公开(公告)号：CN112997031A

公开(公告)日：2021-06-18

申请号：CN201980071903.X

申请日：2019-10-18

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 相川献治 ,  中田知宏 ,  稻田敏之 ,  原田章弘 ,  松田隆博 ,  篠原努

IPC: F16K27/00

Abstract: 提供一种流体控制装置和流体装置的制造方法，该流体控制装置在不减少流体的供给流量的情况下实现了进一步的小型化、集成化，也削减了组装工时。流体控制装置具有：接头块(20)，其划定在上表面开口的流体流路，并且在底面侧具有卡合部；支承构件(50)，其利用引导部(55)允许接头块(20)向长度方向的移动并且将该接头块(20)约束于该支承构件(50)的上表面；以及流体设备，其固定于接头块(20)的上表面，在该流体控制装置中，在支承构件(50)以柱塞(500)的顶端部从支承构件的上表面突出的方式设置一个以上的柱塞(500)，在接头块的底面设有凹部，该凹部与所述柱塞(500)的顶端部卡合，由此，对接头块(20)的长度方向上的位置进行定位。

公开(公告)号：CN112469934A

公开(公告)日：2021-03-09

申请号：CN201980049272.1

申请日：2019-06-18

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 佐藤龙彦 ,  中田知宏 ,  篠原努 ,  三浦尊

IPC: F16K7/17

Abstract: 本发明提供一种能够改善密封性能、小型化并且更加稳定地控制较大的流量的阀装置。所述阀装置具有：阀体(2)；筒状构件(3)，其设于收纳凹部(23)内且与第1流路(21)连通；阀座(48)，其由筒状构件(3)支承；密封构件(49)，其介于收纳凹部(23)的底面的第1流路(21)的开口周围与筒状构件(3)的下端部之间；环状板(11)，其气密或液密地固定于在阀体(2)的收纳凹部(23)的内周面形成的环状的支承部(24)且气密或液密地固定于在筒状构件(3)的外周面形成的环状的支承部(37)，具有与第2流路(22)连通的多个开口，且具有挠性；以及隔膜(41)，其通过在相对于阀座(48)不接触的开位置以及相对于阀座(48)接触的闭位置之间移动而进行第1流路(21)和第2流路(22)之间的连通以及切断。

公开(公告)号：CN112334696A

公开(公告)日：2021-02-05

申请号：CN201980043717.5

申请日：2019-05-17

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 铃木裕也 ,  丹野竜太郎 ,  土口大飞 ,  中村伸夫 ,  篠原努

IPC: F16K37/00 ,  F16K7/12

Abstract: 提供一种能够事先避免由于隔膜的破损而隔膜阀内的流体向外部漏出的隔膜阀。该隔膜阀具有：阀体(10)，其划定供流体流通的流路(11)和在该流路的中途向外部开口的开口部(12)；挠性分隔壁构件(21)，其覆盖开口部(12)并将流路(11)和外部隔开，且改变流路(11)的截面积；挠性支承构件(22)，其配置于挠性分隔壁构件(21)的与流路侧相反的背面侧；壳体(41)，其隔着挠性分隔壁构件(21)的周缘部和挠性支承构件(22)的周缘部而固定于阀体(10)；以及湿度传感器(100)，其检测挠性支承构件(22)和壳体(41)的内表面所划定的空间内的气氛的状态或该状态的变化。

公开(公告)号：CN111919053A

公开(公告)日：2020-11-10

申请号：CN201880091000.3

申请日：2018-03-09

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 吉田俊英 ,  篠原努 ,  中田知宏 ,  丹野竜太郎 ,  西野功二 ,  杉田胜幸 ,  滝本昌彦

IPC: F16K31/02 ,  F16K31/122

Abstract: 本发明提供能够更加简单地对打开阀时的流量进行调整的阀装置。阀装置(1)具有：阀体(10)，在其内部形成有第1流路(12)以及第2流路(13)；阀芯(20)，其通过关闭第1流路的开口而将第1流路和第2流路切断，并且通过打开第1流路的开口而使第1流路和第2流路连通；操作构件(40)，其使阀芯在关闭开口的闭位置与打开开口的开位置之间移动；以及调整致动器(100)，其限定操作构件的开位置，并且具有由根据电场的变化而发生变形的化合物形成的电驱动材料，通过电驱动材料的变形而使所限定的开位置发生变化。

公开(公告)号：CN111433496A

公开(公告)日：2020-07-17

申请号：CN201880077575.X

申请日：2018-11-13

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 渡边一诚 ,  执行耕平 ,  相川献治 ,  中田知宏 ,  松田隆博 ,  篠原努

IPC: F16K7/16 ,  F16K1/42 ,  F16K27/00

Abstract: 提供一种能够实现小型化、低成本化并且具有泄放功能的阀装置。阀体(20)划定在该阀体(20)的表面开口并且内置有阀元件(2)的收纳凹部(22)、以及与收纳凹部(22)连接的初级侧流路(21)和次级侧流路(24)，阀元件(2)具有将初级侧流路(21)和次级侧流路(24)之间的通过收纳凹部(22)的直接的连通切断的密封部、通过阀元件(2)而使初级侧流路(21)和次级侧流路(24)连通的迂回流路(50a)、以及经由收纳凹部(22)而使迂回流路(50a)和次级侧流路(24)连通的泄放孔(50p)。

公开(公告)号：CN111033430A

公开(公告)日：2020-04-17

申请号：CN201880051417.7

申请日：2018-08-28

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 丹野龙太郎 ,  相川献治 ,  原田章弘 ,  铃木裕也 ,  松田隆博 ,  米华克典 ,  落石将彦 ,  篠原努

