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公开(公告)号：CN102111121A
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：CN201010605965.5
申请日：2010-12-23
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
CPC classification number: H03H9/14541
Abstract: 本发明提供一种弹性波装置，即使放置在高温下，也能够抑制电阻的增大及频率特性的恶化，且能够抑制耐电力试验的特性的恶化。弹性波装置(1)具有在压电基板(2)上形成的IDT电极(3)，IDT电极(3)由将多个金属膜层叠而成的层叠金属膜构成，该层叠金属膜具有由Al或Al基合金构成的第一金属膜(3b)、由与所述第一金属膜不同的金属或合金构成的第二金属膜(3e)以及配置于所述第一、第二金属膜间的Cu膜(3c)及Ti膜(3d)，Cu膜(3c)及Ti膜(3d)中的Cu膜(3c)配置于第一金属膜(3b)侧。
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公开(公告)号：CN1487667A
公开(公告)日：2004-04-07
申请号：CN03154388.X
申请日：2003-08-21
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明提供一种谐振器型表面波滤波器，它能够变更一直不引起传送特性的变化，而且将电极指的总对数规定为恒定的输出输入阻抗。该谐振器型的表面波滤波器1在压电基片2上形成输入IDT3，输出IDT4，以及第1、第2反射器(5、6)，在将输入IDT的电极指的对数规定为Ni，将输出IDT的电极指的对数规定为No，将输入IDT3和第1反射器5之间的间隙的大小规定为Gri，将输出IDT4和第2反射器6之间的间隙的大小规定为Gro时，为了具有与作为Ni＝No且Gri＝Gro的虚拟的表面波滤波器同等的传送特性，使Ni和No不相同，而且使Gri和Gro不相同。
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公开(公告)号：CN106031034A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201580010023.3
申请日：2015-03-04
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
CPC classification number: H03H9/02921 , H03H9/02574 , H03H9/02637 , H03H9/14541
Abstract: 本发明提供一种难以产生由静电造成的静电击穿的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电基板(2)；第一电介质膜(3)，形成在上述压电基板(2)上；以及IDT电极(4)，层叠在上述第一电介质膜(3)上，上述压电基板(2)的电阻率为上述第一电介质膜(3)的电阻率以下，且该第一电介质膜(3)的电阻率为1×1014Ω·cm以下。
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公开(公告)号：CN105284047A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201480030215.6
申请日：2014-05-27
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
CPC classification number: H03H9/25 , H03H9/02535 , H03H9/02992 , H03H9/1457
Abstract: 提供不会招致制造工序的烦杂以及成本的上升、能有效果地压抑横模脉动的弹性波装置。在弹性波装置(1)中，在压电基板(2)上设置IDT电极(3)，在IDT电极(3)中，在第1、第2电极指(13、14)的至少一方，在比中央区域更靠基端侧以及前端侧当中至少一方侧设置相比于长度方向中央让宽度方向尺寸更大的加宽部(13a～13d、14a～14d)，第1以及第2汇流条(11、12)的至少一方具有沿着汇流条长度方向分散配置的多个开口部(15)，第1以及第2汇流条(11、12)的至少一方具有：内侧汇流条部(11A)，其位于比开口部(15)更靠第1或第2电极指(13、14)侧的位置，在第1以及第2汇流条(11、12)的长度方向上延伸；中央汇流条部(11B)，其设有开口部(15)；和外侧汇流条部(11C)。
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公开(公告)号：CN1469546A
公开(公告)日：2004-01-21
申请号：CN03142323.X
申请日：2003-06-13
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/64
CPC classification number: H03H9/0028 , H03H9/02889 , H03H9/02905 , H03H9/6459
