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公开(公告)号:CN107058974A
公开(公告)日:2017-08-18
申请号:CN201610847639.2
申请日:2012-10-09
申请人: 应用材料公司
发明人: 戴维·K·卡尔森
IPC分类号: C23C16/455
CPC分类号: H01J37/3244 , C23C16/45565 , C23C16/45574 , F17D1/04 , H01J37/32633 , Y10T137/6579 , Y10T137/85938 , Y10T137/87153 , Y10T137/87265 , Y10T137/87281 , Y10T137/87885
摘要: 一种与工艺腔室一起使用的气体分散设备,该气体分散设备包括:石英主体,该石英主体具有顶部、环和底板,该环耦接顶部的底表面,该底板具有多个分散孔相对于顶部耦接该环;多个石英板,所述多个石英板设置于顶部与底板之间,其中多个板被定位在彼此上方并间隔开来,以在多个板的每个板和该底板上方形成气室;多个石英管,所述多个石英管用以将气室耦接至多个分散孔,所述多个石英管的每个石英管具有设置于气室中的一个气室内的第一端,且所述多个石英管的每个石英管具有耦接分散孔中的一个分散孔的第二端;和多个导管,所述多个导管设置穿过该顶部,其中所述多个导管的每个导管耦接气室中的一个气室。
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公开(公告)号:CN103551088B
公开(公告)日:2016-12-07
申请号:CN201310464866.3
申请日:2008-11-12
申请人: 霍斯特·格罗霍夫斯基
发明人: 霍斯特·格罗霍夫斯基
CPC分类号: B01J8/002 , B01D53/08 , B01D53/8609 , B01D53/8631 , B01D2257/302 , B01D2257/404 , B01J8/003 , B01J8/0035 , B01J8/12 , B01J8/125 , B01J19/248 , B01J2208/00752 , B01J2208/00761 , B01J2208/00769 , Y10T137/0318 , Y10T137/87153
摘要: 流体处理设备,由多个并排设置且平行操作的松散材料床层组成,在松散材料床层中通过在松散材料床层的底端上去除松散材料部分量,并在松散材料床层的顶端给松散材料添加松散材料部分量,待处理的流体从下向上流过松散材料床层,松散材料以相对于流体的逆流从上向下穿过松散材料床层,在流体处理设备中松散材料床层通过共同的水平的装料通道连接,至少一个装料车通过装料通道在装料位置和松散材料床层上方的多个松散材料部分供给位置之间移动,装料车设有可选择地由松散材料阻隔机构封闭的松散材料出料口,多个松散材料床层上下重叠设置,用于给下面松散材料床层加料的装料管穿过上面的松散材料床层,最上面的松散材料床层的上方设有装料车。
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公开(公告)号:CN102822680B
公开(公告)日:2015-10-21
申请号:CN201180015876.8
申请日:2011-03-23
CPC分类号: B01L3/502715 , B01L3/527 , B01L2200/027 , B01L2300/0867 , B01L2300/123 , B01L2400/0478 , B01L2400/0487 , B01L2400/0605 , B01L2400/065 , B01L2400/0655 , G01N35/1097 , Y10T137/87153
摘要: 一种用于处理液体尤其是用于分析和/或合成液体的系统(1),包括:-具有至少一个功能单元(530)的流控单元(500);-至少一个第一类型的液体储存单元(130、230);-至少一个第二类型的液体储存单元(330、430);-第一液体管线(160、260),第一液体管线(160、260)连接所述至少一个第一类型的液体储存单元(130、230)和所述流控单元(500)以用于将液体(170、270)从所述第一类型的液体储存单元(130、230)供应至所述流控单元(500)中;和-第二液体管线(360、460),第二液体管线(360、460)连接所述第二类型的液体储存单元(330、430)和所述流控单元(500)以用于将液体(170、270)从所述流控单元(500)排放至所述第二类型的液体储存单元(330、430)中,其特征在于借助于第一阀门(150、250)至少有时阻止从所述流控单元(500)到所述第一类型的液体储存单元(130、230)的方向上的通过所述第一液体管线(160、260)的液体(170、270)流,并且借助于第二阀门(350、450)至少有时阻止在从所述第二类型的液体储存单元(330、430)到所述流控单元(500)的方向上的通过所述第二液体管线(360、460)的液体(170、270)流。
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公开(公告)号:CN102913492B
