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公开(公告)号:CN104521003B
公开(公告)日:2016-11-23
申请号:CN201380042132.4
申请日:2013-07-30
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: H01L31/0216 , H01L31/068 , H01L31/18
CPC classification number: H01L31/02168 , C23C16/452 , C23C16/50 , C23C16/52 , H01L31/02167 , H01L31/068 , H01L31/1804 , Y02E10/547 , Y02P70/521
Abstract: 一种生产率良好地形成钝化效果优良的由氮化硅构成的反射防止膜的太阳能电池的制造方法,其特征在于,使用具备成膜室(101)、具有使氨气激发的激发部(111a、112a)和对激发了的氨气导入硅烷气体而活性化的活性化反应部(111b、112b)的等离子体室(111、112)、以及针对每个等离子体室(111、112)调整氨气和硅烷气体的流量比的流量控制器(113)的远程等离子体CVD装置(100),在成膜室(101)中输送半导体基板(102)的同时,通过来自第一等离子体室(111)的等离子体流,在半导体基板(102)上形成第一氮化硅膜,接着通过来自导入了流量比与第一等离子体室(111)不同的氨气和硅烷气体的第二等离子体室(112)的等离子体流,形成组成与第一氮化硅膜不同的第二氮化硅膜。
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公开(公告)号:CN105934828A
公开(公告)日:2016-09-07
申请号:CN201480074059.3
申请日:2014-12-01
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: H01L31/0224 , H01L31/068
CPC classification number: H01L31/022441 , H01L31/02168 , H01L31/022425 , H01L31/02363 , H01L31/068 , Y02E10/547
Abstract: 为了提供一种具有低成本、高可靠性和高转换效率的太阳能电池单元。一种太阳能电池单元的制造方法,其中:第二导电型层和防反射膜通过层叠于第一导电型半导体基板上形成;将含有导电性颗粒和玻璃粉的导电性糊剂涂布至所述防反射膜的规定位置;和通过将已涂布有所述导电性糊剂的半导体基板烧结形成电极;所述电极贯通所述防反射膜并且电连接至所述第二导电型层。在所述烧结之后即刻而不是回复至室温,将已涂布有所述导电性糊剂的半导体基板连续地加热处理。
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公开(公告)号:CN103348489B
公开(公告)日:2016-05-18
申请号:CN201180066540.4
申请日:2011-12-21
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: H01L31/0224
CPC classification number: H01L31/18 , B41P2215/50 , H01L31/022425 , Y02E10/50
Abstract: 本发明提供了太阳能电池元件的制造方法,其可谋求提高在丝网印刷工序中形成的集电极的膜厚,且降低其电阻值,并对转换效率的提高做出贡献。当通过导电性糊的丝网印刷形成太阳能电池元件的集电极时,多次重复该丝网印刷处理。此时,使第二次以后的丝网印刷时的刮涂速度等于或高于第一次丝网印刷时的刮涂速度。在第一次印刷的集电极上重叠进行第二次以后的丝网印刷,因此,刮涂速度越快,糊和基底的印刷板脱离越好,糊的涂布量增大,所形成的集电极的膜厚变厚。
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公开(公告)号:CN103026480B
公开(公告)日:2016-05-04
申请号:CN201180036171.4
申请日:2011-06-03
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: H01L21/67 , F27B9/24 , H01L21/677 , H01L31/0224 , H01L31/18
CPC classification number: H01L31/18 , F27B9/243 , F27B17/00 , H01L21/67109 , H01L21/6776 , H01L31/022425 , H01L31/1864 , Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 公开了一种燃烧炉,用于烧制太阳能电池元件的电极,所述燃烧炉设置有:传送部件,其传送有导电膏涂于其上的衬底;加热区,其加热衬底并且烧制导电膏;以及冷却区,其冷却热衬底。该燃烧炉还设置有用于加热传送部件的加热装置。具体地,在使用线材型燃烧炉烧制导电膏时,由于线材是在基本等于加热区周围温度的温度上被烧制的,因此抑制了由于导电膏金属成分的沉积材料引起的电极损坏,所述沉积材料被沉积在线材上,以及所述线材型燃烧炉可以被连续使用。
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公开(公告)号:CN102356471B
公开(公告)日:2015-11-25
申请号:CN201080011928.X
申请日:2010-02-17
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: H01L31/042 , H01L31/05
CPC classification number: H01L31/042 , H01L31/02 , H01L31/0504 , Y02E10/50
