一种静电平板驱动微镜的制作方法

    公开(公告)号:CN119535769A

    公开(公告)日:2025-02-28

    申请号:CN202411718417.1

    申请日:2024-11-27

    Abstract: 本发明公开了一种静电平板驱动微镜的制作方法,涉及驱动微镜技术领域,包括:步骤一、制作一面带有底部驱动电极的衬底;制作一面带有空腔结构的晶圆;步骤二、将晶圆带有空腔结构的一面与衬底带有底部驱动电极的一面键合;步骤三、在晶圆远离衬底的表面上制作镜面反射层和地电极焊盘;步骤四、对晶圆进行刻蚀并使得剩余材料构成镜板、外框组件、扭转梁和导热梁,镜板位于外框组件内,镜板和外框组件通过扭转梁和导热梁连接;步骤五、除去导热梁。本发明提供的静电平板驱动微镜的制作方法在大量刻蚀晶圆材料时,可通过预留的导热梁将镜板以及可动框架上的热量传递出去,进而保证刻蚀过程的正常运行,可以显著提高良品率。

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