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公开(公告)号：CN117958784A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202410244605.9
申请日：2024-03-05
Applicant: 厦门大学
IPC: A61B5/024
Abstract: 本发明涉及人体脉搏信号采集技术领域，具体涉及一种面向中医脉诊传感器的随动机构，包括上卡口、一号弹簧、旋转块、连接轴、脉诊传感器模块、二号弹簧和连接件，上卡口放置于连接轴上，两侧分别通过一号弹簧，二号弹簧与脉诊传感器模块相连接；旋转块前端为圆弧结构，与脉诊传感器模块相接触，旋转块后端与脉诊传感器模块通过自润滑光轴连接，上端通过螺纹与连接轴相连；连接件安装在连接轴的上端，位于上卡口与连接轴之间，连接件上留有4个用于与控制装置连接的通孔。本发明通过双弹簧形变以及光轴单点固定的机构，使得脉诊传感器模块具有旋转的自由度，在被测者轻微旋转手臂时，传感器能够实现跟随测量，进而减少测试过程中的误差。
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公开(公告)号：CN117804624A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202311871220.7
申请日：2023-12-29
Applicant: 厦门大学
IPC: G01K7/02
Abstract: 一种阵列化柔性温度传感器的制备方法，将阵列敏感芯体封装于两柔性薄膜之间，使得阵列敏感芯体的热电偶节点位于柔性薄膜的测温区域内，阵列敏感芯体可随柔性薄膜弯曲适配待测物件表面，克服现有薄膜温度传感器硬性基底无法弯曲变形的缺点，从而满足在各种曲型壁面进行原位测量地需求，同时阵列敏感芯体包括若干正极热电偶和负极热电偶，正极热电偶和负极热电偶交叉重叠的部分构成热电偶节点，各热电偶节点位于测温区域内，解决了传统热电偶传感器测温区域内传感器测量位置的布置和引线困难等问题。
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公开(公告)号：CN117799343A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202311844435.X
申请日：2023-12-29
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明公开一种基于丝网印刷技术制备钨铼薄膜温度传感器的工艺方法，包括丝网印刷技术制备敏感芯体工艺、敏感芯体烧结工艺、焊点烧结工艺。丝网印刷技术制备敏感芯体工艺用于制备钨铼薄膜传感器正负极，形成传感器结点；敏感芯体烧结工艺使敏感芯体由液相转变为固相并将其合金化；焊点烧结工艺使敏感芯体两极同质信号延长线与敏感芯体紧密结合。通过本发明提供的一种基于丝网印刷技术制备钨铼薄膜温度传感器的工艺方法，可以制备测温上限达1800K的钨铼薄膜温度传感器，该方法也有效提高了钨铼薄膜温度传感器的制备效率。
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公开(公告)号：CN117558833A
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202311614864.8
申请日：2023-11-29
Applicant: 厦门大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/0216 , H01L31/105
Abstract: 本发明涉及硅基紫外光电传感器领域，具体涉及一种自建外电场调制的硅基增强型紫外光电传感器的制备方法，其利用Bosch刻蚀和等离子体浸没刻蚀得到微纳米分层结构硅纳米锥，有效消除表面反射；采用低能离子注入形成浅结；采用扩散增强模式的共形原子层沉积技术沉积氧化铝薄膜，高质量沉积的氧化铝薄膜不仅保证了表面的有效钝化，有效抑制光生载流子表面瑕疵点复合，同时引入负电荷富集层，形成自建外电场抑制载流子复合损耗，并对载流子移动进行主动调制，硅纳米锥的俘光能力与氧化铝引入的自建外电场协同增强，对光生电子空穴对进行更加高效的收集，将探测的范围扩展到紫外光范围的同时获得理想的量子效率和响应速度。
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公开(公告)号：CN117506334A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311462716.9
申请日：2023-11-06
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明提供了基于蓝宝石光纤微泡结构的压力传感器及制备和使用方法，首先研磨蓝宝石光纤端面使其具有光学级别粗糙度，然后使用飞秒激光水击穿法刻蚀光纤端面使其构成中空腔体结构，最后采用电弧放电技术对蓝宝石光纤端面中空腔体结构进行多次放电，使其向内塌陷形成封闭的用于感知压力的微泡结构腔，所述微泡腔为法布里‑珀罗干涉腔。当其受到的压力改变时气泡壁面向腔内压缩，可以通过测量腔长改变量即可计算出环境的压力值。本发明所提供的技术方案制作出一种基于蓝宝石光纤微泡结构的耐高温压力传感器，所采用的蓝宝石光纤，具有极高的耐温性，同时，微泡结构制备工艺简单，可靠性高、可避免电磁干扰。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116105899A
