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公开(公告)号：CN103854993A
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201210524790.4
申请日：2012-12-07
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
IPC: H01L21/3065 , H01J37/32
CPC classification number: H01L21/02016 , H01J37/32449 , H01L21/67069
Abstract: 本发明涉及一种大气等离子体化学平坦化方法及装置，属于机械制造技术领域。本发明为解决现有CMP等全局平坦化方法存在的如加工选择性不高、去除速率不均、清洗困难等问题。方法在大气压下激发等离子体和活性原子，通过活性原子与工件表面原子间的化学反应实现材料的去处，高处形貌的反应速率大于低处形貌的反应速率，从而实现表面的平坦化。装置的水冷电极置于成型电极上方，并共同设置于保持架内，保持架下端面设有放电挡板，保持架与台座间形成气流缓冲间隙，成型电极下端面与水冷吸附工作台上端面间形成放电间隙，射频电源通过阻抗匹配器与电极连接。本发明适用于硅晶圆、碳化硅/蓝宝石衬底、光伏电池薄膜层等的平坦化加工。
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公开(公告)号：CN103794842A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201410055607.X
申请日：2014-02-18
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
Abstract: 本发明提供了一种环形桁架式大型空间可展机构，其由若干相同的6R机构可展单元首尾相接组成环形；其中，6R机构可展单元上下对称且左右对称，其包括：两根相同的支撑杆，该两根支撑杆纵向平行设置；四根相同的弦杆，其包括两根上弦杆、两根下弦杆；两根上弦杆的始端通过转动副分别连接于两根支撑杆的上端；两根上弦杆的末端通过转动副互相连接；两根下弦杆的始端通过转动副分别连接于两根支撑杆的下端；两根下弦杆的末端通过转动副互相连接；其中，每个弦杆均通过滑块曲柄机构与相邻的支撑杆可动连接，滑块套设于支撑杆；曲柄的一端通过转动副连接于弦杆，另一端通过转动副连接于滑块；支撑杆的长度大于弦杆长度的两倍。本发明的环形桁架式大型空间可展机构具有高折叠比。
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公开(公告)号：CN101716764A
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200910110142.2
申请日：2009-11-11
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
IPC: B25J9/08
Abstract: 本发明涉及一种适用于减振的五自由度冗余驱动混联机构，该机构由定平台，中间平台、动平台、六个主动支链和一个被动支链构成。中间平台通过三个结构相同的分支与定平台相连，每个分支中含有一个固定于定平台上的倾斜放置的可伸缩杆作为驱动副，驱动杆的另一端通过万向铰与一根定长杆相连，而定长杆通过另一个万向铰与中间平台相连，且两个万向铰的内轴线和外轴线分别相互平行；中间平台与动平台之间通过三个结构相同分支连接，每个分支含有一个作为驱动副的可伸缩连杆，连杆一端用万向铰与中间平台相连，另一端通过球铰与动平台相连；动平台与中间平台的中心通过含有一个万向铰的被动支链相连。本发明将一个空间三自由度平移机构和一个两自由度转动机构有机的结合起来，具有高刚度、高灵活度的特点，而且平移与转动完全解耦，控制简单。
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公开(公告)号：CN108657473A
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：CN201810366964.6
申请日：2018-04-23
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
CPC classification number: B64G4/00 , B25J9/0009 , B64G2004/005
Abstract: 本发明提供了一种基于约束螺旋的可折展抓捕变胞机构，包括多个相同的变胞单元，变胞单元包括：抓捕机构，包括两根剪叉杆、两根连杆，两根剪叉杆通过转动副R1互相连接，形成剪叉机构；两根连杆的底端分别通过转动副R2、转动副R3连接于两根剪叉杆的顶端；转动分支机构包括依次转动连接的第一转动杆、第二转动杆、第三转动杆、第四转动杆、第五转动杆；第五转动杆通过转动副R4连接于连杆的顶端，第一转动杆通过转动副R5连接于剪叉杆的底端；两个转动分支机构通过铰链机构互相连接，本发明通过对控制多余的自由度，并保留折展、抓捕两个自由度，实现减少自由度的数量和种类，以实现对结构的简化。
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公开(公告)号：CN108638110A
公开(公告)日：2018-10-12
申请号：CN201810366075.X
申请日：2018-04-23
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
Abstract: 本发明提供一种刚性可折展抓捕变胞机构，包括多个变胞单元，变胞单元包括：抓捕机构，其包括两根剪叉杆、两根连杆，两根剪叉杆通过转动副R1互相连接，形成剪叉机构；两根连杆的底端分别通过转动副R2、转动副R3连接于两根剪叉杆的顶端；滑动分支包括滑动连接的第一滑动杆、第二滑动杆、第三滑动杆，第一滑动杆与连杆的顶端通过转动副R4连接；转动分支包括转动连接的第一转动杆、第二转动杆、第三转动杆；第一转动杆通过转动副R5连接于剪叉杆的底端；第三转动杆、第三滑动杆通过转动副Ra3连接；两个随动分支机构通过铰链机构互相连接。本发明具有较好的可展开性、较强的刚度、较高的误差包容性以及较低的加工制造要求，以更好地适应太空环境。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107134655A
