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公开(公告)号：CN114217089A
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN202111252085.9
申请日：2021-10-26
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本公开的MEMS全方位流体矢量流速传感器，包括：衬底、可动检测装置和固定检测装置，衬底用于承载所述可动检测装置和固定检测装置；可动检测装置结构包括Bimorph驱动臂和中央承载平台，Bimorph驱动臂用于连接衬底和支撑所述中央承载平台；所述中央承载平台上具有检测热敏电阻和热源，用于检测流体的流向和流速；固定检测装置位于所述衬底上，包括检测热敏电阻和热源，用于检测流体的流向和流速。可实现全方位流体流向的测定与流速的测量，具有体积小、功耗低、寿命长、性能优良、可批量生产和成本低等优点。
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公开(公告)号：CN114023579A
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN202111167882.7
申请日：2021-09-29
Applicant: 北京理工大学 , 无锡微奥科技有限公司
IPC: H01H9/02
Abstract: 本公开提供了一种透射式光开关、阵列透射式光开关及电子设备；其中，透射式开关包括有框架、遮光元件、驱动装置以及静电吸合装置；框架形成有通道；遮光元件悬置于通道上，遮光元件被构造为用于开启或关闭通道；驱动装置的一端与框架连接，驱动装置的另一端与遮光元件连接，驱动装置能够发生形变和展平；静电吸合装置包括第一静电电极和第二静电电极，第一静电电极位于遮光元件上，第二静电电极位于通道的侧壁上；在驱动装置发生形变下，遮光元件朝向通道内移动，并能够通过第一静电电极静电吸合在第二静电电极上，以开启通道。本公开的方案为光开关提供了一种新的驱动方式，能明显降低驱动电压和功耗，同时可获得较高的通光率。
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公开(公告)号：CN114019674A
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN202111167883.1
申请日：2021-09-29
Applicant: 北京理工大学 , 无锡微奥科技有限公司
IPC: G02B26/02
Abstract: 本公开提供了一种透射式光开关、阵列透射式光开关及电子设备；其中，所述透射式光开关包括基底，驱动装置以及静电吸合装置；所述基底形成有透光区域；所述驱动装置的一端与所述基底连接，所述驱动装置悬置于所述基底上，所述驱动装置被构造为能够发生弯曲形变和展平；所述静电吸合装置包括第一静电电极和第二静电电极，所述第一静电电极位于所述基底上，且为透光材料，所述第二静电电极位于所述驱动装置上；在所述驱动装置展平的状态下，所述驱动装置能够通过所述第二静电电极静电吸合在所述第一静电电极上，以关闭所述透光区域。本公开的方案为光开关提供了一种新的驱动方式，能够明显降低驱动电压和功耗，同时降低了维持光开关关闭的能耗。
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公开(公告)号：CN119892002A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202411771066.0
申请日：2024-12-04
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本申请涉及滤波技术领域，具体涉及一种基于压电效应的F‑P腔滤波器及其制备方法，滤波器包括支撑框架；上极板；第一反射层和第二反射层，均设于支撑框架内且始终彼此平行，用以共同限定法布里‑珀罗谐振腔；驱动组件连接在上极板与支撑框架之间，驱动组件中设有驱动单元；驱动单元由伸缩层和至少一个非压电层组合形成，伸缩层包括压电层、位于压电层底部的底电极，以及位于压电层顶部的顶电极；至少一个非压电层配置为贴合设置于底电极和/或顶电极上。该压电驱动结构可实现滤波器小型化，结构简化，整体体积和重量降低，器件可靠性高。
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公开(公告)号：CN119764012A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202411861417.7
申请日：2024-12-17
Applicant: 重庆邮电大学 , 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本发明公开了一种三维立体微型集成硅基磁芯功率电感及其设计制备方法，属于微电子领域，该电感包括顶层和底层，所述顶层其内设有多个用作螺旋线圈的穿透硅通孔结构以及顶层重布线层；其中，穿透硅通孔结构之间填充有磁性材料；所述底层内设有多个用作螺旋线圈的穿透硅通孔结构以及底层重布线层；其中，穿透硅通孔结构之间填充有磁性材料；所述顶层和底层之间填充有磁性材料，所述顶层的穿透硅通孔结构和底层的穿透硅通孔结构之间通过锡银共晶键合。本发明通过将一组线圈分为上下两部分制作之后进行以锡银为焊料的共晶键合的方式，实现体积小、电感密度高、高品质因数、可集成的三维立体微型集成硅基磁芯功率电感制作。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119586955A
