公开(公告)号：CN102111121A

公开(公告)日：2011-06-29

申请号：CN201010605965.5

申请日：2010-12-23

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 玉崎大辅 ,  津田基嗣 ,  山崎央 ,  佐伯昌彦 ,  堀川晴信

IPC: H03H9/25

CPC classification number: H03H9/14541

Abstract: 本发明提供一种弹性波装置，即使放置在高温下，也能够抑制电阻的增大及频率特性的恶化，且能够抑制耐电力试验的特性的恶化。弹性波装置(1)具有在压电基板(2)上形成的IDT电极(3)，IDT电极(3)由将多个金属膜层叠而成的层叠金属膜构成，该层叠金属膜具有由Al或Al基合金构成的第一金属膜(3b)、由与所述第一金属膜不同的金属或合金构成的第二金属膜(3e)以及配置于所述第一、第二金属膜间的Cu膜(3c)及Ti膜(3d)，Cu膜(3c)及Ti膜(3d)中的Cu膜(3c)配置于第一金属膜(3b)侧。

公开(公告)号：CN1246959C

公开(公告)日：2006-03-22

申请号：CN02160503.3

申请日：2002-12-27

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 中川原修 ,  佐伯昌彦 ,  井上和裕

IPC: H03H9/25 ,  H03H3/08

CPC classification number: H03H9/02929 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49126 ,  Y10T29/49128 ,  Y10T29/4913 ,  Y10T29/49135 ,  Y10T29/49155

Abstract: 提供改善电极的抗应力迁移性，从而耐电性优良的声表面波元件。例如为了在θ旋转Y切割(θ＝36°～42°)的LiTaO3压电基片(2)上形成电极(3)，形成将Ti或Cr作为主成分的基底电极层(5)后，在其上形成将Al作为主成分的Al电极层(4)。Al电极层(4)是外延生长的取向膜，而且成为具有双晶结构的多晶膜，该结构在X射线衍射极点图中观察的衍射图案具有多个对称中心。

公开(公告)号：CN1430330A

公开(公告)日：2003-07-16

申请号：CN02160503.3

申请日：2002-12-27

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 中川原修 ,  佐伯昌彦 ,  井上和裕

IPC: H03H9/25 ,  H03H3/08

CPC classification number: H03H9/02929 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49126 ,  Y10T29/49128 ,  Y10T29/4913 ,  Y10T29/49135 ,  Y10T29/49155

Abstract: 提供改善电极的抗应力迁移性，从而耐电性优良的声表面波元件。例如为了在θ旋转Y切割(θ＝36°～42°)的LiTaO3压电基片(2)上形成电极(3)，形成将Ti或Cr作为主成分的基底电极层(5)后，在其上形成将Al作为主成分的Al电极层(4)。Al电极层(4)是外延生长的取向膜，而且成为具有双晶结构的多晶膜，该结构在X射线衍射极点图中观察的衍射图案具有多个对称中心。