本发明涉及一种多层微流体探头(MFP)(100)。所述探头一般包括彼此面对的第一层(110)和第二层(120)，和从第一层(110)延伸的至少一个管端口(182)。所述第一层包括一个或多个通孔(112)，其使得第一层朝向第二层流体连通。所述第二层包括至少一个微通道(124)，实现至孔径(122)的流体连通。这样的多层MFP探头比单一结构的探头更容易制造。具体地说，微通道可被刻蚀为凹槽(124)，其位于两层的界面的水平。所述MFP探头还可使用例如用于管端口的标准配件与管接口。本发明例如对于在表面上构图连续和不连续的生物分子的图案、以及在非接触模式直接处理抗蚀剂材料有显著能力。