公开(公告)号：CN103038867A

公开(公告)日：2013-04-10

申请号：CN201180007645.2

申请日：2011-04-25

申请人： 应用材料公司

发明人： 詹姆斯·P·克鲁斯 ,  约翰·W·雷恩 ,  玛瑞斯科·格雷戈尔 ,  达科·巴库斯 ,  拜林·达兰 ,  克里·林恩·柯布 ,  明·徐 ,  安德鲁·源

IPC分类号： H01L21/3065 ,  H01L21/66

CPC分类号： H01L21/67253 ,  F16K37/00 ,  F16K37/0091 ,  G01F25/00 ,  Y10T29/53022 ,  Y10T137/8158 ,  Y10T137/87153 ,  Y10T137/87684 ,  Y10T137/877

摘要： 本发明涉及一种基板制程系统中用于校准多个气体流量的方法及装置。在一些实施例中，基板制程系统可包含群集工具，该群集工具包含：与中央真空传送腔室耦接的第一制程腔室及第二制程腔室；第一流量控制器，该第一流量控制器提供制程气体至该第一制程腔室；第二流量控制器，该第二流量控制器提供制程气体至该第二制程腔室；质量流量验证器，该质量流量验证器用以验证各别来自第一与第二流量控制器的流率；第一导管，该第一导管可选择性地使该第一流量控制器耦接至该质量流量验证器；以及第二导管，该第二导管可选择性地使该第二流量控制器耦接至该质量流量验证器。

公开(公告)号：CN103038867B

公开(公告)日：2016-03-16

申请号：CN201180007645.2

申请日：2011-04-25

申请人： 应用材料公司

发明人： 詹姆斯·P·克鲁斯 ,  约翰·W·雷恩 ,  玛瑞斯科·格雷戈尔 ,  达科·巴库斯 ,  拜林·达兰 ,  克里·林恩·柯布 ,  明·徐 ,  安德鲁·源

IPC分类号： H01L21/3065 ,  H01L21/66

CPC分类号： H01L21/67253 ,  F16K37/00 ,  F16K37/0091 ,  G01F25/00 ,  Y10T29/53022 ,  Y10T137/8158 ,  Y10T137/87153 ,  Y10T137/87684 ,  Y10T137/877

摘要： 本发明涉及一种基板制程系统中用于校准多个气体流量的方法及装置。在一些实施例中，基板制程系统可包含群集工具，该群集工具包含：与中央真空传送腔室耦接的第一制程腔室及第二制程腔室；第一流量控制器，该第一流量控制器提供制程气体至该第一制程腔室；第二流量控制器，该第二流量控制器提供制程气体至该第二制程腔室；质量流量验证器，该质量流量验证器用以验证各别来自第一与第二流量控制器的流率；第一导管，该第一导管可选择性地使该第一流量控制器耦接至该质量流量验证器；以及第二导管，该第二导管可选择性地使该第二流量控制器耦接至该质量流量验证器。