公开(公告)号：CN112666198A

公开(公告)日：2021-04-16

申请号：CN202010983847.1

申请日：2020-09-17

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： G.帕维亚 ,  D.唐豪瑟

IPC: G01N23/225 ,  G01N23/2251 ,  G01N23/2255 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

Abstract: 本文描述的发明涉及一种用于对物体进行分析、成像和/或处理的方法。而且，本文描述的发明涉及一种用于执行该方法的粒子束装置。该方法包括：在物体的区域上布置材料层，使用第一粒子束来生成材料层的第一图像，使用激光束和/或第二粒子束并且通过相对于这些部分层在移动方向上相对移动激光束和/或第二粒子束来烧蚀材料层的部分层，当烧蚀材料层的部分层时以如下方式调整激光束和/或第二粒子束的相对移动：材料层的第一部分层的第一厚度与材料层的第二部分层的第二厚度相同，并且在材料层已经被部分或完全烧蚀之后，使用第一粒子束来生成物体的区域的至少第二图像。

公开(公告)号：CN107850765B

公开(公告)日：2021-03-02

申请号：CN201680040196.4

申请日：2016-05-25

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： J.西本摩根

IPC: G02B21/00 ,  G02B21/08 ,  G02B21/16

Abstract: 本发明的目的是提供光束成形的组合件和方法，其适用于快速产生具有减小的厚度的光束或光层，以及提供光层显微技术的组合件，其确保检测步骤期间的增大的平行化，而不劣化轴向分辨率。该目的通过光束成形组合件来实现，其包括修改装置(8)，其配置为将不是衍射受限的光束(7)转换为不是衍射受限的修改的光束(10)，修改的光束沿着垂直于不是衍射受限的修改的光束的传播方向的直线具有N个主极大，其中N≥2。还公开了不是衍射受限的修改的光束的光束成形的对应方法和光层显微技术的组合件，其包含所主张的光束成形组合件。

公开(公告)号：CN112335013A

公开(公告)日：2021-02-05

申请号：CN201980043490.4

申请日：2019-06-07

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司 ,  卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： B.路易斯 ,  W.库恩 ,  D.夏 ,  S.麦克维 ,  U.曼茨

IPC: H01J49/00 ,  H01J49/14 ,  G01N27/62 ,  G01N23/2258 ,  H01L21/66

Abstract: 一种用来判定半导体结构的检测系统(1)。该检测系统具有离子束源(2)，用于用离子束(3)对要判定的结构进行空间解析展示。进一步，二次离子侦测装置(12)包括质谱仪(13)。该质谱仪(13)能够测量给定带宽内的离子质荷比。

公开(公告)号：CN107850543B

公开(公告)日：2021-01-15

申请号：CN201680044740.2

申请日：2016-07-27

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： 托马斯·卡尔克布伦纳 ,  拉尔夫·沃勒申斯基

IPC: G01N21/64 ,  G02B21/00 ,  G02B21/16 ,  G02B21/36 ,  G02B27/58

Abstract: 在用于建立数字荧光图像的方法中，将针对每个像素从物平面的发射光转换成分别配属于测量时间点的振幅(I)的序列，并且振幅(I)的序列以彼此错开了至少一个时间偏差(τ)的方式自相关，并且针对其中每个时间偏差(τ)形成特定的相关振幅(Kτ)，由该相关振幅(Kτ)求出总振幅。

公开(公告)号：CN112083563A

公开(公告)日：2020-12-15

申请号：CN202010516932.7

申请日：2020-06-09

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： 阿图尔·德根 ,  约翰尼斯·温特罗 ,  迈克尔·格莱斯

IPC: G02B21/04 ,  G02B21/24 ,  G02B21/02

Abstract: 本发明涉及用于显微镜的光学装置，借助该光学装置可以实现具有扩展景深的显微照片。光学装置包括用于联接至显微镜的物镜的第一光学接口和用于联接至显微镜的图像转换器的第二光学接口。光学装置被设计用于构造出从第一光学接口到第二光学接口的光路。光学装置包括至少局部凹入地构造的镜子和具有能机械运动的微镜的微系统。镜子在光路中布置在第一光学接口与微系统之间。镜子在光路中还布置在微系统与第二光学接口之间。根据本发明，光学装置还包括至少一个光学透镜，其布置在镜子与微系统之间。

