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公开(公告)号：CN213240205U
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN202021296096.8
申请日：2020-07-06
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
IPC: G01R1/02
Abstract: 本实用新型公开了一种绷环铁环兼容放置部及探针台。一种绷环铁环兼容放置部，用于放置绷环/铁环，用于放置绷环的环槽周围设置有多个突起，与环槽开口方向一致的所述多个突起能够止抵于放置的铁环边沿。一种探针台，包括上述的绷环铁环兼容放置部。绷环和铁环兼容放置，满足不同的测试要求，操作简单，使用方便。
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公开(公告)号：CN212586432U
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：CN202021955726.8
申请日：2020-09-09
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
Abstract: 本实用新型公开了电激元器件光信号采集装置、光参数测试装置及设备。所述电激元器件光信号采集装置包括，固定连接于机架的测试电极，用于对电激元器件导通电流；支撑部，沿第一方向正对应所述测试电极并沿第一方向运动连接于所述测试电极；采用将电激元器件主动靠近测试电极并导入电荷的方式，便于保证电激元器件相对于测试电极的平整度，从而保证测试的准确度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN211374831U
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN201922064690.8
申请日：2019-11-26
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
IPC: G01R1/04
Abstract: 本实用新型公开了一种载物台及探针台。所述载物台包括，竖直运动连接于第一连接部的放片部；第一连接部旋转连接于第二连接部；所述第一连接部相对于第二连接部旋转的旋转轴沿竖直方向；所述探针台包括所述载物台。使用所述载物台能够减小对放片部沿竖直方向运动控制的重量，提升对放片部沿竖直方向运动控制的精度，提升晶圆沿竖直方向运动的位置精度。
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公开(公告)号：CN222506404U
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202420078241.7
申请日：2024-01-11
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种LED测试用针座组件及探针台，涉及半导体检测技术领域，包括组件本体、摆动部和探针安装部。摆动部沿竖直方向开设上下分布的两个第一轴承安装孔，每个第一轴承安装孔中均设有第一支撑轴承，两个第一支撑轴承用于安装摆动轴；摆动部对应每个第一轴承安装孔设有第一抱紧避让槽，第一抱紧避让槽与对应的第一轴承安装孔连通，摆动部对应第一抱紧避让槽穿设有第一锁紧螺钉。通过拧紧第一锁紧螺钉，把第一支撑轴承紧密地固定在第一轴承安装孔内，实现第一支撑轴承与第一轴承安装孔之间的零间隙定位，在一定程度上消除第一支撑轴承的安装间隙，提高定位精度和稳定性；并且方便第一支撑轴承和摆动轴的安装与拆卸。
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公开(公告)号：CN220231499U
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202320824385.8
申请日：2023-04-06
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
Abstract: 本实用新型公开一种同轴光检测装置，其包括载片台、盒体、灯板、导光组件、检测组件和半反半透镜片，载片台形成用于放置工件的放置区；盒体内形成相互连通的光源腔和检测腔，盒体的顶端和底端分别开设有透光口和反光口；灯板设置有多个灯珠；导光组件包括多个排布在灯板上的遮光套筒，遮光套筒包括相对设置的入光端和出光端，出光端开设有出光口，入光端安装于灯板，各灯珠外均罩设有一遮光套筒，遮光套筒的横截面积自入光端向出光端的方向呈渐扩设置；检测组件包括相机和检测单元，相机位于盒体的上方，半反半透镜片设置于检测腔内。本实用新型的同轴光检测装置增加了从反光口射出光线的亮度，以使相机能够拍出更加清晰的图像。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN218300347U
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202222668537.8
申请日：2022-10-11
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司(CN)
IPC: H01R13/426 , H01R13/42
Abstract: 本实用新型涉及一种调节针座，其包括底板、针座、支架以及推杆，针座滑动连接于底板，针座用于安装探针；支架安装在底板上；推杆转动连接于支架，推杆被配置为相对于支架转动，且转动至预设位置的推杆能够推动针座相对于底板移动。上述调节针座，将支架安装在底板上，针座和底板滑动连接，在针座上安装有探针，推杆和支架转动连接，推杆被配置为相对于支架转动，从而使推杆转动至预设位置且抵接于针座，推杆继续转动从而推动针座移动，针座移动进而带动探针移动，拉开了探针和调节针座上其余针座上的探针之间的间距，增大了换针空间，避免了在换针过程中探针之间的碰撞，降低了换针难度，提高了换针效率。
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公开(公告)号：CN217739376U
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202220696724.4
申请日：2022-03-29
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种弹性压料组件、针座及探针台；一种弹性压料组件，所述弹性压料组件包括，安装块，设置有第一连接部；以及枢接于安装块的压料块，设置有第二连接部；所述第二连接部通过第一弹簧连接于第一连接部，使压料块在第一弹簧作用下能够沿枢接轴线旋转；所述安装块还设置有限位部，压料块沿第一弹簧驱动的旋转方向止抵于限位部；应用所述弹性压料组件的针座，以及应用所述弹性压料组件或针座的探针台；利用第一弹簧作为缓冲装置取代气缸，提升弹性压料组件的使用寿命。
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公开(公告)号：CN215833436U
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN202121266451.1
申请日：2021-06-08
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
Abstract: 本实用新型涉及一种压电陶瓷式针座及探针台。所述压电陶瓷式针座用于对芯粒进行扎针测试；所述压电陶瓷式针座包括基部和探针部，所述探针部用于安装对芯粒进行测试的探针，所述探针部通过压电陶瓷驱动器连接于基部；并在垂直于压电陶瓷驱动器分别连接于探针部和基部的连线方向，对压电陶瓷驱动器连接有电信号；通过对所述压电陶瓷驱动器的电信号控制，实现对探针部相对基部运动的控制，使探针止抵芯粒/远离芯粒；所述探针台设置有所述压电陶瓷式针座。探针的运动控制精度高，针痕一致性稳定，芯粒测试结果准确可靠。
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公开(公告)号：CN215833435U
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN202121266443.7
申请日：2021-06-08
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
Abstract: 本实用新型提出一种针座及探针台。一种针座，包括探针安装部，所述探针安装部用于安装测试探针，所述探针安装部设置有限位槽，以及沿垂直于限位槽延伸方向设置的锁紧螺纹孔；所述针座还包括与锁紧螺纹孔螺接的锁紧螺杆，所述锁紧螺杆的螺帽设置有让位切口；在锁紧螺杆拧入锁紧螺纹孔时，测试探针能够经让位切口置入限位槽，旋转锁紧螺杆使螺帽抵紧测试探针；一种应用所述针座的探针台；测试探针更换方便，测试探针安全可靠固定于探针安装部。
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公开(公告)号：CN222190696U
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN202420700562.6
申请日：2024-04-07
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
IPC: H01L21/687
Abstract: 本实用新型涉及一种用于承载芯片的承载台，包括承载台、定位模组和调节模组，承载台设有芯片放置位，能够放置芯片，定位模组包括定位块和压爪，定位块设于芯片放置位的周侧，定位块能够对芯片放置位中的芯片实现限位，调节模组包括锁止压块、支座和转轴，锁止压块设于承载台的滑轨上并能够沿滑轨滑动，支座设于承载台，转轴可转动设置于支座，转轴位于芯片放置位的侧边，压爪设于转轴上，压爪能够随转轴转动以抵住或远离芯片位置位中的芯片，锁止压块通过滑动以对转轴的转动实现锁止或松开。调节锁止压块能够使转轴转动，进而带动压爪抵住或者远离芯片，以实现在芯片测试过程中对芯片进行定位，从而提高加工芯片的效率。
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