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公开(公告)号:CN102457264A
公开(公告)日:2012-05-16
申请号:CN201110255619.3
申请日:2011-08-31
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03K19/0175 , G01C19/5642
CPC classification number: H03F3/45179 , H03F1/26 , H03F3/08 , H03F3/45475 , H03F2200/261 , H03F2200/408 , H03F2200/411 , H03F2203/45528 , H03F2203/45594
Abstract: 信号电平转换电路、物理量检测装置以及电子设备。本发明提供可转换第1输入信号的信号电平而不会放大叠加在第2输入信号中的噪声的信号电平转换电路、使用该信号电平转换电路的物理量检测装置以及电子设备。信号电平转换电路(1)包括:第1差动放大电路(10)和第2差动放大电路(20)。第1差动放大电路(10)将第1输入信号与第2输入信号间的电位差变为G1倍并输出。第2差动放大电路(20)将第1差动放大电路(10)的输出信号与第2输入信号间的电位差变为G2倍并输出。这两个增益G1和G2满足G1×G2<0且0<-(G1+1)×G2<2的关系。
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公开(公告)号:CN1746623B
公开(公告)日:2010-07-21
申请号:CN200510104015.3
申请日:2005-09-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01C19/5628 , G01C19/5621
Abstract: 提供了一种用于支撑振动器1的结构。该结构包括基板12以及固定在基板12并与振动器1相连的连接线14A、14B。振动器1用连接线支撑,使得振动器1不直接接触基板12。“fd”和“fw”满足以下公式(1)。“fd”表示振动器的驱动振动模式的谐振频率,而“fw”表示在室温下连接线的振动模式的特征频率。(fd/2)×1.05≤fw,或者,(fd/2)×0.95 ……(1)
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公开(公告)号:CN111745633B
公开(公告)日:2024-03-22
申请号:CN202010223324.7
申请日:2020-03-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 菊池尊行
Abstract: 提供能够实现小型化的水平多关节机器人及机器人系统。水平多关节机器人,其特征在于,具备:基座;第一臂,与所述基座连接并绕第一轴转动;第二臂,与所述第一臂连接并绕与所述第一轴平行的第二轴转动;第三臂,与所述第二臂连接并绕与所述第一轴平行的第三轴转动,且沿所述第三轴移动;电机,设置于所述第二臂并驱动所述第三臂;以及力检测部,设置在所述电机与所述第二臂之间,并检测由所述电机的驱动引起的反作用力。
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公开(公告)号:CN115213925A
公开(公告)日:2022-10-21
申请号:CN202210403404.X
申请日:2022-04-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供具有优异的检测精度的力检测装置及机器人系统。力检测装置具有第一力传感器和第二力传感器、第一惯性传感器以及第二惯性传感器,所述第一力传感器和所述第二力传感器具备具有力检测轴的力检测元件,所述第一惯性传感器配置在所述第一力传感器的附近,所述第一惯性传感器的惯性检测轴沿着所述第一力传感器的所述力检测轴,所述第二惯性传感器配置在所述第二力传感器的附近,所述第二惯性传感器的惯性检测轴沿着所述第二力传感器的所述力检测轴。
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公开(公告)号:CN108458702A
公开(公告)日:2018-08-28
申请号:CN201810125332.0
申请日:2018-02-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5719 , G01C19/5733
Abstract: 本发明提供一种陀螺仪传感器、电子设备以及移动体,所述陀螺仪传感器包括:基板;第一驱动部;以及第一检测部和第二检测部,检测角速度,所述第一检测部具有:第一可动体,具备通过所述第一驱动部的振动而振动,并根据角速度发生位移的第一可动电极;以及第一固定电极,固定于所述基板,并与所述第一可动电极相对,所述第二检测部具有:第二可动体,具备通过所述第一驱动部的振动而振动,并根据角速度发生位移的第二可动电极;以及第二固定电极,固定于所述基板,并与所述第二可动电极相对,所述第一可动体和所述第二可动体通过第一连结部连结。
