一种亚米级光学球面曲率半径的测试方法及装置

    公开(公告)号:CN115265411A

    公开(公告)日:2022-11-01

    申请号:CN202210959644.8

    申请日:2022-08-11

    Abstract: 本发明为一种亚米级光学球面曲率半径的测试方法及装置,其克服了现有技术中存在的调整复杂,需要空间大,对环境要求高,不能同时测试多个元件的问题。光源照明具有一定特征尺寸的图案形成目标物,经待测光学球面一次反射成像,测试装置中的光学镜头二次成像,最终成像在相机光敏面上,本发明通过对相机采集到的图像处理分析,获得最终像的特征尺寸,将待测光学球面与测试系统中的光学镜头看作组合成像系统,计算出物、像特征尺寸总体比值,依据光学球面及光学镜头成像原理,计算出待测光学球面的曲率半径。测试装置包括特征目标物形成装置、光学镜头、相机、支架和上位机,特征目标形状装置与相机位于待测光学球面的同一侧。

    一种柔性近眼显示波导光机系统的制作方法

    公开(公告)号:CN113759458A

    公开(公告)日:2021-12-07

    申请号:CN202110904871.6

    申请日:2021-08-07

    Abstract: 本发明公开了一种柔性近眼显示波导光机系统的制作方法,包括:波导片;所述波导片由波导基底、耦入区域和耦出区域构成;所述波导片的一侧斜面位置设置有所述耦入区域,在所述耦入区域设置有用于折光以及成像的第一折光区域和第二折光区域,将光线折转于所述第二折光区域内,将光线折转于所述波导片内部;所述波导片中部为传输区域,光线全反射于所述波导片内部,最终传输进入所述耦出区域;所述波导片的另一侧设置有用于二维扩瞳的所述耦出区域;该方法设计合理、解决了工业量产技术问题、可以采用模板压印和材料喷覆技术实现柔性波导片的制作;制作生成的波导片具有一定的延展性和弯曲性,增加了工作场所的灵活性。

    一种氧化镓纳米晶薄膜日盲紫外探测器及其制备方法

    公开(公告)号:CN110676339A

    公开(公告)日:2020-01-10

    申请号:CN201910884320.0

    申请日:2019-09-19

    Abstract: 本发明涉及对于氧化镓纳米晶薄膜在日盲紫外光电探测方面的应用,具体涉及一种氧化镓纳米晶薄膜日盲紫外探测器及其制备方法。本发明采用单晶Si作为衬底,并采用电子束蒸发技术,在其上先沉积SiO2薄膜隔离层;然后再沉积Ga2O3薄膜日盲紫外吸收层,经过退火处理使吸收层形成纳米晶结构;再通过电子束蒸发及快速热处理技术将Au/Ti双层金属叉指电极制备于吸收层上,即可得到成本低廉、工艺要求简单、重复性好、可大规模制造且具有良好光电响应的日盲紫外光探测器件。

    选择性吸收增强的宽光谱多波段探测结构及其制备方法

    公开(公告)号:CN109887943A

    公开(公告)日:2019-06-14

    申请号:CN201910162591.5

    申请日:2019-03-05

    Abstract: 本发明涉及选择性吸收增强的宽光谱多波段探测结构及其制备方法,该选择性吸收增强的宽光谱多波段探测结构,包括可探测不同波段入射光的若干个亚像素单元,每个亚像素单元均由方井状的微结构阵列及其表面的金属下电极、光敏层和上电极构成,不同亚像素单元中的方井状的微结构尺寸及阵列间距根据其所在亚像素单元的探测波段确定,所述方井状的微结构上端开口内部中空构成谐振腔,同一亚像素单元内相邻的方井状的微结构之间构成谐振腔。本发明解决现有技术中的探测器结构无法同时实现可见光-近红外多波段吸收增强探测的问题。

    硅片上银纳米颗粒致密层的制备方法

    公开(公告)号:CN107460462B

    公开(公告)日:2019-03-19

    申请号:CN201710707061.5

    申请日:2017-08-17

    Abstract: 本发明涉及硅片上银纳米颗粒致密层的制备方法,步骤为:将硅片先后置于碱洗液和酸洗液浸泡使硅片表面羟基化;置于巯基丙基三甲氧基硅烷的甲苯溶液中反应使硅片硅烷化;先后分别置于硝酸银溶液和硼氢化钠溶液中以生成银籽晶;置于硝酸银和聚乙烯吡咯烷酮的混合溶液中,之后滴入抗坏血酸溶液以使银籽晶不断长大;重复多次后冲洗,并超声吹干。本发明借助于具有双功能的有机分子先将银籽晶固定于硅片上,之后原位还原得到银籽晶,再通过后期的多次循环生长,可得到致密的、均匀的银颗粒膜层,此金属颗粒膜层在SERS应用中,可以在较大的范围内(如微米范围)保持均匀的、较高的增强效果,而且此制备方法重复性好。