IPC: G05D7/06 ,  F16K37/00

Abstract: 本发明旨在精密地监视利用多个流体控制设备所构成的流体供给管线整体。另外，抑制每个流体控制设备的动作的偏差来提高流体供给管线的精度。利用以流体密封方式连通的多个流体控制设备(F1、V11～V14)所构成的流体供给管线(L1)具有：第一连接单元，其将流体供给管线(L1)外的机构与流体供给管线(L1)上的流体控制设备(F1)进行连接；以及第二连接单元，其在流体供给管线(L1)从第一连接单元分支，来与其他流体控制设备(F1、V11～V14)进行连接。

公开(公告)号：CN110998802A

公开(公告)日：2020-04-10

申请号：CN201880052011.0

申请日：2018-07-31

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 吉田俊英 ,  皆见幸男 ,  篠原努

IPC: H01L21/304 ,  H01L21/027

Abstract: 提供一种能够稳定地供给超临界流体的流体供给装置和流体供给方法。该流体供给装置是用于朝向处理室(500)供给向超临界流体变化之前的液态的流体的流体供给装置(1)，其具有：冷凝器(130)，其用于使气态的二氧化碳冷凝液化；贮存器(140)，其用于贮存利用冷凝器(130)冷凝液化而成的流体；泵(150)，其用于朝向处理室(500)加压输送被贮存于贮存器(140)的液化而成的二氧化碳；以及阻尼部(10)，其设于与泵(150)的喷出侧连通的流路(2)，用于抑制自泵(150)喷出的液体的周期性的压力变动，阻尼部(10)具有螺旋管(20)，该螺旋管(20)的两端部固定于预定的位置，并且该螺旋管(20)形成为供自泵(150)喷出的液体流通的螺旋状。

公开(公告)号：CN110382934A

公开(公告)日：2019-10-25

申请号：CN201880015079.1

申请日：2018-03-13

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 铃木裕也 ,  米华克典 ,  落石将彦 ,  原田章弘 ,  丹野龙太郎 ,  篠原努

IPC: F16K31/122 ,  F16K7/17 ,  F16K37/00

Abstract: 本发明提供一种在内部收纳用于检测流体控制设备的异常的部件并且实现小型化的流体控制设备。另外，能够在外部容易地确认检测出流体控制设备的异常的结果。流体控制设备(1)包括：信息处理模块(5)，其设置在设备内；阀体(11)，其具有流路；致动器机体(12)，其固定于阀体(11)；壳体(13)，其为中空，固定于致动器机体(12)，并在侧面形成有贯通孔(133d)；活塞(126)，其设置在致动器机体(12)内，并且在内部形成有向驱动压导入室(S2)连通的驱动压导入路(126b)；以及导入管(21)，其为导入驱动压的管，一端插入至驱动压导入路(126b)，另一端从壳体(13)的贯通孔(133d)向外部导出。

公开(公告)号：CN110023659A

公开(公告)日：2019-07-16

申请号：CN201780073803.1

申请日：2017-11-02

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 吉田俊英 ,  中田知宏 ,  篠原努 ,  稻田敏之 ,  船越高志 ,  佐藤秀信 ,  汤原知子

IPC: F16K1/00 ,  F16K7/14 ,  F16K31/122 ,  H01L21/205 ,  F16K31/02

Abstract: 提供一种流量控制范围较大且通用性得到提高的阀装置。具有：阀体(10)，其划分出流路(12、13)；隔板(20)，其以能够开闭流路(12、13)的方式设于阀体(10)；操作构件(40)，其用于操作隔板(20)，被设为能够在使流路(12、13)开闭的开闭方向(A1、A2)上移动；主致动器(60)，其赋予操作构件(40)以与沿着开闭方向的打开方向(A1)或关闭方向赋予的操作压力相对应的驱动力；切换机构，其能够根据操作压力的大小选择将限定流路的开度的操作构件(40)的位置切换至彼此不同的第1打开位置(P1)或第2打开位置(P2)；以及调节机构(70、80)，其能够分别独立地调节第1打开位置(P1)和第2打开位置(P2)。

公开(公告)号：CN109983318A

公开(公告)日：2019-07-05

申请号：CN201880004412.9

申请日：2018-02-06

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 原田章弘 ,  西野功二 ,  土肥亮介 ,  川田幸司 ,  杉田胜幸 ,  池田信一 ,  山路道雄 ,  篠原努 ,  丹野龙太郎 ,  河内勇人

IPC: G01M3/26

Abstract: 在流体控制器中，即使在流体的泄漏很少的情况下，也能够检测到泄漏。另外，通过利用信息通信技术，从而容易地监视位于远离的场所的流体控制器或多个流体控制器中的流体的泄漏异常。对设有流体能流通的流道(211)、通过隔离部件与流道(211)隔离的封闭空间(S)、以及能够连通封闭空间(S)与外部的泄漏端口(LP)的流体控制器(2)的异常进行检测的异常检测装置(1)具有：压力传感器(11)，其检测封闭空间(S)内的压力；处理模块，其执行给定的信息处理；以及拆装机构，其将压力传感器(11)以能够拆装的方式固定于泄漏端口(LP)，并且在固定状态下将泄漏端口(LP)与外部遮断。处理模块通过对由压力传感器(11)检测出的检测值与给定的阈值进行比较，从而判别流体控制器(2)的异常，并将流体控制器(2)的异常判别结果发送至服务器。