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202411986827.4
申请日：2024-12-31
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本发明涉及医疗器械领域，公开了一种双模态内窥镜的光学系统及内窥镜成像探头和内窥镜，光学系统包括：沿主光轴方向依次设置的物镜组、目镜组和光控制器，光控制器用于控制白光和近红外光的传播方向，白光经过光控制器后其传播方向保持不变，近红外光经过光控制器后其传播方向被改变，经过光控制器后的近红外光进入光转换模块内，光转换模块包括：MEMS微镜和准直透镜，其中，近红外光依次经过光控制器和MEMS微镜后其传播方向平行于主光轴，本发明的OCT成像与白光成像共用一套光学系统，不需要改变现有的白光内窥镜插入部分的直径，且可以使得OCT成像实现大视场和大工作距离的优点。
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公开(公告)号：CN119535769A
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202411718417.1
申请日：2024-11-27
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种静电平板驱动微镜的制作方法，涉及驱动微镜技术领域，包括：步骤一、制作一面带有底部驱动电极的衬底；制作一面带有空腔结构的晶圆；步骤二、将晶圆带有空腔结构的一面与衬底带有底部驱动电极的一面键合；步骤三、在晶圆远离衬底的表面上制作镜面反射层和地电极焊盘；步骤四、对晶圆进行刻蚀并使得剩余材料构成镜板、外框组件、扭转梁和导热梁，镜板位于外框组件内，镜板和外框组件通过扭转梁和导热梁连接；步骤五、除去导热梁。本发明提供的静电平板驱动微镜的制作方法在大量刻蚀晶圆材料时，可通过预留的导热梁将镜板以及可动框架上的热量传递出去，进而保证刻蚀过程的正常运行，可以显著提高良品率。
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公开(公告)号：CN119335729A
公开(公告)日：2025-01-21
申请号：CN202411209119.X
申请日：2024-08-30
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开的具有独立电极结构的静电梳齿驱动MEMS微镜及制作方法，属于微光机电领域，本发明的静电MEMS微镜，包括镜面、梳齿电极、梳齿支撑结构、扭转梁、焊盘、空腔和固定框架。驱动动梳齿电极和检测动梳齿电极通过扭转梁与焊盘连接。微镜通过填充隔离沟道将梳齿电极分为检测梳齿电极和驱动梳齿电极，并且通过去除梳齿电极底部的硅衬底用以降低寄生电容，从而避免驱动信号对于检测信号的馈通干扰，提高对静电MEMS微镜的电容检测精度。本发明根据背腔刻蚀优先顺序，还公开两种具有独立电极结构的静电MEMS微镜制作方法，本发明的静电MEMS微镜制作方法通过聚合物填充沟道、绝缘层和金属导线，实现不同梳齿电极的隔离和互联。
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公开(公告)号：CN119148370A
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN202411290342.1
申请日：2024-09-14
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本发明公开了一种MEMS微位移平台及其位置检测方法，属于MEMS器件检测领域，主要在MEMS微镜的附近放一块位置感应元器件，将感应元器件集成到MEMS微镜中，当MEMS微镜的镜面偏转靠近感应元器件时，感应元器件会产生相应的电信号，放置感应元器件后，通过TSV或者TGV等工艺将信号传递给驱动控制电路，从而实时获取镜面的位置。本发明将器件检测与TSV或TGV工艺相结合，大大提高现有检测器件的集成度，且可以大批量低成本量产，有较高的市场前景。
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公开(公告)号：CN119118048A
公开(公告)日：2024-12-13
申请号：CN202411183678.8
申请日：2024-08-27
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院 , 重庆工商大学
Abstract: 本发明公开了一种集成压电反馈的电热微动平台及其位置检测方法，属于微机电技术领域，该平台包括外围支撑结构、电热驱动结构、微平台，以及用于检测微平台的位置和运动状态的压电位置检测结构。本发明将压电位置检测结构与电热微动平台进行一体式集成，不仅能在不影响微动结构运动的情况下实时、稳定、高精度地获得微动结构偏转角度和偏转方向的姿态信息，还能显著降低器件及其系统的闭环控制姿态反馈电路的复杂程度，优化相关应用产品的结构和尺寸，以及实现器件的小型化和轻量化。
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