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发明公开
分析、成像和/或处理物体区域的方法及粒子束装置审中-实审

公开(公告)号：CN112666198A

公开(公告)日：2021-04-16

申请号：CN202010983847.1

申请日：2020-09-17

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： G.帕维亚 , D.唐豪瑟

IPC: G01N23/225 , G01N23/2251 , G01N23/2255 , H01J37/26 , H01J37/28

Abstract: 本文描述的发明涉及一种用于对物体进行分析、成像和/或处理的方法。而且，本文描述的发明涉及一种用于执行该方法的粒子束装置。该方法包括：在物体的区域上布置材料层，使用第一粒子束来生成材料层的第一图像，使用激光束和/或第二粒子束并且通过相对于这些部分层在移动方向上相对移动激光束和/或第二粒子束来烧蚀材料层的部分层，当烧蚀材料层的部分层时以如下方式调整激光束和/或第二粒子束的相对移动：材料层的第一部分层的第一厚度与材料层的第二部分层的第二厚度相同，并且在材料层已经被部分或完全烧蚀之后，使用第一粒子束来生成物体的区域的至少第二图像。

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