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：CN201710260174.5
申请日：2017-04-20
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
IPC: H01Q15/16
CPC classification number: H01Q15/161
Abstract: 本发明提供了一种基于剪叉机构的空间可展开曲面桁架机构，其由多个三棱台单元组网形成；其中，该三棱台单元包括三个通过共转动关节依次首尾相连的剪叉机构，相邻三棱台单元之间通过共剪叉机构相连；并且其中，该剪叉机构包括在中央部分相互铰接的两根剪叉杆，每一剪叉杆的两个纵向端部分别与一根连杆构件相铰接，位于两根剪叉杆同一纵向端部的两根连杆构件之间形成滑动副连接；共转动关节设置在相连剪叉机构其中一个径向端部的相邻连杆构件之间。本发明的桁架机构具有大尺寸、大折展比、轻重量、高强度的优点，特别适合于作为大型空间可展天线的曲面背架机构，实现以较大口径获取空间信号。
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公开(公告)号：CN103854993B
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201210524790.4
申请日：2012-12-07
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
IPC: H01L21/3065 , H01J37/32
Abstract: 本发明涉及一种大气等离子体化学平坦化方法及装置，属于机械制造技术领域。本发明为解决现有CMP等全局平坦化方法存在的如加工选择性不高、去除速率不均、清洗困难等问题。方法在大气压下激发等离子体和活性原子，通过活性原子与工件表面原子间的化学反应实现材料的去处，高处形貌的反应速率大于低处形貌的反应速率，从而实现表面的平坦化。装置的水冷电极置于成型电极上方，并共同设置于保持架内，保持架下端面设有放电挡板，保持架与台座间形成气流缓冲间隙，成型电极下端面与水冷吸附工作台上端面间形成放电间隙，射频电源通过阻抗匹配器与电极连接。本发明适用于硅晶圆、碳化硅/蓝宝石衬底、光伏电池薄膜层等的平坦化加工。
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公开(公告)号：CN103786906B
公开(公告)日：2017-02-08
申请号：CN201410055564.5
申请日：2014-02-18
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
IPC: B64G1/66
Abstract: 本发明提供了一种空间可展机构，其包括若干相同的折展单元；其中，折展单元左右对称，其包括：两根相同的立杆，两根立杆纵向设置；两根相同的第一弦杆，该两根第一弦杆的始端分别通过转动副连接于两根立杆的上端；两根第一弦杆的末端通过转动副互相连接，形成V型杆；两根相同的第二弦杆，两根第二弦杆的中部通过转动副互相连接，形成剪叉机构；两根第二弦杆的始端分别通过转动副连接于两根立杆的下端；两根相同的第三弦杆，两根第三弦杆的始端分别通过转动副连接于两根立杆的中下部；两根第三弦杆的末端分别通过转动副连接于两根第二弦杆的末端。本发明空间可展机构具有较好的可展开性、较高的刚度、较高的误差包容性以及较低的加工制造要求。
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公开(公告)号：CN106272423A
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201610799842.7
申请日：2016-08-31
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
IPC: B25J9/16
CPC classification number: B25J9/1664 , B25J9/1697
Abstract: 本发明提出了一种针对大尺度环境的多机器人协同制图与定位的方法，包括基于视觉检测闭环的单机器人激光SLAM算法、多机器人位姿约束估计算法以及多机器人地图融合算法；其中，基于视觉检测闭环的单机器人激光SLAM算法利用视觉传感器来辅助激光传感器，实现更为稳定鲁棒性的SLAM算法。本发明通过激光和视觉传感器实现了多机器人的同步定位与制图。通过摄像头获得鲁棒的视觉特征来检测闭环，有效地解决了机器人运动累积误差所造成的闭环检测难题，同时通过多机器人系统，高效率地完成大区域环境下的同步定位与制图，克服了单机器人效率低的缺点。本发明的方法在大尺度环境下实现准确的机器人定位和环境的地图创建，同样适用于小尺度环境。
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公开(公告)号：CN106142095A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201510187273.6
申请日：2015-04-17
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
IPC: B25J11/00
Abstract: 本发明为一种人形服务机器人头部结构，能够实现眼皮的眨动，眼球上下、左右运动，嘴巴的张合，以及点头和左右摇头的动作。结构主要包括眼睛部分1，嘴巴部分2，颈部部分3。眼睛部分动作分别由平行连杆机构4、曲柄导杆机构5以及曲柄摇杆机构实现，嘴巴的张合由电机直接驱动实现，颈部的点头、摇头动作由电机6、7直接驱动实现。其中双眼眼皮的眨动，眼球的上下、左右运动，通过应用杆机构，分别只需要一个电机驱动就可以实现同步动作。本发明结构简单，紧凑，能实现面部基本的表情动作。
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