弹性波装置
    42.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106031034A

    公开(公告)日:2016-10-12

    申请号:CN201580010023.3

    申请日:2015-03-04

    CPC classification number: H03H9/02921 H03H9/02574 H03H9/02637 H03H9/14541

    Abstract: 本发明提供一种难以产生由静电造成的静电击穿的弹性波装置。弹性波装置(1)具备:压电基板(2);第一电介质膜(3),形成在上述压电基板(2)上;以及IDT电极(4),层叠在上述第一电介质膜(3)上,上述压电基板(2)的电阻率为上述第一电介质膜(3)的电阻率以下,且该第一电介质膜(3)的电阻率为1×1014Ω·cm以下。

    弹性波装置
    44.
    实用新型

    公开(公告)号:CN210807199U

    公开(公告)日:2020-06-19

    申请号:CN201922396443.8

    申请日:2019-12-26

    Abstract: 本实用新型提供一种能够有效地抑制压电体层的破损以及剥离的弹性波装置。弹性波装置(1)具备:支承基板(2),具有中央区域(A)和位于中央区域周围的周围区域(B);氧化硅膜(5),被直接或者间接地设置于支承基板上的中央区域,具有侧面(5c);压电体层(6),被设置于氧化硅膜上,具有相互对置的第1主面(6a)以及第2主面(6b);激发电极,被设置于压电体层的第1主面以及第2主面之中的至少一方;覆盖膜(14),被设置为覆盖氧化硅膜的侧面的整面;树脂层(15),被设置于支承基板上的周围区域,被设置为从覆盖膜的上方覆盖氧化硅膜的侧面;和布线电极(13),与激发电极电连接,从压电体层上抵达树脂层上。

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