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1.

发明公开
半导体器件、测试装置、以及测试方法无效

公开(公告)号：CN101099087A

公开(公告)日：2008-01-02

申请号：CN200580045992.9

申请日：2005-11-24

Applicant: 爱德万测试株式会社

Inventor： 山崎真 , 松村英宜

IPC: G01R31/317 , H01L27/04

CPC classification number: G01R31/3016 , G01R31/31717

Abstract: 本发明提供一种半导体器件，是测试设置在内部的被测配线的延迟时间的半导体器件。此半导体器件包括：循环路径，在路径上设置了被测配线；延迟元件，让输入信号只延迟规定时间；延迟选择部，用于切换是否在循环路径上连接延迟元件；循环延迟测试部，用于测量循环路径延迟时间；第1门延迟计算部，其从在循环路径上连接了延迟元件时的循环路径延迟时间，减去在循环路径上未连接延迟元件时的循环路径延迟时间，而计算出延迟元件的延迟时间；第2门延迟计算部，其基于延迟元件的延迟时间，而计算出在循环路径上连接的逻辑电路的延迟时间；以及，配线延迟计算部，用于计算被测配线的延迟时间。

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