-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113560122A
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN202110760044.4
申请日：2021-07-06
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种面向TSV的可偏心式旋涂一体化装置，该旋涂一体化装置在真空密封箱内部设置有夹层；偏心式旋涂装置包括可偏心式转台和至少一个可插拔式托盘；可偏心式转台能够绕竖直轴线旋转地支撑于真空密封箱的底部；可插拔式托盘卡接于可偏心式转台的顶部，并且能够相对可偏心式转台偏心设置；可调节式滴胶管位于可偏心式转台的顶部；防护装置置于夹层顶部，并遮挡在可偏心式转台的周围；传送装置位于夹层内；加热装置与传送装置一一对应，并位于传送装置的底部。上述旋涂一体化装置能够在同一个真空密封箱内完成不同工艺步骤，无需对样片进行来回转移，大大降低了工艺复杂度，缩短了工艺时间，避免了样品的污染。
-
公开(公告)号：CN114217089A
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN202111252085.9
申请日：2021-10-26
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本公开的MEMS全方位流体矢量流速传感器，包括：衬底、可动检测装置和固定检测装置，衬底用于承载所述可动检测装置和固定检测装置；可动检测装置结构包括Bimorph驱动臂和中央承载平台，Bimorph驱动臂用于连接衬底和支撑所述中央承载平台；所述中央承载平台上具有检测热敏电阻和热源，用于检测流体的流向和流速；固定检测装置位于所述衬底上，包括检测热敏电阻和热源，用于检测流体的流向和流速。可实现全方位流体流向的测定与流速的测量，具有体积小、功耗低、寿命长、性能优良、可批量生产和成本低等优点。
-
公开(公告)号：CN115629471B
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202211237821.8
申请日：2022-10-10
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种具有位置检测结构的MEMS电热微镜器件及检测方法，所述电热微镜器件包括：衬底(1)、四个位置检测结构(2)、Bimorph驱动臂(4)、镜面热源(3)、镜面(5)、以及热隔离结构(6)；所述镜面(5)位于所述衬底表面上方的中心位置，所述镜面(5)与镜面热源(3)之间配置有所述热隔离结构(6)；所述位置检测结构(2)均位于衬底(1)的表面上方，所述位置检测结构(2)包括衬底热源(2‑1)及多个热敏电阻(2‑2)；位置检测结构(2)内的至少两个热敏电阻(2‑2)分别外接电桥电路；Bimorph驱动臂(4)包括Bimorph结构(4‑1)及驱动臂(4‑2)。
-
公开(公告)号：CN114217089B
公开(公告)日：2023-02-17
申请号：CN202111252085.9
申请日：2021-10-26
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本公开的MEMS全方位流体矢量流速传感器，包括：衬底、可动检测装置和固定检测装置，衬底用于承载所述可动检测装置和固定检测装置；可动检测装置结构包括Bimorph驱动臂和中央承载平台，Bimorph驱动臂用于连接衬底和支撑所述中央承载平台；所述中央承载平台上具有检测热敏电阻和热源，用于检测流体的流向和流速；固定检测装置位于所述衬底上，包括检测热敏电阻和热源，用于检测流体的流向和流速。可实现全方位流体流向的测定与流速的测量，具有体积小、功耗低、寿命长、性能优良、可批量生产和成本低等优点。
-
公开(公告)号：CN115629471A
公开(公告)日：2023-01-20
申请号：CN202211237821.8
申请日：2022-10-10
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种具有位置检测结构的MEMS电热微镜器件及检测方法，所述电热微镜器件包括：衬底(1)、四个位置检测结构(2)、Bimorph驱动臂(4)、镜面热源(3)、镜面(5)、以及热隔离结构(6)；所述镜面(5)位于所述衬底表面上方的中心位置，所述镜面(5)与镜面热源(3)之间配置有所述热隔离结构(6)；所述位置检测结构(2)均位于衬底(1)的表面上方，所述位置检测结构(2)包括衬底热源(2‑1)及多个热敏电阻(2‑2)；位置检测结构(2)内的至少两个热敏电阻(2‑2)分别外接电桥电路；Bimorph驱动臂(4)包括Bimorph结构(4‑1)及驱动臂(4‑2)。
-
-
-
-
Search Results
5
records
(took 0.016 seconds)
