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公开(公告)号：CN108243379A
公开(公告)日：2018-07-03
申请号：CN201711379618.3
申请日：2017-12-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H04R17/00 , A61B8/00 , H01L41/047 , H01L41/08
CPC classification number: H01L41/0471 , B06B1/0207 , B06B1/0622 , B06B1/0644 , H01L41/0475 , H01L41/081 , H01L41/0973 , H01L41/1132 , H04R17/00 , A61B8/44 , A61B8/4483 , H01L41/047 , H01L41/0805
Abstract: 本发明涉及一种超声波器件以及超声波装置，振动部、第一电极、压电体和第二电极沿该顺序的层叠方向依次层叠，在从层叠方向的俯视观察下，第一电极的外周缘比压电体的外周缘大，压电体具备：能动部，设置于振动部内；以及引出部，与能动部连接，并跨过振动部的内外而设置，引出部的宽度尺寸比能动部的宽度尺寸小，第二电极设置于能动部以及引出部上。
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公开(公告)号：CN106103100B
公开(公告)日：2017-10-24
申请号：CN201580013130.1
申请日：2015-03-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14 , H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/187
CPC classification number: H01L41/183 , B06B1/0603 , B06B1/0644 , B41J2/04581 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2002/14491 , B41J2202/03 , H01L41/047 , H01L41/0815 , H01L41/0973 , H01L41/1875 , H01L41/318 , H01L41/319
Abstract: 一种压电元件，其中在基板(10)上依次层叠有第一电极(60)、压电体层(70)和第二电极(80)，所述压电体层(70)由至少含有Pb、Nb和Ti的具有钙钛矿结构的复合氧化物构成，其中构成压电体层(70)的晶体具有四方结构，并且所述晶体沿基板(10)是{100}取向，并且其中相对于层叠方向垂直的具有(100)面的区域和具有(001)面的区域在所述晶体的晶格内是混合的。
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公开(公告)号：CN104730525B
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201410799806.1
申请日：2014-12-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01N29/24
CPC classification number: G01N29/2437 , B06B1/0674 , G01L9/08 , G01N29/221 , G01N2291/02872 , G10K11/28
Abstract: 本发明提供一种能够提高超声波的传播效率的超声波传感器。该超声波传感器(1)的特征在于，具备形成有开口部(W)的基板(10)、以封闭开口部(W)的方式设置在基板(10)上的振动板(50)、以及由层叠在振动板(50)的与上述开口部相反侧的面上且包含第一电极(60)、压电体层(70)以及第二电极(80)的压电元件(300)，该超声波传感器(1)在振动板(50)的与开口部相反侧的面上的上述压电元件的周围的空间设置有反射层(71)，振动板以及压电元件的厚度按如下方式设定：相对于向测量对象物侧发送的发送超声波，使向与发送超声波不同的方向发送的其他超声波在压电元件与反射层之间的界面被反射而与发送超声波叠加。
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公开(公告)号：CN107028621A
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201710063956.X
申请日：2017-02-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: A61B8/00
CPC classification number: G01N29/24 , A61B8/4281 , A61B8/4427 , G01N29/2437 , G01N2291/101 , G01S7/52079 , H04R2400/00 , H04R2410/00 , H04R2499/11 , A61B8/4483 , A61B8/44 , A61B8/4444
Abstract: 本发明提供超声波换能器、超声波探头、超声波装置、超声波换能器的制造方法及振动装置，超声波换能器具备：形成有开口部(411A)的基板(411)；设在基板上(411)以堵塞开口部(411A)的振动膜(412)；执行振动驱动振动膜(412)的驱动处理以及检测振动膜(412)的振动的检测处理中的至少一个的元件且在沿振动膜(412)的厚度方向俯视时振动膜(412)与开口部(411)重叠的位置配置有多个的压电元件(413)；与振动膜(412)相对配置，用于支承振动膜(412)，与振动膜(412)相对的面是平坦面的密封板(42)；在俯视时，设在相邻的振动元件(413)之间，与振动膜(412)以及密封板(42)双方接合，由抑制振动膜(412)的振动的传递的树脂材料构成抑制部(43)。
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公开(公告)号：CN106025058A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610157590.8
