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公开(公告)号:CN108873285B
公开(公告)日:2020-11-24
申请号:CN201810735160.9
申请日:2014-07-18
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本发明涉及一种用于对样本进行高分辨率扫描显微术的显微镜和方法,照亮样本,将扫描地导引通过样本的点光斑或线光斑成像为帧,光斑按成像比例衍射受限地成像为帧并且帧静止地处于探测平面内,针对扫描位置以位置分辨率检测帧,位置分辨率在考虑成像比例的情况下至少是衍射受限的帧的半值宽度的两倍,因此检测到帧的衍射结构,针对每个扫描位置分析帧的衍射结构,产生样本的图像,图像具有超过衍射极限的分辨率,提供测器阵列,探测器阵列具有像素并且大于帧,来自探测平面的帧的射线不成像地再分配到探测器阵列的像素上,设有再分配元件,探测光线至少部分地在其光谱组成方面有所区别,射线从所述至少两个再分配元件到达探测器阵列的像素。
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公开(公告)号:CN108873285A
公开(公告)日:2018-11-23
申请号:CN201810735160.9
申请日:2014-07-18
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本发明涉及一种用于对样本进行高分辨率扫描显微术的显微镜和方法,照亮样本,将扫描地导引通过样本的点光斑或线光斑成像为帧,光斑按成像比例衍射受限地成像为帧并且帧静止地处于探测平面内,针对扫描位置以位置分辨率检测帧,位置分辨率在考虑成像比例的情况下至少是衍射受限的帧的半值宽度的两倍,因此检测到帧的衍射结构,针对每个扫描位置分析帧的衍射结构,产生样本的图像,图像具有超过衍射极限的分辨率,提供测器阵列,探测器阵列具有像素并且大于帧,来自探测平面的帧的射线不成像地再分配到探测器阵列的像素上,设有再分配元件,探测光线至少部分地在其光谱组成方面有所区别,射线从所述至少两个再分配元件到达探测器阵列的像素。
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公开(公告)号:CN105612454A
公开(公告)日:2016-05-25
申请号:CN201480055894.2
申请日:2014-07-18
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
CPC classification number: G02B21/0072 , G02B6/06 , G02B21/0064 , G02B21/008 , G02B21/025 , G02B21/18 , G02B21/361 , G02B26/0816 , G02B26/0825 , G02B26/0833
Abstract: 本发明涉及一种用于对样本(2)进行高分辨率扫描显微术的显微镜和方法,其中,-照亮样本(2),-将至少一个扫描地导引通过样本(2)的点光斑或线光斑(14)成像为帧(17),其中,光斑(14)按成像比例衍射受限地成像为帧(17)并且帧(17)静止地处于探测平面(18)内,-针对不用的扫描位置以位置分辨率检测帧(17),所述位置分辨率在考虑成像比例的情况下至少是衍射受限的帧(17)的半值宽度的两倍,因此检测到帧(17)的衍射结构,-针对每个扫描位置分析帧(17)的衍射结构,并且产生样本(2)的图像,所述图像具有超过衍射极限的分辨率,其中,-提供测器阵列(24),所述探测器阵列具有像素(25)并且大于帧(17),并且-来自探测平面(18)的帧的射线不成像地再分配到探测器阵列(24)的像素(25)上,-其中,设有至少两个并行地受到探测光线加载的再分配元件,并且其中,探测光线至少部分地在其光谱组成方面有所区别,并且射线从所述至少两个再分配元件到达探测器阵列的像素。
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公开(公告)号:CN105556370B
公开(公告)日:2018-09-11
申请号:CN201480051234.7
申请日:2014-07-18
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: G02B21/00
Abstract: 本发明涉及一种用于对样本(2)进行高分辨率扫描显微术的显微镜和方法,所述显微镜具有‑用于对样本(2)进行照明的照明装置(3),‑成像装置(4),用于在样本(2)上扫描至少一个点光斑或线光斑(14)并且用于在考虑成像比例的条件下在探测层面(18)内将点光斑或线光斑(14)成像为衍射受限的、静止的单个图像(17),‑探测器装置(19),用于对于不同的扫描位置以位置分辨率采集探测层面(18)内的单个图像(17),所述位置分辨率在考虑成像比例的情况下在至少一个延伸/维度上至少是衍射受限的单个图像(17)的半值宽度的两倍,‑分析装置(C),用于根据探测器装置(19)的数据对于扫描位置分析单个图像(17)的衍射结构并且用于产生样本(17)的图像,所述图像的分辨率超过衍射极限,其中,‑探测器装置(19)具有:‑探测器阵列(24),所述探测器阵列具有像素(25)并且大于单个图像(17),和‑不成像的再分配元件(20‑21;30‑34;30‑35),其布置在探测器阵列(24)上游并且将来自探测层面(18)的射线以不成像的方式分配到探测器阵列(24)的像素(25)上,‑其中,在调整回路中,通过根据调整信号切换再分配元件和/或调节用于适配图像尺寸的变焦光学器件/聚焦光学器件和/或联合探测器阵列的单个像素来进行调整,‑其中,该调整包含了图像对比度和/或图像清晰度和/或信噪比来作为调整参量。
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公开(公告)号:CN105556370A
公开(公告)日:2016-05-04
申请号:CN201480051234.7
申请日:2014-07-18
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: G02B21/00
CPC classification number: G02B21/0072 , G02B6/08 , G02B15/14 , G02B21/0032 , G02B21/0076 , G02B21/008 , G02B21/361 , H04N7/183
Abstract: 本发明涉及一种用于对样本(2)进行高分辨率扫描显微术的显微镜和方法,所述显微镜具有-用于对样本(2)进行照明的照明装置(3),-成像装置(4),用于在样本(2)上扫描至少一个点光斑或线光斑(14)并且用于在考虑成像比例的条件下在探测层面(18)内将点光斑或线光斑(14)成像为衍射受限的、静止的单个图像(17),-探测器装置(19),用于对于不同的扫描位置以位置分辨率采集探测层面(18)内的单个图像(17),所述位置分辨率在考虑成像比例的情况下在至少一个延伸/维度上至少是衍射受限的单个图像(17)的半值宽度的两倍,-分析装置(C),用于根据探测器装置(19)的数据对于扫描位置分析单个图像(17)的衍射结构并且用于产生样本(17)的图像,所述图像的分辨率超过衍射极限,其中,-探测器装置(19)具有:-探测器阵列(24),所述探测器阵列具有像素(25)并且大于单个图像(17),和-不成像的再分配元件(20-21;30-34;30-35),其布置在探测器阵列(24)上游并且将来自探测层面(18)的射线以不成像的方式分配到探测器阵列(24)的像素(25)上,-其中,在调整回路中,通过根据调整信号切换再分配元件和/或调节用于适配图像尺寸的变焦光学器件/聚焦光学器件和/或联合探测器阵列的单个像素来进行调整,-其中,该调整包含了图像对比度和/或图像清晰度和/或信噪比来作为调整参量。
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