公开(公告)号：CN112051669A

公开(公告)日：2020-12-08

申请号：CN202010509704.7

申请日：2020-06-05

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： T.埃格洛夫 ,  R.兰格 ,  A.谢普斯 ,  J.温特罗特

IPC: G02B27/00 ,  G02B21/00

Abstract: 本发明涉及一种校正束路径(3)中的中心误差和/或角度误差的光学布置和方法。束路径(3)在此包括光学补偿的系统(4)，在该光学补偿的系统中存在至少两个光学元件(5、6)且它们相对于彼此对准，使得光学元件(5、6)的成像像差被补偿。根据本发明，校正单元(8)布置在束路径(3)的无穷远空间中且布置在至少两个光学元件(5、6)之间，其中所述校正单元(8)改变辐射沿着束路径(3)传播的传播方向，且校正单元(8)具有反射表面或者被实施为对于辐射是透射的。校正单元(8)是可调节的，使得可以设定传播方向变化的角度。

公开(公告)号：CN111983794A

公开(公告)日：2020-11-24

申请号：CN202010407254.0

申请日：2020-05-14

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： 阿姆托尔·曼努埃尔 ,  哈泽·丹尼尔

IPC: G02B21/24 ,  G02B21/34 ,  G01N21/64

Abstract: 在用于自动聚焦显微镜的方法中，记录示出样品(62)和环境的概览图像(60)。图像处理算法在概览图像(60)中确定不是样品(62)本身的对象(61、63、64、66)的至少一个边界(61A，63A，64A，66A)。然后在所确定的边界(63A，66A)中的至少一个的位置(65)处确定聚焦设置。

公开(公告)号：CN108873285B

公开(公告)日：2020-11-24

申请号：CN201810735160.9

申请日：2014-07-18

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： I.克莱普 ,  Y.诺维考 ,  R.内茨 ,  M.戈勒斯 ,  G.洛伦茨 ,  C.尼滕

IPC: G02B21/00 ,  G02B21/36 ,  G02B6/06

Abstract: 本发明涉及一种用于对样本进行高分辨率扫描显微术的显微镜和方法，照亮样本，将扫描地导引通过样本的点光斑或线光斑成像为帧，光斑按成像比例衍射受限地成像为帧并且帧静止地处于探测平面内，针对扫描位置以位置分辨率检测帧，位置分辨率在考虑成像比例的情况下至少是衍射受限的帧的半值宽度的两倍，因此检测到帧的衍射结构，针对每个扫描位置分析帧的衍射结构，产生样本的图像，图像具有超过衍射极限的分辨率，提供测器阵列，探测器阵列具有像素并且大于帧，来自探测平面的帧的射线不成像地再分配到探测器阵列的像素上，设有再分配元件，探测光线至少部分地在其光谱组成方面有所区别，射线从所述至少两个再分配元件到达探测器阵列的像素。

公开(公告)号：CN111751970A

公开(公告)日：2020-10-09

申请号：CN202010222198.3

申请日：2020-03-26

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： R·沃特曼

IPC: G02B21/02 ,  G02B15/163 ,  G02B21/33 ,  G02B27/00

Abstract: 本发明涉及一种用于显微镜的物镜(1)，该物镜包括用于修正球面像差的能移动的透镜组，其中，如此设计能移动的透镜组，使得能移动的头巾组在垂直于光轴的方向上的偏移仅仅导致小的彗形像差。

公开(公告)号：CN111477530A

公开(公告)日：2020-07-31

申请号：CN201911363126.4

申请日：2019-12-25

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： D.蔡德勒 ,  A.L.埃伯利

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28

Abstract: 本发明披露了一种利用多束粒子显微镜对3D样本成像的快速方法。该方法包括以下步骤：提供该3D样本的层；确定包括在所述层中的特征的特征大小；基于所述层中的所确定的特征大小来确定像素大小；基于所确定的像素大小来确定所述层中的各个束之间的束间距大小；以及基于所确定的像素大小并且基于所确定的束间距大小，利用该多束粒子显微镜的设置对该3D样本的所述层成像。