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202211729665.7
申请日：2022-12-30
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明公开了一种基于一体式丝网印刷的高灵敏度离电式柔性压力传感器及其制备方法，其是分别在顶层柔性基底和底层柔性基底上采用丝网印刷的方式依次印刷电极层和敏感层，然后采用双面胶带作为间隔层进行黏附以形成对称的三明治结构。本发明利用一体式丝网印刷的大规模制备方式制备柔性压力传感器，利用特有的参杂方式以适应不同材料的丝网印刷要求，通过印刷阵列的方式满足测量压力分布的需求，采用柔性基底的方式实现传感器柔韧性的要求，最终结合电学信号测量的方式实现压力信息的数字化、可视化，可以大大加快柔性压力传感器的制备效率，且有效提升柔性压力传感器的一致性的问题。
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公开(公告)号：CN221725439U
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN202420779649.7
申请日：2024-04-16
Applicant: 厦门大学
IPC: G01L1/22
Abstract: 本实用新型涉及传感器技术领域，具体涉及一种可提高芯片良率的MEMS压阻式压力传感器，包括硅片，所述硅片上设置有电阻、金属引线、欧姆接触区和背腔，所述电阻采用扩散法或离子注入法制造在硅片顶面上，采用阶梯状设置，以110方向排布，横跨整个应力集中区域；所述欧姆接触区与电阻的边缘接触，所述背腔采用深硅刻蚀制备。本实用新型采用阶梯式的电阻设计，扩大了电阻的纵向尺寸，对光刻、刻蚀过程中引入的操作误差得到了较好的补偿，保证了制造过程中的良率。
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公开(公告)号：CN221781720U
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202420334073.3
申请日：2024-02-22
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种光纤式压力传感器增敏装置，包括基座，基座设有压力感应区和非压力感应区，压力感应区一体成型有感压膜片；还包括一体成型于感压膜片的引压柱和一体成型于非压力感应区的悬臂梁，悬臂梁的末端朝向引压柱延伸；还包括压力敏感芯体，压力敏感芯体的一端连接于引压柱，压力敏感芯体的另一端连接于悬臂梁，使得压力敏感芯体呈竖直状态。与现有技术的光纤式压力传感器相比，本增敏装置整体结构包括一体成型的基座、感压膜片、引压柱以及悬臂梁，不存在部件焊接引起热应力分配不均匀的问题，在实现增敏的同时解决了压力感应区与感应膜片之间的密封问题，确保测量结果的准确性。
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公开(公告)号：CN220170398U
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202321131798.4
申请日：2023-05-11
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本实用新型公开了一种法珀腔式压力传感器，包括压力敏感芯体、光纤和固定套管，所述压力敏感芯体包括外径相同且为蓝宝石材质的受力晶片、环形晶片和基底晶片，环形晶片的中间通孔形成空气腔；所述受力晶片、环形晶片、基底晶片层叠固定在一起，并同轴设置，且环形晶片位于受力晶片和基底晶片之间；所述光纤穿设于固定套管，固定套管的一端固定于基底晶片背对环形晶片的表面，且固定套管与基底晶片同轴设置，所述固定套管的另一端与光纤固定连接；所述光纤的出光面与受力晶片面向环形晶体的表面平行。本实用新型相较于石英材质的压力敏感芯体，可适用于恶劣环境，具体，本实用新型可在1600℃下承受10MPa的压力，保障了传感器的结构强度。
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公开(公告)号：CN219322362U
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN202320092015.X
申请日：2023-01-31
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本实用新型公开了一种双端固支石英谐振器的稳定振荡电路，包括：起振网络，通过反相器和反馈电阻对石英双端音叉进行放大振荡以产生方波；滤波网络，与所述起振网络相连接，通过二阶RC滤波电路和运算放大器对振荡产生的方波进行滤波及放大；电平转换电路，与所述滤波网络相连接，通过三极管开关电路将滤波网络的输出信号转换成指定电压信号；显示模块，与所述电平转换电路相连接，通过单片机捕获电平转换电路输出的电压方波信号，转换成对应的方波频率，并通过显示屏显示。本实用新型不仅能够稳定振荡石英晶体，同时能够采集振荡频率并进行显示，采集精度高且功耗低。
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