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公开(公告)号：CN112051669B
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202010509704.7
申请日：2020-06-05
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本发明涉及一种校正束路径(3)中的中心误差和/或角度误差的光学布置和方法。束路径(3)在此包括光学补偿的系统(4)，在该光学补偿的系统中存在至少两个光学元件(5、6)且它们相对于彼此对准，使得光学元件(5、6)的成像像差被补偿。根据本发明，校正单元(8)布置在束路径(3)的无穷远空间中且布置在至少两个光学元件(5、6)之间，其中所述校正单元(8)改变辐射沿着束路径(3)传播的传播方向，且校正单元(8)具有反射表面或者被实施为对于辐射是透射的。校正单元(8)是可调节的，使得可以设定传播方向变化的角度。
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公开(公告)号：CN112051669A
公开(公告)日：2020-12-08
申请号：CN202010509704.7
申请日：2020-06-05
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本发明涉及一种校正束路径(3)中的中心误差和/或角度误差的光学布置和方法。束路径(3)在此包括光学补偿的系统(4)，在该光学补偿的系统中存在至少两个光学元件(5、6)且它们相对于彼此对准，使得光学元件(5、6)的成像像差被补偿。根据本发明，校正单元(8)布置在束路径(3)的无穷远空间中且布置在至少两个光学元件(5、6)之间，其中所述校正单元(8)改变辐射沿着束路径(3)传播的传播方向，且校正单元(8)具有反射表面或者被实施为对于辐射是透射的。校正单元(8)是可调节的，使得可以设定传播方向变化的角度。
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