半导体器件、测试装置、以及测试方法

    公开(公告)号:CN101099087A

    公开(公告)日:2008-01-02

    申请号:CN200580045992.9

    申请日:2005-11-24

    CPC classification number: G01R31/3016 G01R31/31717

    Abstract: 本发明提供一种半导体器件,是测试设置在内部的被测配线的延迟时间的半导体器件。此半导体器件包括:循环路径,在路径上设置了被测配线;延迟元件,让输入信号只延迟规定时间;延迟选择部,用于切换是否在循环路径上连接延迟元件;循环延迟测试部,用于测量循环路径延迟时间;第1门延迟计算部,其从在循环路径上连接了延迟元件时的循环路径延迟时间,减去在循环路径上未连接延迟元件时的循环路径延迟时间,而计算出延迟元件的延迟时间;第2门延迟计算部,其基于延迟元件的延迟时间,而计算出在循环路径上连接的逻辑电路的延迟时间;以及,配线延迟计算部,用于计算被测配线的延迟时间。

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