出振动检测信号Pr基本上成为零的阶梯动作压力Ps′的两级阶梯状的致动器压力Pa的调整箱。

公开(公告)号：CN101512202A

公开(公告)日：2009-08-19

申请号：CN200780032360.8

申请日：2007-08-21

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 土肥亮介 ,  西野功二 ,  池田信一 ,  泽田洋平

IPC: F16K31/524 ,  F16K1/00 ,  F16K7/16 ,  F16K31/04 ,  F16K41/10

CPC classification number: F16K31/04 ,  F16K7/16 ,  F16K31/52491

Abstract: 一种凸轮式阀，将包括步进马达以及凸轮机构的促动器沿上下方向微调而能够简单且容易地进行阀的零点调节。一种步进马达驱动型的凸轮式阀(1)，在具有流入通路(2a)、流出通路(2b)、阀室(2c)以及阀座(2d)的机身(2)内升降自如地配设轴杆(7)，利用促动器使上述轴杆(7)下降，所述促动器包括：配设于轴杆的上方位置的步进马达(9)以及将步进马达(9)的旋转运动变换为直线运动而向轴杆(7)传递的凸轮机构(10)，使配设在阀室(2c)内的膜片(3)或者设置在轴杆(7)的下端部的阀体(30)向阀座(2d)抵接，其特征在于，在覆盖上述机体(2)的阀室(2c)的阀盖(5)上设置升降自如地支承促动器的升降支承机构(11)，在该升降支承机构(11)上设置微调相对于轴杆(7)的促动器的高度位置的高度微调机构(12)。

公开(公告)号：CN101484859A

公开(公告)日：2009-07-15

申请号：CN200780025188.3

申请日：2007-06-13

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 永濑正明 ,  土肥亮介 ,  池田信一 ,  西野功二 ,  平田薰 ,  杉田胜幸 ,  松本笃咨

IPC: G05D7/06 ,  G01F3/22 ,  G01F1/00

CPC classification number: G05D7/0635 ,  G01F1/36 ,  G01F15/005 ,  G01F15/022

Abstract: 在以往的压力式流量控制装置中，因其机构上流量输出信号的存在而不能判断节流机构下游侧阀的开动作，所以是不良状况。因此，在能够根据压力式流量控制装置的动作时的流量输出信号的变动状态简单地判断节流机构下游侧阀的开放的压力式流量控制装置中，将其节流机构下游侧阀开放并使向压力式流量控制装置输入的流量设定值Qe变动，检测该流量设定值Qe的变动中的来自压力式流量控制装置的流量输出信号Qo的变动的大小ΔV，在该流量输出信号Qo的变动的大小ΔV为规定值以上的情况下，判断节流机构下游侧阀的开放动作是正常的，此外，在上述变动的大小ΔV为规定值以下的情况下，判断开放动作是异常的。

公开(公告)号：CN101479681A

公开(公告)日：2009-07-08

申请号：CN200780024501.1

申请日：2007-06-13

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 平田薰 ,  泽田洋平 ,  土肥亮介 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: G05D7/06

CPC classification number: G05D7/0664 ,  Y10T137/85938 ,  Y10T137/87314 ,  Y10T137/87539

Abstract: 本发明提供一种流量比可变型流体供给装置，能够使对半导体制造装置用腔室的流量比可变型气体分流供给装置大幅地小型化和低成本化，并且能够简单且高精度地进行流量比的调整。一种流量比可变型流体供给装置，将从流量控制装置(6)供给的流量Q的气体以既定的流量Q1、Q2向第1分流管路(1)和第2分流管路(2)分流，并将流量Q的气体从两分流管路(1、2)供给到腔室内，其中，在上述第1分流管路(1)上设置有开口面积S1的第1节流部(3)，另外将上述第2分流管路(2)作为并列状地连结多条分支管路(2a～2n)的管路，在上述各分支管路(2a～2n)上分别设置有开口面积S2a～S2n的节流部(4a～4n)，并且在上述分支回路的全部或一部分上设置有开闭阀(Vb～Vn)，通过该开闭阀(Vb～Vn)的开或闭来调整第2分流管路(2)的能流通的节流部的合计开口面积S2o，从而以流量比Q1/Q2使流量Q的气体流向各分流管路(1、2)分流，所述流量比与上述第1分流回路(1)的第1节流部(3)和上述第2分流回路(2)的能流通的节流部的合计开口面积S2o的比相等。

公开(公告)号：CN101479402A

公开(公告)日：2009-07-08

申请号：CN200780024242.2

申请日：2007-06-13

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 平田薰 ,  永濑正明 ,  日高敦志 ,  松本笃咨 ,  土肥亮介 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: C23C16/455 ,  H01L21/205

CPC classification number: C23C16/4481 ,  C23C16/52 ,  G05D16/2013 ,  Y10T137/7737

Abstract: 实现基于MOCVD法的用于半导体制造的原料气化供给装置的构造的简易化和小型化，并且高精度地控制原料向加工室的供给量，从而实现半导体的品质的稳定化和品质的提升。本发明的原料气体供给装置，具有：原料容器，贮留原料；流量控制装置，将来自载流气体供给源的一定流量的载流气体(G1)一边调整流量一边向上述原料容器的原料中供给；1次配管路，导出积存在原料容器的上部空间中的原料的蒸气(G4)与载流气体(G1)的混合气体(G0)；自动压力调节装置，基于上述1次配管路的混合气体(G0)的压力以及温度的检测值来调节夹设在1次配管路的末端上的控制阀的开度，调节混合气体(G0)所流通的通路截面积，从而保持原料容器内的混合气体(G0)的压力为恒定值；恒温加热部，将上述原料容器以及自动压力调节装置的除了运算控制部的部分加热至设定温度，一边控制原料容器内的内压为期望的压力一边向加工室供给混合气体(G0)。