申请日：2016-03-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/053 , H01L41/113 , H01L41/47
Abstract: 本发明提供超声波传感器及其制造方法，能够确保高可靠性。该超声波传感器具备：沿着XY平面的基板(10)；多个空间(12)，其沿X轴方向以及Y轴方向中的至少一个方向形成于基板；振动板(50)，其以封闭空间的方式设置于基板上，并具有靠基板侧的第1面(50a)以及与该第1面对置的第2面(50b)；压电元件(300)，其设置于振动板的第2面侧中的与空间对应的部分，发送以及/或者接收超声波；以及包围板(40)，其设置于振动板的第2面侧，并包围压电元件的周围的区域，在包围板的靠压电元件侧的面(40b)与振动板的第2面之间，并且在不与压电元件重叠的位置设置有支承部件(41)。
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公开(公告)号：CN104730525A
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201410799806.1
申请日：2014-12-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01N29/2437 , B06B1/0674 , G01L9/08 , G01N29/221 , G01N2291/02872 , G10K11/28 , B06B1/06
Abstract: 本发明提供一种能够提高超声波的传播效率的超声波传感器。该超声波传感器(1)的特征在于，具备形成有开口部(W)的基板(10)、以封闭开口部(W)的方式设置在基板(10)上的振动板(50)、以及由层叠在振动板(50)的与上述开口部相反侧的面上且包含第一电极(60)、压电体层(70)以及第二电极(80)的压电元件(300)，该超声波传感器(1)在振动板(50)的与开口部相反侧的面上的上述压电元件的周围的空间设置有反射层(71)，振动板以及压电元件的厚度按如下方式设定：相对于向测量对象物侧发送的发送超声波，使向与发送超声波不同的方向发送的其他超声波在压电元件与反射层之间的界面被反射而与发送超声波叠加。
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公开(公告)号：CN114504344B
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202111347427.5
申请日：2021-11-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明公开了压电致动器、超声波元件、超声波探针以及超声波装置，能够抑制不必要的频率的振动的出现。压电致动器具备：振动板，具有将设置于基板的开口部封闭的第一面和设置有多个压电元件的第二面；抑制部，抑制振动板的振动；以及多个立壁，从第一面向开口部延伸，在将第一电极、压电体层以及第二电极重叠的部分设为压电元件的有源部时，在从第一电极、压电体层以及第二电极的层叠方向俯视观察时，立壁设置于相邻的有源部之间，在与层叠方向正交的面内，相邻的立壁间的距离大于相邻的有源部间的距离。
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公开(公告)号：CN117322907A
公开(公告)日：2024-01-02
申请号：CN202310773627.X
申请日：2023-06-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及超声波探针及超声波系统，提供能够长期地安装于对象的超声波探针。超声波探针粘贴于对象并进行超声波测定。超声波探针具备：第一基板，包括由实施超声波的发送及接收中的至少一方的多个超声波元件阵列状地配置而成的超声波元件阵列，且超声波元件阵列配置于第一面；第二基板，与第一基板的与第一面相反的一侧的第二面对置而配置；以及壳体，将第一基板及第二基板容纳在内部，并在与超声波元件阵列相对应的位置处设置有供超声波穿过的开口，第二基板包括连接至多个超声波元件并能够与其他终端装置无线通信的通信部，该超声波探针的重量为150g以下。
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公开(公告)号：CN117298747A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202310771346.0
申请日：2023-06-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B01D43/00
Abstract: 一种流体装置以及流体装置的控制方法，能够稳定地捕获期望的大小的微粒。流体装置(10)具备：流路(20)，供含有微粒的流体流通；超声波发送部(60)，根据驱动信号的输入，对流路(20)内的流体发送超声波；流速测定部(40)，测定流路(20)中的流体的流速；以及控制部(70)，控制超声波发送部(60)，控制部(70)根据由流速测定部(40)测定到的流速即测定流速，设定驱动信号的振幅，将所设定的振幅的驱动信号向超声波发送部(60)输入。
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公开(公告)号：CN114076621B
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202110857422.0
申请日：2021-07-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供了能够提高超声波相对于流体的传递效率的流体设备。流体设备(10)具备：流路(20)，供流体(S)流通；以及超声波元件(44)，通过向流体发送超声波，使流路内的流体沿着与流体的流通方向正交的第一方向产生驻波(SW)，超声波元件具有：振动部(421)，具有与流体接触的流体接触面(422)；以及压电元件(43)，设置于振动部，使振动部向流体接触面的法线方向挠曲振动，在将法线方向上的振动部的厚度设为t，将流体的介质的音速设为C，将在振动部内传递的纵波的平均音速设为C’，将第一方向的流路的尺寸设为L，将驻波的模式次数设为n时，满足式
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