Abstract: 一种表面波装置，表面波装置(1)，在表面波基板(2)上，以构成2段结构的滤波装置的方式形成第1、第2表面波滤波元件(3)、(4)，并通过在连接第1、第2表面波滤波元件(3)、(4)的段间连接部(10)的内部形成贯通孔(10a)，来设置自由表面部分(16)。这种表面波装置，不会导致制造工序的繁琐性以及大型化，并且不容易产生因相邻接的表面波元件间的表面波的传播而导致的特性变坏。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119422328A
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202380052426.9
申请日：2023-06-09
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种能够提高IDT电极的电极指的耐功率性并且降低电阻的弹性波装置。本发明的弹性波装置具备压电性基板（2）和设置在压电性基板（2）上的IDT电极（7）。IDT电极（7）具有设置在压电性基板（2）上的密接层（12）、设置在密接层（12）上的Cu‑Al合金层（13）、以及设置在Cu‑Al合金层（13）上并且Al的重量百分比浓度[wt%]比50wt%高的Al电极层（14）。Cu‑Al合金层（13）以及Al电极层（14）为外延层。Cu‑Al合金层（13）的厚度为Cu‑Al合金层（13）以及Al电极层（14）的厚度合计的40%以下。
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公开(公告)号：CN108292913A
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201680069692.2
申请日：2016-12-13
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
CPC classification number: H03H9/145
Abstract: 提供一种能够减小IDT电极的交叉区域中的膜厚的偏差的影响并且能够充分地抑制横模乱真的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：第1质量附加膜(5a)，被设置在第1电介质膜(4)上以使得在俯视的情况下与IDT电极(3)的多根第1以及第2电极指(3a2、3b2)重叠，沿着各第1以及第2电极指(3a2、3b2)延伸的方向延伸，并且被设置于中央区域(A1)；和第2以及第3质量附加膜(5b、5c)，被设置在第1电介质膜(4)上，并且被设置于第1以及第2边缘区域(A2a、A2b)，一部分在俯视的情况下与第1以及第2电极指(3a2、3b2)之中的至少一方重叠。第2以及第3质量附加膜(5b、5c)的沿着弹性波传播方向的尺寸比第1质量附加膜(5a)的沿着弹性波传播方向的尺寸长。
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公开(公告)号：CN103329437B
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201180065346.4
申请日：2011-12-28
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/64 , H01L41/1873 , H03H9/02559 , H03H9/02834 , H03H9/14541 , H03H9/54 , H03H9/6483 , H03H9/725
Abstract: 提供具有陡峭的滤波器特性、并且通带宽且抑制了通带内的脉动的弹性表面波滤波器装置。弹性表面波滤波器装置（1）利用瑞利波作为主模，具备梯型弹性表面波滤波器部（20）。构成串联臂谐振器的弹性表面波谐振器（30）的电介质层（33）的厚度（t1）与构成并联臂谐振器的弹性表面波谐振器（40）的电介质层（43）的厚度（t2）不同。构成串联臂谐振器的弹性表面波谐振器（30）中的弹性表面波的传播方位（A1）与构成并联臂谐振器的弹性表面波谐振器（40）中的弹性表面波的传播方位（A2）不同。
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公开(公告)号：CN103329437A
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN201180065346.4
申请日：2011-12-28
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/64 , H01L41/1873 , H03H9/02559 , H03H9/02834 , H03H9/14541 , H03H9/54 , H03H9/6483 , H03H9/725
Abstract: 提供具有陡峭的滤波器特性、并且通带宽且抑制了通带内的脉动的弹性表面波滤波器装置。弹性表面波滤波器装置（1）利用瑞利波作为主模，具备梯型弹性表面波滤波器部（20）。构成串联臂谐振器的弹性表面波谐振器（30）的电介质层（33）的厚度（t1）与构成并联臂谐振器的弹性表面波谐振器（40）的电介质层（43）的厚度（t2）不同。构成串联臂谐振器的弹性表面波谐振器（30）中的弹性表面波的传播方位（A1）与构成并联臂谐振器的弹性表面波谐振器（40）中的弹性表面波的传播方位（A2）不同。
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