公开(公告)号：CN100468267C

公开(公告)日：2009-03-11

申请号：CN200380100257.4

申请日：2003-12-18

Applicant: 株式会社富士金 ,  大见忠弘

Inventor： 大见忠弘 ,  池田信一 ,  西野功二 ,  永濑正明 ,  土肥亮介 ,  西村龙太郎

IPC: G05D16/02

CPC classification number: F16K47/02 ,  F16K47/023 ,  F16L55/043 ,  Y10T137/0324 ,  Y10T137/0379 ,  Y10T137/0396 ,  Y10T137/7761 ,  Y10T137/86389 ,  Y10T137/86461

Abstract: 通过极为简单的装置及操作，不会发生水击、而且在短时间内，可以将流体通路紧急关闭。为此，由以下部分构成无水击关闭装置：加装在流体通路上的致动器动作式阀；向致动器动作式阀供应两级阶梯状的致动器动作压力Pa的电-气变换装置；可自由拆装地固定到前述致动器动作式阀的上游侧管路上的振动传感器；输入由振动传感器检测出来的振动检测信号Pr、并且向电-气变换装置输出控制前述两级阶梯状的致动器动作压力Pa的阶梯动作压力Ps′的大小的控制信号Sc，通过该控制信号Sc的调整、从电-气变换装置输出振动检测信号Pr基本上成为零的阶梯动作压力Ps′的两级阶梯状的致动器压力Pa的调整箱。

公开(公告)号：CN100419385C

公开(公告)日：2008-09-17

申请号：CN200480018993.X

申请日：2004-06-18

Applicant: 株式会社富士金 ,  大见忠弘

Inventor： 大见忠弘 ,  杉山一彦 ,  宇野富雄 ,  池田信一 ,  西野功二 ,  中村修 ,  土肥亮介 ,  松本笃谘

IPC: G01F1/42 ,  G01F1/50 ,  G01F7/00

CPC classification number: G01F1/50 ,  G01F1/42 ,  G05D7/0635

Abstract: 本发明的课题在于使差压式流量计的构造简化而实现制造成本的降低，并且能够在100%～1%的较广的流量范围内实时地且以在线状态进行误差(E)为(1%SP)以下的高精度的流量计测。为此，在包括孔口测流计、孔口测流计上游侧的压力(P1)的检测器、孔口测流计下游侧的流体压力(P2)的检测器、孔口测流计上游侧的流体温度(T)的检测器、利用来自上述各检测器的检测压力(P1、P2)及检测温度(T)运算流过孔口测流计的流体流量(Q)的控制运算电路的差压式流量计中，根据见右下公式(其中，C1为比例常数，m和n为常数)来运算前述流体流量(Q)。

公开(公告)号：CN1922469A

公开(公告)日：2007-02-28

申请号：CN200580005584.0

申请日：2005-01-13

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 平田薰 ,  池田信一 ,  西野功二 ,  土肥亮介

IPC: G01F1/68 ,  G01F1/00 ,  G01F15/04 ,  G01L9/00

CPC classification number: G01L19/0023 ,  G01F1/6842 ,  G01F1/6845 ,  Y10T137/7761

Abstract: 本发明提供提高热式质量流量传感器的耐蚀性的同时，可使对压力变动的测定精度稳定、响应性提高、除颗粒、防止制品质量的偏差及压力测定等的耐蚀金属制流体用传感器和采用该传感器的流体供给设备。具体地说，本发明的耐蚀金属制流体用传感器，测量流体的质量流量及压力，其中设有：耐蚀性金属基片2；形成设于该耐蚀性金属基片2的接触流体表面的背面侧的温度传感器3a和加热器3b的用薄膜构成的质量流量传感器部1；以及形成设于耐蚀性金属基片2的接触流体表面的背面侧的应变传感器元件4a的由薄膜构成的压力传感器部4。

公开(公告)号：CN110114601A

公开(公告)日：2019-08-09

申请号：CN201780080823.1

申请日：2017-12-22

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 土肥亮介 ,  平田薰 ,  杉田胜幸 ,  川田幸司 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: F16K31/02 ,  F16K37/00 ,  G05D7/06

Abstract: 一种压电元件驱动式阀，具备：设置于流路的阀座及离接于阀座的阀体；以及压电元件，所述压电元件驱动式阀被构成为：通过所述压电元件的伸长而移动所述阀体；所述压电元件驱动式阀具备对压电元件的伸长量进行检测的检测机构，检测机构包括应变传感器，阀体的移动量基于应变传感器的输出而检测。

公开(公告)号：CN105814410B

公开(公告)日：2019-05-14

申请号：CN201480054854.6

申请日：2014-12-22

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 土肥亮介 ,  安本直史 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: G01F1/42 ,  F16L19/02 ,  G05D16/06

Abstract: 本发明涉及流路密封构造，能够省略将孔板或者过滤板对作为母材的孔座或者过滤器座进行焊接或者敛缝的工序，并且能够实现进一步的小型化。其具备：主体块体(1)，形成有主体流路(1a，1b)；凹部(12，13)，形成于主体块体(1)的侧面，且在内周面形成有雌螺纹；薄板(6，8)，抵接于所述凹部的深处，且形成有通孔；垫圈(16，17)，抵接于薄板(6，8)；按压配管(20，21)，具有能够与主体流路(1a，1b)连通的内部流路和扩径部，且抵接于所述垫圈；紧固螺丝(22)，外插于所述按压配管，并且螺旋拧入所述雌螺纹，抵接于所述扩径部而对所述按压配管进行按压。