公开(公告)日:2015-09-30
申请号:CN201210271801.2
申请日:2012-08-02
申请人: 杉野机械股份有限公司
IPC分类号: F15B11/04
CPC分类号: F15B11/046 , F15B15/22 , Y10T137/794 , Y10T137/87153 , Y10T408/6757
摘要: 一中液压进给速率控制装置通过主活塞的推动将液体经进给速率调节装置和通道推送入蓄液室中,并调节上述往复运动的主体的进给速率;调节装置包括位于汽缸前端的第一和第二节流阀,并用于调节流入通道的液体的流速;主活塞包括一个整体移动的副活塞,用于开闭第二节流阀;副活塞包括契合于第二节流阀内并关闭该节流阀的外部边缘部分,形成于外部边缘部分的前端与后端之间的凹面部分,形成于副活塞的内部边缘部分的流通孔,连接后端和流通孔的后端部分排出孔,以及通过流通孔连接凹面部分的凹面部分排出孔。
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公开(公告)号:CN102421517B
公开(公告)日:2015-04-22
申请号:CN201080020044.0
申请日:2010-05-07
申请人: 国际商业机器公司
CPC分类号: B01J19/0046 , B01J2219/00367 , B01J2219/00527 , B01J2219/00743 , B01L3/0241 , B01L3/502707 , B01L2300/0874 , B01L2300/0887 , Y10T29/494 , Y10T137/0318 , Y10T137/0402 , Y10T137/2224 , Y10T137/8359 , Y10T137/8593 , Y10T137/87153 , Y10T137/87885
摘要: 本发明涉及一种多层微流体探头(MFP)(100)。所述探头一般包括彼此面对的第一层(110)和第二层(120),和从第一层(110)延伸的至少一个管端口(182)。所述第一层包括一个或多个通孔(112),其使得第一层朝向第二层流体连通。所述第二层包括至少一个微通道(124),实现至孔径(122)的流体连通。这样的多层MFP探头比单一结构的探头更容易制造。具体地说,微通道可被刻蚀为凹槽(124),其位于两层的界面的水平。所述MFP探头还可使用例如用于管端口的标准配件与管接口。本发明例如对于在表面上构图连续和不连续的生物分子的图案、以及在非接触模式直接处理抗蚀剂材料有显著能力。
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公开(公告)号:CN103551088A
公开(公告)日:2014-02-05
申请号:CN201310464866.3
申请日:2008-11-12
申请人: 霍斯特·格罗霍夫斯基
发明人: 霍斯特·格罗霍夫斯基
CPC分类号: B01J8/002 , B01D53/08 , B01D53/8609 , B01D53/8631 , B01D2257/302 , B01D2257/404 , B01J8/003 , B01J8/0035 , B01J8/12 , B01J8/125 , B01J19/248 , B01J2208/00752 , B01J2208/00761 , B01J2208/00769 , Y10T137/0318 , Y10T137/87153
摘要: 流体处理设备,由多个并排设置且平行操作的松散材料床层组成,在松散材料床层中通过在松散材料床层的底端上去除松散材料部分量,并在松散材料床层的顶端给松散材料添加松散材料部分量,待处理的流体从下向上流过松散材料床层,松散材料以相对于流体的逆流从上向下穿过松散材料床层,在流体处理设备中松散材料床层通过共同的水平的装料通道连接,至少一个装料车通过装料通道在装料位置和松散材料床层上方的多个松散材料部分供给位置之间移动,装料车设有可选择地由松散材料阻隔机构封闭的松散材料出料口,多个松散材料床层上下重叠设置,用于给下面松散材料床层加料的装料管穿过上面的松散材料床层,最上面的松散材料床层的上方设有装料车。
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公开(公告)号:CN103038867A
公开(公告)日:2013-04-10
申请号:CN201180007645.2
申请日:2011-04-25
申请人: 应用材料公司
IPC分类号: H01L21/3065 , H01L21/66
CPC分类号: H01L21/67253 , F16K37/00 , F16K37/0091 , G01F25/00 , Y10T29/53022 , Y10T137/8158 , Y10T137/87153 , Y10T137/87684 , Y10T137/877
摘要: 本发明涉及一种基板制程系统中用于校准多个气体流量的方法及装置。在一些实施例中,基板制程系统可包含群集工具,该群集工具包含:与中央真空传送腔室耦接的第一制程腔室及第二制程腔室;第一流量控制器,该第一流量控制器提供制程气体至该第一制程腔室;第二流量控制器,该第二流量控制器提供制程气体至该第二制程腔室;质量流量验证器,该质量流量验证器用以验证各别来自第一与第二流量控制器的流率;第一导管,该第一导管可选择性地使该第一流量控制器耦接至该质量流量验证器;以及第二导管,该第二导管可选择性地使该第二流量控制器耦接至该质量流量验证器。