    一种钴掺杂氧化锌纳米棒的溶胶‑凝胶制备方法

    公开(公告)号:CN105314672B

    公开(公告)日:2017-04-05

    申请号:CN201510671945.0

    申请日:2015-10-15

    Abstract: 一种钴掺杂氧化锌纳米棒的溶胶‑凝胶制备方法,按照Zn1‑xCoxO的化学计量比,将二水乙酸锌和四水乙酸钴溶于乙二醇甲醚中,搅拌均匀,得到混合溶液;将乙醇胺滴加到混合溶液中,并在60~80℃搅拌下进行反应,反应完成后自然冷却至室温,得到澄清的钴掺杂氧化锌先驱体溶胶;将澄清的钴掺杂氧化锌先驱体溶胶干燥后,得到干凝胶,然后将干凝胶在空气气氛中进行热处理工艺,得到钴掺杂氧化锌纳米棒。本发明通过多组元反应均匀的溶胶‑凝胶方法制备钴掺杂氧化锌纳米棒,具有的工艺简单,反应温度低,成本低,实验过程易于控制,产物结晶度好、晶相纯的优点,且制得的钴掺杂氧化锌纳米棒在室温下具有铁磁性。

    制作超光滑聚合物表面的制备方法及其装置

    公开(公告)号:CN105731363A

    公开(公告)日:2016-07-06

    申请号:CN201610104758.9

    申请日:2016-02-25

    CPC classification number: B81C1/00468

    Abstract: 本发明公开了一种制作超光滑聚合物表面的制备方法及其装置。该方法是:在硫化锌等基底上车削出周期性刀痕获得粗糙表面样片;然后对获得的样片用丙酮浸泡,擦拭,冲洗,用高纯氮气吹干;最后在样片表面旋涂一层光刻胶薄膜;将一路干燥的高纯氮气通入光刻胶溶剂PGMEA中,并以鼓泡的方式将挥发的溶剂气体带出,和另一路干燥的高纯氮气在混气室内充分混合并加热后,吹拂到样片表面的光刻胶薄膜上,使得原本起伏和粗糙的表面发生粘性流动而趋于光滑。本发明无需特殊的加工条件和复杂的设备,克服了现有平坦化技术的缺点,可以有效简便地制备超光滑聚合物薄膜,提高了生产效率,制备出的薄膜可以作为牺牲层,应用于MEMS悬空器件制作和辅助刻蚀抛光技术。

    KDP光学表面平坦化方法
    48.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104923463A

    公开(公告)日:2015-09-23

    申请号:CN201510261654.4

    申请日:2015-05-21

    Abstract: 本发明涉及KDP光学表面平坦化方法。目前KDP晶体的超精密加工方法会在KDP晶体表面残留抛光液,在KDP晶体表面产生小尺度波纹,影响KDP晶体的光学表面质量。本发明以经过单点金刚石车削抛光后的KH2PO4 光学晶体材料作为加工对象,采用自旋涂胶的方法在KH2PO4 光学晶体材料的光学表面涂覆一层聚合物膜,再经真空热处理后在KH2PO4 光学晶体材料表面形成一层表面粗糙度低的聚合物层,聚合物层的上表面为平坦化表面。本发明在KDP表面形成一层机械性能良好、性质稳定、表面粗糙度低的聚合物膜,工艺过程简单,对设备要求低,成本低廉,在KDP光学表面可获得较好的平坦化效果,且应用前景可观。

    一种常温制备石墨烯的方法

    公开(公告)号:CN102275906B

    公开(公告)日:2012-12-26

    申请号:CN201110153147.0

    申请日:2011-06-09

    Abstract: 本发明涉及到石墨烯的制备技术领域,特别涉及一种常温制备石墨烯的方法。本发明要克服现有技术需要在高温工艺,以及与半导体工艺不兼容和污染环境的缺点。本发明提供的技术方案是,一种室温制备石墨烯的方法,依次包括下述步骤:(一)取氧化石墨烯溶解于溶剂中获得氧化石墨烯的溶液,(二)经过旋涂或者提拉工艺,在基片表面获得氧化石墨烯薄膜;(三)在常温和真空环境中,氧化石墨烯薄膜经过荷能氢原子/离子/分子处理,还原氧化物石墨烯,获得纯净的石墨烯。本发明的优点是:在室温和真空环境下即可制备石墨烯,摒弃了以往石墨烯制备需要的高温环境,降低了能耗;本发明的制备工艺和目前半导体工艺完全兼容。

    用于红外热成像探测器件的液晶盒

    公开(公告)号:CN102445277A

    公开(公告)日:2012-05-09

    申请号:CN201110304195.5

    申请日:2011-10-10

    Abstract: 本发明涉及一种用于红外热成像探测器件的液晶盒。基于液晶旋光效应的红外热成像探测器,其液晶本身的红外吸收低,很难将其作为红外敏感材料。本发明涉及的用于红外热成像探测器件液晶盒设置上基板、下基板、基板内侧的取向层、取向层之间夹设的液晶层以及密封环,上基板透红外且透可见,另一块透可见;取向层采用透红外和可见的聚合物材料制作而成,两个取向层上朝向液晶层的一侧分别设置有相互垂直的均布的平行沟槽,取向层上采用薄膜沉积的方式镀制有红外吸收层,红外吸收层采用对中远红外具有较好吸收特性的材料制作而成。本发明提高了薄膜的红外吸收率;提高了红外吸收的转化效率,提高了红外探测的灵敏度。

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