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公开(公告)号：CN106098582B
公开(公告)日：2019-04-09
申请号：CN201610628267.4
申请日：2016-08-03
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本发明公开了一种校准用在片电容标准件及其制备方法，涉及测试用计量装置技术领域。所述标准件包括绝缘衬底，所述绝缘衬底的上表面设有若干个电容值不同的标准电容和一个标准开路器。本发明所述在片电容标准件，可以实现对整体校准MEMS晶圆片测量系统在片电容参数的整体计量校准，实现量值溯源，确保MEMS生产过程中的晶圆片级测量结果准确、一致。该标准件能够提供具有溯源性的电容值（1pF～100pF，测试频率1kHz～100kHz），可以根据需要在上述量值范围内进行设计。
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公开(公告)号：CN205608168U
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201620421174.X
申请日：2016-05-11
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: G01R35/00
Abstract: 本实用新型公开了一种用于校准在片高值电阻测量系统的标准件，涉及计量技术领域。本实用新型的标准件包括衬底，在衬底上注入硼离子，在注入硼离子的衬底上设有若干对金属电极，每一对金属电极构成一个独立单元，在同一个衬底上的所有的金属电极的高度和长度相同，不同独立单元中的金属电极两个电极之间的间距均相等，金属电极的宽度是自同一衬底的行和列的一端开始呈递增或递减排列；衬底的外形尺寸及金属电极的外形尺寸和个数根据需要校准的目标阻值而定。本实用新型提出的标准件具有良好的重复性和长期稳定性，可以满足高值电阻测量系统计量校准的需要，确保量值准确一致。
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公开(公告)号：CN210427637U
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201921096413.9
申请日：2019-07-12
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: G01R1/04
Abstract: 本实用新型提供了一种直流稳定电源计量插头，包括电压长杆、套设于电压长杆上的绝缘套筒、套设于绝缘套筒上的电流套筒，及套设于电流套筒上的绝缘外壳；电压长杆的一端设有用于与直流稳定电源的插孔底端抵接并与所述插孔内壁接触的导电头，另一端用于电连接电压测试线路；绝缘套筒的一端外周壁设有与导电头抵接的第一凸台；电流套筒的一端与第一凸台抵接，另一端用于电连接电流测试线路。本实用新型提供的直流稳定电源计量插头，能够避免因电压测试取样端流过测试电流而产生过大的线路压降，影响电压测试精度的情况；能够同时引出电压、电流测试线，方便省力，提高了计量测试效率。
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公开(公告)号：CN205944041U
公开(公告)日：2017-02-08
申请号：CN201620833539.X
申请日：2016-08-03
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本实用新型公开了一种校准用在片电容标准件，涉及测试用计量装置技术领域。所述标准件包括绝缘衬底，所述绝缘衬底的上表面设有若干个电容值不同的标准电容和一个标准开路器。本实用新型所述在片电容标准件，可以实现对整体校准MEMS晶圆片测量系统在片电容参数的整体计量校准，实现量值溯源，确保MEMS生产过程中的晶圆片级测量结果准确、一致。该标准件能够提供具有溯源性的电容值（1pF～100pF，测试频率1kHz～100kHz），可以根据需要在上述量值范围内进行设计。
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