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公开(公告)号:CN102822680A
公开(公告)日:2012-12-12
申请号:CN201180015876.8
申请日:2011-03-23
CPC分类号: B01L3/502715 , B01L3/527 , B01L2200/027 , B01L2300/0867 , B01L2300/123 , B01L2400/0478 , B01L2400/0487 , B01L2400/0605 , B01L2400/065 , B01L2400/0655 , G01N35/1097 , Y10T137/87153
摘要: 一种用于处理液体尤其是用于分析和/或合成液体的系统(1),包括:-具有至少一个功能单元(530)的流控单元(500);-至少一个第一类型的液体储存单元(130、230);-至少一个第二类型的液体储存单元(330、430);-第一液体管线(160、260),第一液体管线(160、260)连接所述至少一个第一类型的液体储存单元(130、230)和所述流控单元(500)以用于将液体(170、270)从所述第一类型的液体储存单元(130、230)供应至所述流控单元(500)中;和-第二液体管线(360、460),第二液体管线(360、460)连接所述第二类型的液体储存单元(330、430)和所述流控单元(500)以用于将液体(170、270)从所述流控单元(500)排放至所述第二类型的液体储存单元(330、430)中,其特征在于借助于第一阀门(150、250)至少有时阻止从所述流控单元(500)到所述第一类型的液体储存单元(130、230)的方向上的通过所述第一液体管线(160、260)的液体(170、270)流,并且借助于第二阀门(350、450)至少有时阻止在从所述第二类型的液体储存单元(330、430)到所述流控单元(500)的方向上的通过所述第二液体管线(360、460)的液体(170、270)流。
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公开(公告)号:CN102753868A
公开(公告)日:2012-10-24
申请号:CN201180009800.4
申请日:2011-02-14
申请人: 捷通国际有限公司
发明人: T.L.劳特曾海斯尔 , D.O.戈德弗雷伊 , M.E.米勒斯 , S.O.莫克 , R.B.拜斯马
CPC分类号: F16K15/18 , E03C1/04 , E03C2201/40 , F16K7/12 , Y10T137/0379 , Y10T137/0396 , Y10T137/2496 , Y10T137/7782 , Y10T137/7837 , Y10T137/7904 , Y10T137/87048 , Y10T137/87153 , Y10T137/87249
摘要: 一种阀系统,使得标准单管路水龙头能够与水处理系统一起使用,保护水处理系统和其他流体流动设备免于受到不必要的流体压力,以及响应于例如泄漏等特殊事件调节或者防止到分配器或者出口的流体流动。所述阀系统包括具有端口的壳体,所述端口用于(1)接收供应流体;(2)将流体供应到例如水处理系统等设备;(3)从所述设备接收流体;以及(4)将流体供应到分配器。所述阀系统还包括在所述壳体内的自动关闭设备,其在分配出口闭合时防止水流到所述壳体和所述水处理系统中,并且在所述出口开放时允许水经过所述壳体并流到所述水处理系统中。所述阀系统还可以包括连接到所述自动关闭阀的第二致动器,其能够将所述自动关闭阀移动到部分或完全闭合位置。
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公开(公告)号:CN102209815A
公开(公告)日:2011-10-05
申请号:CN200980144461.3
申请日:2009-11-06
申请人: 捷通国际有限公司
IPC分类号: E03C1/04
CPC分类号: E03C1/04 , E03C2201/40 , Y10T137/2496 , Y10T137/7782 , Y10T137/86493 , Y10T137/87153 , Y10T137/87249
摘要: 一种能够将水处理系统与标准单线一起使用的阀门系统(10)。所述阀门系统可以包括壳体(12),壳体具有口(14,16,20,22),用于接收未处理供水,向水处理系统供给水,从水处理系统接收已处理的水以及向分配器提供已处理的水。所述阀门系统包括自动截止设备(24),当放水水龙头关闭时,阻止水流入水处理系统,当水龙头打开时,允许水流入水处理系统。所述阀门系统可以包括压力释放机械装置(100)和检查阀门(25),当水龙头关闭时,压力释放机械装置去除水处理系统的压力,检查阀门用于在阀门系统中保持期望的压力量。
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