Abstract: 本发明公开一种太阳能电池模块,在该太阳能电池模块中交替地提供了:装有具有受光面和非受光面的第一导电性基板,以及分别形成于受光面和非受光面上的具有互不相同的极性的电极的第一太阳能电池;以及装有具有受光面和非受光面的第二导电性基板,以及分别形成于受光面和非受光面上的具有互不相同的极性的电极的第二太阳能电池。
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公开(公告)号:CN102356471A
公开(公告)日:2012-02-15
申请号:CN201080011928.X
申请日:2010-02-17
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: H01L31/042
CPC classification number: H01L31/042 , H01L31/02 , H01L31/0504 , Y02E10/50
Abstract: 本发明公开一种太阳能电池模块,在该太阳能电池模块中交替地提供了:装有具有受光面和非受光面的第一导电性基板,以及分别形成于受光面和非受光面上的具有互不相同的极性的电极的第一太阳能电池;以及装有具有受光面和非受光面的第二导电性基板,以及分别形成于受光面和非受光面上的具有互不相同的极性的电极的第二太阳能电池。
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公开(公告)号:CN100530700C
公开(公告)日:2009-08-19
申请号:CN200480012530.2
申请日:2004-03-29
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: H01L31/04 , H01L21/318
CPC classification number: H01L31/0682 , H01L31/02167 , H01L31/068 , H01L31/1804 , H01L31/1868 , Y02E10/547 , Y02P70/521
Abstract: 在太阳能电池(100)中,具有半导体太阳能电池衬底(66),在该半导体太阳能电池衬底(66)中,其第1主表面上形成感光面,并且基于照射到该感光面的光,产生光电动势,上述半导体太阳能电池衬底(66)的感光面被感光面侧绝缘膜(61)覆盖,该感光面侧绝缘膜(61)是由阳离子成分的主体为硅的无机绝缘材料形成的,该感光面侧绝缘膜(61)由氧含量原子百分比小于10%的低氢含量的无机绝缘膜构成。由此,提供具有钝化效果优良,并且避免钝化效果伴随时间而变差的绝缘膜的太阳能电池。
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公开(公告)号:CN100411104C
公开(公告)日:2008-08-13
申请号:CN200580023942.0
申请日:2005-06-15
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: H01L21/28 , H01L21/288 , H01L31/04
CPC classification number: H01B1/16 , H01L31/022433 , Y02E10/50
Abstract: 本发明的电极材料,是至少含有银粉末、玻璃料和有机介质的电极材料,该电极材料的Ag含量,是75wt%以上95wt%以下,且该电极材料中的平均粒径0.5μm以上3μm以下的Ag粒子和平均粒径4μm以上8μm以下的Ag粒子的含量比(平均粒径0.5μm以上3μm以下的Ag粒子)∶(平均粒径4μm以上8μm以下的Ag粒子)=20~80wt%∶80~20wt%。本发明的太阳能电池,是具有以此电极材料所形成的电极的太阳能电池。藉此,可以提供一种电极材料,能稳定地充填至已经形成于半导体基板上的电极槽内,并容易形成线宽细且电阻损失小的电极;以及提供一种高输出的太阳能电池,具有以该电极材料所形成的电极。
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公开(公告)号:CN1274032C
公开(公告)日:2006-09-06
申请号:CN02804373.1
申请日:2002-01-30
Applicant: 信越半导体株式会社 , 信越化学工业株式会社
IPC: H01L31/068
CPC classification number: H01L31/035281 , H01L31/022425 , Y02E10/50
Abstract: 一种太阳能电池1具有许多互相平行地形成在硅单晶衬底的第一主要表面24a上的沟槽2。电极6形成在每个沟槽的一侧的内侧面上。每个沟槽形成在和第一主要表面24a上的 方向不一致的方向上。这样提高了太阳能电池1的机械强度。沟槽2的形成方向最好和最靠近该形成方向的 方向在锐角一侧交叉成4度到45度的角度。
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公开(公告)号:CN110073498B
公开(公告)日:2024-10-25
申请号:CN201680090602.8
申请日:2016-11-07
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: H01L31/0216 , H01L31/0224 , H01L31/068 , H01L31/18
Abstract: 本发明是一种太阳能电池,在结晶硅基板的第1主表面,配置具有p型导电型的p型区域、与具有n型导电型且赋予n型导电型的添加不纯物的基板深度方向的最大浓度为5×1018atoms/cm3以上的n型区域,以覆盖p型区域与n型区域的方式配置第1保护膜,在第1主表面的相反侧的表面即第2主表面,以覆盖第2主表面的方式配置第2保护膜的背面电极型太阳能电池,其特征是第1保护膜与第2保护膜是由包含氧化铝的化合物所构成的太阳能电池。由此,提供便宜且光电变换效率高的太阳能电池。
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