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公开(公告)号:CN102857190B
公开(公告)日:2016-05-25
申请号:CN201210215200.X
申请日:2012-06-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H3/02 , H03H9/21 , H03H2003/026 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种弯曲振动片、及其制造方法以及电子设备,所述弯曲振动片即使小型化也能够有效地去除由振动臂的面外振动而产生的振动泄漏。具备基部(2)、一对驱动用振动臂(3a、3b)、一对检测用振动臂(4a、4b)、驱动电极及检测电极的双侧音叉型弯曲振动片(1)具有,被形成在振动臂与基部之间的结合区域上的金属材料等的调节膜(6a、6b)。调节膜被形成为,包括:被形成在驱动用振动臂与基部之间的结合部上的锥形部(5a、5b)的区域(S1);靠近锥形部的、基部的区域(S2)以及驱动用振动臂的区域(S3)。在对当在驱动模式下激励了驱动用振动臂时由检测电极输出的检测电流进行监控的同时,所述调节膜通过激光照射等而被部分削除,从使该检测电流成为零。
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公开(公告)号:CN105444747A
公开(公告)日:2016-03-30
申请号:CN201510595038.2
申请日:2015-09-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5621
CPC classification number: G01C19/5607 , H03H9/21 , G01C19/5621
Abstract: 本发明提供一种抑制不必要的振动而生成稳定的斜向振动的振动片、角速度传感器、电子设备以及移动体。振动片(2)具备振动部(5),振动部(5)包含第一主面(511)、第二主面(512)、第一侧面(513)、第二侧面(514),且所述振动部(5)在第一方向(y)上延伸。振动部具有形成在第一主面的第一槽部(55)和形成在第二主面的第二槽部(56),从与第一主面正交的方向俯视观察时,第一槽部以及第二槽部在第二方向y上并且以向彼此的反方向偏移的方式设置。
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公开(公告)号:CN103487044A
公开(公告)日:2014-01-01
申请号:CN201310225878.0
申请日:2013-06-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/56
CPC classification number: H01L41/332 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , Y10T29/49155
Abstract: 本发明提供一种电子装置、电子设备、移动体、以及电子装置的制造方法,所述电子装置能够防止透过了振动元件等元件的激光对电路元件造成的损坏。所述电子装置的特征在于,具备作为元件的振动元件(20)和作为电路元件的半导体基板(10),所述振动元件(20)上设置有基部(21)、从基部(21)起延伸的支承部(27)、和作为质量调节部的调节用电极(124a、124b),振动元件(20)被配置于,在俯视观察时调节用电极(124a、124b)不与半导体基板(10)重叠的位置处,支承部(27)与半导体基板(10)相连接,从而振动元件(20)被搭载于半导体基板(10)上。
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公开(公告)号:CN102889888A
公开(公告)日:2013-01-23
申请号:CN201210251384.5
申请日:2012-07-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5705
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 一种振动陀螺元件、陀螺传感器及电子设备,其提高了振动陀螺元件的检测灵敏度。振动陀螺元件(1)具备从支承部(2)延伸的一对驱动用振动臂(3a、3b)和其相反侧的一对检测用振动臂(4a、4b),并具有:驱动模式,驱动用振动臂在面内方向反向地弯曲振动;第一检测模式,驱动用振动臂在面外方向以相互反向且与哥氏力的作用方向反相的方式弯曲振动,检测用振动臂在面外方向以相互反向且与驱动用振动臂反相的方式弯曲振动;第二检测模式,驱动用振动臂在面外方向以相互反向且与哥氏力的作用方向同相的方式弯曲振动,检测用振动臂在面外方向以相互反向且与驱动用振动臂同相的方式弯曲振动,各个检测用振动臂在第一检测模式和第二检测模式中以同相弯曲振动。
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